Giám sát độ sạch khí công cụ và khí nén bảo vệ yield cho nhà máy bán dẫn — máy đếm hạt khí áp suất cao HPGP & bộ đa tạp ParticleSeeker, từ Particle Measuring Systems, phân phối chính thức tại Việt Nam bởi Techmaster.
Đo độ sạch khí công cụ và khí nén cho fab bán dẫn — từ máy đếm hạt khí áp suất cao tới bộ lấy mẫu đa điểm.
Khí siêu tinh khiết như N₂, Ar, H₂, CDA cấp trực tiếp cho công cụ trong fab; tiểu phân trong khí bám lên wafer gây lỗi mạch, nên cần giám sát độ sạch khí liên tục.
HPGP 101-C đo tiểu phân trực tiếp trong khí áp suất cao tới khoảng 10 bar mà không cần giảm áp, giữ nguyên điều kiện quy trình.
ParticleSeeker là bộ đa tạp (manifold) thông minh, lấy mẫu tuần tự nhiều điểm khí chỉ với một máy đếm hạt — tiết kiệm chi phí giám sát đa điểm.
HPD III là thiết bị giảm áp/khuếch tán áp suất cao, đưa khí áp suất cao về điều kiện phù hợp đầu vào máy đếm hạt.
Kỹ sư Techmaster Vietnam tư vấn miễn phí cấu hình đo tiểu phân khí siêu tinh khiết, khí nén và demo tại site.
