English
PARTICLE MEASURING SYSTEMS
Máy Đếm Hạt Khí Siêu Tinh Khiết HPGP™ 101-C
Giám sát ô nhiễm in-line cho khí công nghệ ở áp suất line tới 150 psig
Máy đếm hạt khí áp suất cao HPGP 101-C lấy mẫu trực tiếp ở áp suất line tới 150 psig, phát hiện hạt từ 0.1 µm. Tương thích O₂, H₂ và hầu hết khí không độc; dùng được cho khí phản ứng. Kết hợp hệ thống dữ liệu PDS-E cho giám sát liên tục và truy xuất dữ liệu. HPGP 101-C là giải pháp particle monitoring cho semiconductor gas system, giám sát khí siêu tinh khiết tại điểm sử dụng.
Hình ảnh sản phẩm PRODUCT GALLERY
Thông số kỹ thuật SPECIFICATIONS
| Thông số | Giá trị |
|---|---|
| Dải đo độ nhạy | 0.1 – 5.0 µm |
| Số kênh đo | 8 kênh: 0.1 / 0.2 / 0.3 / 0.5 / 1.0 / 2.0 / 3.0 / 5.0 µm |
| Lưu lượng mẫu | 0.1 SCFM (2.8 LPM) |
| Hiệu suất đếm | > 50% tại 0.14 µm |
| Áp suất line | 40 – 150 psig (2.8 – 10.3 bar) |
| Thiết kế quang học | Buồng quang thụ động (passive cavity), tán xạ góc rộng 90°, detector mảng xử lý song song |
| Nguồn sáng | Laser HeNe |
| Tương thích khí | O₂, H₂ và hầu hết khí không độc; dùng được cho khí phản ứng |
| An toàn | Bình chứa an toàn (containment vessel), purge khí trơ, tự ngắt nguồn khi rò rỉ khí mẫu |
| Hệ thống dữ liệu | PDS-E (Particle Data System – Ethernet): RS-232, Ethernet (PMS protocol, Modbus TCP, OPC) |
| Phần mềm | FacilityNet™ — quản lý dữ liệu, báo cáo & cảnh báo |
| Hiệu chuẩn | Vật liệu chuẩn truy xuất theo NIST |
| Nguồn điện | 100 – 240 VAC, 50 – 60 Hz |
| Môi trường vận hành | 0 – 45 °C, độ ẩm không ngưng tụ |
| Kích thước & khối lượng | HPGP: 66 × 20 × 23 cm / 20.4 kg · PDS-E: 18 × 22 × 32 cm / 5.2 kg |
| Mẫu mã | HPGP-101-C |
ROI Calculator — Tính giá trị đầu tư HPGP 101-C
Một sự cố hạt 0.1 µm không phát hiện sớm có thể phá hủy hàng chục wafer. Nhập dữ liệu fab của bạn:
→ Với chi phí ~$50-150K, ROI ước tính 3-6 tháng
⚠️ Ước tính tham khảo. Liên hệ Techmaster để có phân tích ROI chi tiết.
Ngành & Ứng dụng 5 USE CASES
5 kịch bản triển khai HPGP 101-C trong kiểm soát ô nhiễm khí công nghệ — từ fab bán dẫn đến nhà máy nạp khí công nghiệp.
Sản xuất bán dẫn
Giám sát khí UHP tại điểm sử dụng (POU)
HPGP 101-C đo trực tiếp khí siêu tinh khiết ở áp suất line, phát hiện hạt 0.1 µm trước khi chúng tiếp xúc wafer trong lithography, etch và deposition.
Hệ thống phân phối khí
Qualification & nghiệm thu đường ống khí
Rút ngắn thời gian qualification và validation hệ thống phân phối khí mới — đo ngay ở áp suất vận hành, loại bỏ hạt giả sinh ra từ bộ giảm áp ngoài.
Khí phản ứng & đặc biệt
Giám sát khí phản ứng, O₂ và H₂
Buồng quang thụ động cùng bình chứa an toàn và purge khí trơ cho phép HPGP làm việc với O₂, H₂ và khí phản ứng — nơi nhiều công nghệ khác không phù hợp.
Điện tử & màn hình
OLED / display — giám sát N₂ box
Đảm bảo môi trường khí trơ trong N₂ box và buồng đóng gói luôn sạch hạt, bảo vệ panel OLED và linh kiện nhạy cảm khỏi tạp chất tiểu phân.
Khí công nghiệp & nhà máy nạp
Kiểm tra chất lượng khí đóng bình
Nhà sản xuất khí công nghiệp dùng HPGP 101-C để xác minh khí đóng bình/đóng chai đạt mức sạch hạt trước khi giao cho khách hàng fab.
So sánh trong PMS Portfolio CHỌN MÁY PHÙ HỢP
| Tiêu chí | HPGP 101-C (Khí) | Airborne (Lasair/Airnet) | Liquid (LiQuilaz) | Molecular (AirSentry) |
|---|---|---|---|---|
| Pha / môi trường đo | Khí công nghệ áp suất cao | Không khí phòng sạch | Chất lỏng & hóa chất | Tạp chất phân tử (AMC) |
| Độ nhạy hạt | 0.1 µm | tới 10 nm | tới 20 nm | 70 ppt |
| Đặc trưng | Lấy mẫu trực tiếp ở 150 psig | Đo hạt lơ lửng trong khí phòng | Đo hạt trong nước/hóa chất | Đo phân tử AMC |
| Áp suất line | 40 – 150 psig | Khí quyển | — | Khí quyển |
| Ứng dụng tiêu biểu | Khí UHP tại điểm sử dụng | Phân loại & giám sát phòng sạch | UPW / hóa chất ướt | Giám sát AMC trong fab |
| Tương thích O₂ / H₂ | Có | — | — | — |
So sánh phương pháp đo hạt trong khí OBJECTIVE
| Tiêu chí | HPGP 101-C (đo trực tiếp áp suất cao) | Lấy mẫu qua bộ giảm áp | Máy đếm hạt khí cầm tay thông thường |
|---|---|---|---|
| Áp suất lấy mẫu | Trực tiếp 40 – 150 psig | Phải giảm về ~khí quyển | Khí quyển |
| Hạt giả (false counts) | Tối thiểu — không van giảm áp | Cao — sinh hạt từ van/bộ giảm áp | Cao |
| Độ nhạy | 0.1 µm | Phụ thuộc thiết bị | Thường 0.3 – 0.5 µm |
| Khí O₂ / H₂ / phản ứng | Tương thích (bình chứa an toàn) | Hạn chế | Thường không |
| Tích hợp in-line liên tục | Có (PDS-E + FacilityNet) | Một phần | Không — đo điểm |
| Dữ liệu & tuân thủ | Liên tục, truy xuất NIST | Tùy thiết bị | Thủ công |
| Phù hợp UHP fab | Có | Hạn chế | Không |
So sánh mang tính phương pháp luận, dựa trên đặc tính kỹ thuật công bố của HPGP 101-C. Vui lòng đối chiếu cấu hình thực tế với đội ngũ Techmaster.
Lợi ích chính 4 KEY BENEFITS
Đo trực tiếp tới 150 psig
Lấy mẫu ngay trong dòng khí áp suất cao, loại bỏ hạt giả từ bộ giảm áp ngoài và phản ánh đúng điều kiện process thực.
An toàn với O₂, H₂ & khí phản ứng
Buồng quang thụ động, bình chứa an toàn và purge khí trơ; tự ngắt nguồn khi rò rỉ khí mẫu ra bình chứa.
Rút ngắn startup & validation
Phát hiện hạt 0.1 µm sớm giúp tăng yield và giảm thời gian qualification hệ thống phân phối khí.
Dữ liệu liên tục với PDS-E
Tích hợp FacilityNet để lưu trữ, báo cáo và cảnh báo tức thời; giao tiếp Ethernet / Modbus / OPC, truy xuất NIST.
Tại sao chọn Techmaster DISTRIBUTOR USP
★ AUTHORIZED
Nhà phân phối ủy quyền PMS
Hàng chính hãng 100% từ trụ sở PMS Boulder, Colorado — kèm chứng nhận xuất xứ cho mỗi đơn hàng.
Lab ISO/IEC 17025 (ANAB)
Hiệu chuẩn ngay tại Việt Nam — tiết kiệm 4-8 tuần so với gửi đi nước ngoài, vẫn đảm bảo traceable.
Kỹ sư PMS-certified
Đội ngũ kỹ thuật được đào tạo trực tiếp tại trụ sở PMS — am hiểu chuyên sâu cho từng dòng máy.
2 chi nhánh tại Việt Nam
Văn phòng TP. HCM phục vụ miền Nam, Bắc Ninh phục vụ miền Bắc — giao hàng, lắp đặt cực nhanh.
On-site service & Rental
Phản ứng nhanh tại nhà máy — sửa chữa, hiệu chuẩn, cho thuê thiết bị backup khi máy chính bảo trì.
Technical Hotline
Hỗ trợ kỹ thuật trực tiếp qua điện thoại trong giờ làm việc — giải đáp ứng dụng, cấu hình, sự cố.
Câu hỏi thường gặp FAQ
HPGP 101-C đo được những loại khí nào?
Thiết bị tương thích với O₂, H₂ và hầu hết khí không độc (N₂, Ar, He, CDA…), đồng thời dùng được trong nhiều ứng dụng khí phản ứng nhờ buồng quang thụ động và bình chứa an toàn.
Độ nhạy và số kênh đo là bao nhiêu?
Phát hiện hạt trong dải 0.1 – 5.0 µm trên 8 kênh (0.1 / 0.2 / 0.3 / 0.5 / 1.0 / 2.0 / 3.0 / 5.0 µm), hiệu suất đếm > 50% tại 0.14 µm.
Áp suất line tối đa mà HPGP 101-C làm việc được?
Từ 40 đến 150 psig (2.8 – 10.3 bar). Thiết bị lấy mẫu trực tiếp trong dòng khí áp suất cao, không cần bộ giảm áp ngoài.
PDS-E là gì và kết nối ra sao?
PDS-E (Particle Data System – Ethernet) thu thập và báo cáo dữ liệu từ đầu dò HPGP. Giao tiếp RS-232 và Ethernet (PMS protocol, Modbus TCP hoặc OPC), tích hợp phần mềm FacilityNet.
Có đo được Oxy tinh khiết và Hydro an toàn không?
Có. Buồng quang thụ động, purge khí trơ và cơ chế tự ngắt nguồn khi rò rỉ khí mẫu giúp HPGP làm việc an toàn với O₂ và H₂.
Lưu lượng mẫu của thiết bị là bao nhiêu?
0.1 SCFM (tương đương 2.8 LPM).
Bao lâu cần hiệu chuẩn một lần?
Nên hiệu chuẩn định kỳ hàng năm tại trung tâm ủy quyền của Particle Measuring Systems; vật liệu chuẩn truy xuất theo NIST.
Khác biệt lớn nhất của HPGP 101-C là gì?
Khả năng đo trực tiếp ở áp suất tới 150 psig mà vẫn giữ độ nhạy 0.1 µm — điều mà các máy đếm hạt khí cầm tay thông thường không thể thực hiện.
Sẵn sàng kiểm soát ô nhiễm khí với HPGP 101-C?
Đội ngũ kỹ sư Techmaster sẵn sàng tư vấn cấu hình HPGP 101-C + PDS-E phù hợp với hệ thống khí của bạn — nhận báo giá thiết bị PMS chính hãng tại Việt Nam.
Sản phẩm PMS liên quan CROSS-SELL
Cập nhật: Tháng 5/2026 · ✍️ Biên soạn bởi đội ngũ kỹ thuật Techmaster — nhà phân phối ủy quyền Particle Measuring Systems tại Việt Nam.
Đánh giá
Hiện tại không có đánh giá nào.