English
Máy Đếm Hạt Trong Nước Siêu Tinh Khiết PMS Ultra DI® 20
Cảm biến đếm hạt 20 nm cho hệ thống nước siêu tinh khiết (UPW) — giám sát thời gian thực
Ultra DI 20 là máy đếm hạt trong chất lỏng với quang học laser tiên tiến, phát hiện hạt nhỏ tới 20 nm (tương đương 9 nm vàng) trong hệ thống nước siêu tinh khiết. 4 kênh đo (20/50/70/100 nm), lưu lượng 75 ml/phút, hiệu suất đếm 100%, tích hợp FacilityNet để giám sát UPW theo thời gian thực.
Hình ảnh sản phẩm PRODUCT GALLERY
Thông số kỹ thuật SPECIFICATIONS
| Thông số | Giá trị |
|---|---|
| Dải đo kích thước hạt | 20 – 100 nm |
| Số kênh đo | 4 kênh (20, 50, 70, 100 nm) |
| Lưu lượng hút | 75 ml/phút ± 10% |
| Hiệu suất đếm | 100% lượng mẫu |
| Nhiệt độ mẫu | 15 – 50 °C |
| Áp suất tối đa | 100 psi |
| Zero count | ≤ 50 hạt/L |
| Vật liệu tiếp xúc dung dịch | Teflon, Kel-F, silica nung chảy, Viton, Alumina, Simriz 485 |
| Bề mặt ngoài | Thép không gỉ 316L |
| Phần mềm | FacilityNet — giám sát thời gian thực |
ROI Calculator — Tính giá trị đầu tư Ultra DI 20
Một sự cố nhiễm hạt trong nước siêu tinh khiết (UPW) không được phát hiện có thể phá hủy cả lô wafer. Giám sát UPW thời gian thực giúp phát hiện sớm và bảo vệ năng suất fab.
→ Với chi phí ~$50-150K, ROI ước tính 3-6 tháng
⚠️ Ước tính tham khảo. Liên hệ Techmaster để có phân tích ROI chi tiết.
Ngành & Ứng dụng 5 USE CASES
5 ứng dụng Ultra DI 20 giám sát hạt trong hệ thống nước siêu tinh khiết (UPW) tại nhà máy bán dẫn Việt Nam.
Giám sát nước siêu tinh khiết fab
Ultra DI 20 giám sát hạt 20 nm trong hệ thống UPW của fab — nơi nước siêu tinh khiết tiếp xúc trực tiếp với wafer.
Vòng tuần hoàn & phân phối UPW
Ultra DI 20 theo dõi chất lượng nước trên vòng tuần hoàn và các nhánh phân phối UPW tới tool.
Điểm sử dụng tại tool (rinse/clean)
Ultra DI 20 xác nhận chất lượng UPW ngay trước khi tiếp xúc wafer tại wet process/rinse.
Chất lượng nước cấp & tái sinh
Ultra DI 20 kiểm soát hiệu quả hệ xử lý/tái sinh UPW bằng cách đo hạt đầu ra.
Cảnh báo nhiễm hạt UPW
Ultra DI 20 phát hiện và cảnh báo các sự cố tăng hạt đột biến trong UPW.
Giám sát UPW online vs Lấy mẫu thủ công TẠI SAO ĐO INLINE
| Tiêu chí | Lấy mẫu thủ công (offline) | Ultra DI 20 (online) |
|---|---|---|
| Phát hiện | Trễ, sau sự việc | Thời gian thực |
| Độ nhạy | Hạn chế | 20 nm (9 nm Au) |
| Rủi ro nhiễm mẫu | Cao khi lấy/chuyển mẫu | Đo trực tiếp inline |
| Phản ứng sự cố | Chậm | Tức thì, cảnh báo |
| Tự động hóa | Thủ công | FacilityNet |
Chọn model Ultra DI theo độ nhạy 20 nm vs 50 nm
| Tiêu chí | Ultra DI 20 | Ultra DI 50 |
|---|---|---|
| Độ nhạy nhỏ nhất | 20 nm | 50 nm |
| Phù hợp node | Tiên tiến (≤14 nm) | UPW tiêu chuẩn |
| Loại mẫu | Nước siêu tinh khiết | Nước siêu tinh khiết |
| Hiệu suất đếm | 100% lượng mẫu | 100% lượng mẫu |
| Tích hợp | FacilityNet | FacilityNet |
📌 Dữ liệu từ datasheet công khai. Verify với từng vendor để có info chính xác nhất.
Lợi ích chính 4 KEY BENEFITS
20 nm trong UPW
Phát hiện hạt nhỏ tới 20 nm (9 nm Au) trong nước siêu tinh khiết với hiệu suất đếm 100% lượng mẫu.
Giám sát thời gian thực
Đo trực tiếp inline, phản ứng tức thì với sự cố nhiễm hạt; tích hợp phần mềm FacilityNet.
Vật liệu siêu sạch
Bề mặt tiếp xúc dung dịch trơ (Teflon, Viton, Alumina, Simriz) và vỏ 316L — phù hợp UPW.
Service tại VN
Hiệu chuẩn & bảo trì bởi kỹ sư PMS-certified, lab ISO/IEC 17025 ngay tại Việt Nam.
Tại sao chọn Techmaster DISTRIBUTOR USP
★ AUTHORIZED
Nhà phân phối ủy quyền PMS
Hàng chính hãng 100% từ trụ sở PMS Boulder, Colorado — kèm chứng nhận xuất xứ cho mỗi đơn hàng.
Lab ISO/IEC 17025 (ANAB)
Hiệu chuẩn ngay tại Việt Nam — tiết kiệm 4-8 tuần so với gửi đi nước ngoài, vẫn đảm bảo traceable.
Kỹ sư PMS-certified
Đội ngũ kỹ thuật được đào tạo trực tiếp tại trụ sở PMS — am hiểu chuyên sâu cho từng dòng máy.
2 chi nhánh tại Việt Nam
Văn phòng TP. HCM phục vụ miền Nam, Bắc Ninh phục vụ miền Bắc — giao hàng, lắp đặt cực nhanh.
On-site service & Rental
Phản ứng nhanh tại nhà máy — sửa chữa, hiệu chuẩn, cho thuê thiết bị backup khi máy chính bảo trì.
Technical Hotline
Hỗ trợ kỹ thuật trực tiếp qua điện thoại trong giờ làm việc — giải đáp ứng dụng, cấu hình, sự cố.
Câu hỏi thường gặp FAQ
Ultra DI 20 đo gì?
Ultra DI 20 đếm hạt trong nước siêu tinh khiết (UPW), độ nhạy tới 20 nm (tương đương 9 nm vàng).
Độ nhạy và số kênh là bao nhiêu?
Độ nhạy 20 nm; 4 kênh đo: 20, 50, 70 và 100 nm.
Lưu lượng mẫu và hiệu suất đếm?
Lưu lượng hút 75 ml/phút ± 10%; hiệu suất đếm 100% lượng mẫu.
Ultra DI 20 khác Ultra DI 50 thế nào?
Ultra DI 20 đạt độ nhạy 20 nm cho các node tiên tiến; Ultra DI 50 đạt 50 nm cho UPW tiêu chuẩn.
Vật liệu tiếp xúc dung dịch là gì?
Teflon, Kel-F, silica nung chảy, Viton, Alumina 96% và Simriz 485; vỏ ngoài thép không gỉ 316L.
Áp suất và nhiệt độ mẫu cho phép?
Áp suất tối đa 100 psi; nhiệt độ mẫu 15 – 50 °C.
Có tích hợp phần mềm giám sát không?
Có. Ultra DI 20 tích hợp FacilityNet để giám sát và kiểm soát quy trình theo thời gian thực.
Techmaster hỗ trợ gì tại Việt Nam?
Techmaster tư vấn, lắp đặt, hiệu chuẩn và bảo trì tại lab ISO/IEC 17025 ngay tại Việt Nam.
Sẵn sàng đầu tư Ultra DI 20?
Đội ngũ Techmaster tư vấn cấu hình phù hợp, tính ROI cụ thể, và cung cấp dịch vụ hiệu chuẩn ISO/IEC 17025 ANAB ngay tại Việt Nam.
Sản phẩm PMS liên quan CROSS-SELL
📅 Cập nhật: Tháng 5/2026 · ✍️ Nội dung bởi đội ngũ kỹ sư Techmaster Electronics JSC
Đánh giá
Hiện tại không có đánh giá nào.