Máy đếm hạt bụi Nano 10 trong không khí

Dải đo độ nhạy: 10 nm, Lưu lượng: 2.8 LPM (0.1 CFM)

Máy đếm hạt bụi nano 10 được tạo ra có mục đích được thiết kế đặc biệt để sử dụng trong các không gian fab quan trọng nhất.

Máy đếm hạt bụi Nano 10 ngưng tụ (CPC) là một sản phẩm mới mang tính cách mạng từ Particle Measuring Systems (PMS). Nó cung cấp độ nhạy của CPC với tính dễ sử dụng và chức năng của máy đếm hạt phòng sạch truyền thống. Được thiết kế để giám sát môi trường siêu sạch, nó mang lại độ nhạy phát hiện 10 nm với tốc độ dòng mẫu là 2,8 L/phút (0,1 CFM).

Kích thước của Nano 10 nhỏ hơn 83% so với các sản phẩm cạnh tranh, giúp bạn có thể sử dụng ở mọi nơi trong môi trường siêu sạch, bao gồm các công cụ xử lý chất bán dẫn

Đọc thêm

bên trong và các mô-đun front-end của thiết bị (EFEM). Thiết kế hệ thống xử lý chất lỏng hoạt động đang chờ cấp bằng sáng chế sáng tạo rất mạnh mẽ và hiệu quả, cho phép hoạt động liên tục 24/7, 365 ngày mà không cần bảo trì hoặc can thiệp người dùng dưới bất kỳ hình thức nào giữa việc nạp và hiệu chuẩn chất lỏng làm việc cần thiết hàng năm. Qua đó, giảm gián đoạn việc lấy mẫu và thu thập dữ liệu cũng như thời gian ngừng hoạt động của công cụ.

Một sản phẩm đồng hành đa dạng 10 cổng (ParticleSeeker™) hỗ trợ các ứng dụng yêu cầu nhiều vị trí mẫu được giám sát theo trình tự tuần tự hoặc được lập trình.

Ngoài ra, NanoAir là khí áp suất cao tương thích với HPD-III từ PMS và dữ liệu có thể được xem, phân tích và báo cáo bằng phần mềm giám sát cơ sở PMS Facility Net hoặc truyền trực tiếp đến hệ thống SCADA của bên thứ ba hoặc đầu vào công cụ xử lý.

Tải trang thông số kỹ thuật Yêu cầu báo giá

Tính năng

Zero Count < 1,5 số đếm/m3 mà không cần sử dụng sơ đồ zero count
Hiệu suất đếm tại: 10 nm = 50% ± 20%, 15 nm = 100% ± 10%
Kích thước nhỏ hơn 83% so với các sản phẩm cạnh tranh (16,5 x 20,2 x 15,2 cm)
Chỉ cần thiết nạp đầy chất lỏng 1 lần mỗi năm khi hiệu chuẩn hàng năm, có khả năng 15 tháng giữa các lần nạp với hoạt động toàn thời gian 24×7
Độ nhạy: ≥ 10 nm
Lưu lượng mẫu: 2,8 LPM (0,1 CFM)
Địa chỉ IP và các địa điểm cư trú trong trạm gốc cho phép thiết bị “trao đổi nóng”
4-20mA
Cổng USB (2): cho Nối tiếp qua USB (cổng dịch vụ) và ổ đĩa usb
Cổng Ethernet (2): dành cho Giao thức Ethernet & MODBUS qua TCP/IP
Sẵn sàng hoạt động 20 phút kể từ khi bật nguồn
Dữ liệu có thể được xem, phân tích và báo cáo bằng phần mềm giám sát cơ sở PMS Facility Net hoặc truyền trực tiếp đến hệ thống SCADA của bên thứ ba hoặc đầu vào công cụ xử lý
Giám sát trình tự tuần tự hoặc được lập trình (với bộ lấy mẫu 10 cổng ParticleSeeker)
Tương thích với khí áp suất cao
Thích hợp để sử dụng trong môi trường ISO Class 1

Lợi ích

Kích thước cấp nhỏ nhất cho phép giám sát trong các công cụ xử lý trong các khu vực có chức năng quan trọng nhất và trên các miếng đệm tiện ích phân phối khí áp suất cao bị tắc nghẽn
Thiết kế hệ thống xử lý chất lỏng đang chờ cấp bằng sáng chế mạnh mẽ và hiệu quả cho hoạt động liên tục 24/7/365 mà không cần sự can thiệp của người dùng và ngăn chặn việc lấy mẫu và thu thập dữ liệu bị gián đoạn
Kích thước thể tích bên ngoài tốt nhất trong phân khúc đặt ra tiêu chuẩn cho CPC được thiết kế cho các ứng dụng sản xuất và kiểm soát quy trình
Không sử dụng luồng không khí vỏ bọc cung cấp khả năng lấy mẫu thể tích
Không có khả năng di chuyển chất lỏng không mong muốn trong quá trình vận chuyển, xử lý và lắp đặt phổ biến trong các CPC ứng dụng công nghiệp khác
Không có máy bơm hoặc quạt bên trong; loại bỏ bảo trì và tạo hạt tiềm năng
Khả năng giám sát nhiều vị trí mẫu theo trình tự tuần tự hoặc được lập trình

Ứng dụng

Giám sát điểm sử dụng (POU) trong các khu vực xử
Giám sát hoạt động hạt liên tục theo thời gian thực
Sử dụng trong các công cụ xử lý chất bán dẫn và mô-đun thiết bị front-end (EFEM)

Nano 10 + ParticleSeeker™ (bộ lấy mẫu 10 cổng):

Giám sát bên trong công cụ xử lý Thiết bị Môi trường thu nhỏ Mô-đun Front End (EFEM)
Lý tưởng cho các ứng dụng yêu cầu giám sát điểm mẫu được lập trình đi theo đường đi của tấm wafer hoặc bề mặt quan trọng khác
Giám sát ô nhiễm diện rộng lên đến 120m2 không gian fab/quy trình

Nano 10 + HPD™ III (dùng để giám sát khí trơ áp suất cao):

Sử dụng bộ đếm hạt bụi Nano Air 10 với HPD III (Bộ khuếch tán áp suất cao) của PMS cho phép đo khí khối áp suất cao theo thời gian thực, liên tục, có độ nhạy cao.

Tài liệu hỗ trợ

Phụ kiện có sẵn

Thiết bị đa tạp thông minh ParticleSeeker

Máy lấy mẫu trong không khí đa cổng ParticleSeeker™

ParticleSeeker là một sản phẩm đa dạng 10 cổng đồng hành với máy đếm hạt Nano 10 trong không khí. Được thiết kế đặc biệt để sử dụng trong các không gian fab quan trọng nhất, nó có sẵn để sử dụng trong các ứng dụng yêu cầu nhiều vị trí mẫu phải được giám sát theo trình tự tuần tự hoặc được lập trình.

Bộ khuếch tán áp suất cao (0,1 CFM)

Bộ khuếch tán áp suất cao cho phép bạn đếm các hạt trong các dòng khí áp suất cao bằng cách lấy khí ở áp suất từ 40 đến 100psi và giảm nó đến mức chấp nhận được đối với máy đếm hạt được thiết kế cho áp suất khí quyển.

Facility Net

Facility Net Software cung cấp một giải pháp để giám sát môi trường toàn diện, bao gồm hiển thị dữ liệu lịch sử và thời gian thực. Tương thích với máy đếm hạt của Particle Measuring Systems và màn hình ô nhiễm phân tử, cũng như các sản phẩm khác nhau của bên thứ ba.

ParticleSeeker là một sản phẩm đa dạng 10 cổng đồng hành với máy đếm hạt Nano 10 trong không khí.

Giám sát tiết kiệm các khí không độc hại, không bắt lửa (CDA, N2, Ar, CO2) với các máy đếm hạt áp suất khí quyển.

Hiển thị dữ liệu lịch sử và thời gian thực cho tất cả các máy đếm hạt của Particle Measuring Systems, màn hình ô nhiễm phân tử và các sản phẩm khác nhau của bên thứ ba.

Máy đếm hạt tiểu phân .1 micron thực duy nhất, cung cấp phép đo thời gian thực các hạt tác động đến năng suất với ba cấu hình.

Dòng máy quang phổ di động ion AirSentry II AMC giám sát ô nhiễm phân tử trong không khí (AMC) từ Particle Measuring Systems phát hiện và cảnh báo người dùng về nồng độ nhỏ hoặc thay đổi nồng độ clorua, axit, amin và các chủng loại có chứa amoniac trong không khí.

Ultra DI® 20 Plus Liquid Optical Particle Counter

Được thiết kế đặc biệt cho các hệ thống nước siêu tinh khiết, zero count thấp, lượng mẫu lớn và hiệu suất đếm cao của máy đếm hạt tiểu phân trong dung dịch này cung cấp khả năng phát hiện tạp chất ở độ nhạy 20 nm.