English
Cảm Biến Đo Hạt Tại Chỗ Trong Chất Lỏng Ăn Mòn PMS HSLIS M65e
Cảm biến in-situ độ nhạy cao 0.065 µm — giám sát hạt liên tục trong chất lỏng ăn mòn (gồm HF)
HSLIS M65e là cảm biến đo hạt tại chỗ (in-situ) độ nhạy cao, phát hiện hạt từ 0.065 µm (dải 0.065 – 0.2 µm) trong chất lỏng ăn mòn bao gồm axit HF. Giám sát ô nhiễm hạt liên tục, theo thời gian thực ngay trên đường ống — tích hợp FacilityNet.
Hình ảnh sản phẩm PRODUCT GALLERY
Thông số kỹ thuật SPECIFICATIONS
| Thông số | Giá trị |
|---|---|
| Dải đo kích thước hạt | 0.065 – 0.2 µm |
| Độ nhạy nhỏ nhất | 0.065 µm (65 nm) |
| Loại mẫu | Chất lỏng ăn mòn (gồm axit HF) |
| Kiểu đo | In-situ (tại chỗ, trên đường ống) |
| Giám sát | Liên tục, thời gian thực |
| Vật liệu tiếp xúc dung dịch | Vật liệu chịu ăn mòn (tương thích HF) |
| Ứng dụng | Giám sát hạt trong hóa chất ăn mòn |
| Phần mềm | FacilityNet — giám sát thời gian thực |
ROI Calculator — Tính giá trị đầu tư HSLIS M65e
Một sự cố nhiễm hạt trong chất lỏng ăn mòn (gồm HF) không được phát hiện có thể phá hủy cả lô wafer. Giám sát DI thời gian thực giúp phát hiện sớm và bảo vệ năng suất fab.
→ Với chi phí ~$50-150K, ROI ước tính 3-6 tháng
⚠️ Ước tính tham khảo. Liên hệ Techmaster để có phân tích ROI chi tiết.
Ngành & Ứng dụng 5 USE CASES
5 ứng dụng HSLIS M65e giám sát hạt trong hệ thống chất lỏng ăn mòn (gồm HF) tại nhà máy bán dẫn Việt Nam.
Giám sát chất lỏng ăn mòn (gồm HF) fab
HSLIS M65e giám sát hạt 0.065 µm trong hệ thống DI của fab — nơi chất lỏng ăn mòn (gồm HF) tiếp xúc trực tiếp với wafer.
Vòng tuần hoàn & phân phối DI
HSLIS M65e theo dõi chất lượng nước trên vòng tuần hoàn và các nhánh phân phối DI tới tool.
Điểm sử dụng tại tool (rinse/clean)
HSLIS M65e xác nhận chất lượng DI ngay trước khi tiếp xúc wafer tại wet process/rinse.
Chất lượng nước cấp & tái sinh
HSLIS M65e kiểm soát hiệu quả hệ xử lý/tái sinh DI bằng cách đo hạt đầu ra.
Cảnh báo nhiễm hạt DI
HSLIS M65e phát hiện và cảnh báo các sự cố tăng hạt đột biến trong DI.
Giám sát DI online vs Lấy mẫu thủ công TẠI SAO ĐO INLINE
| Tiêu chí | Lấy mẫu thủ công (offline) | HSLIS M65e (online) |
|---|---|---|
| Phát hiện | Trễ, sau sự việc | Thời gian thực |
| Độ nhạy | Hạn chế | 0.065 µm |
| Rủi ro nhiễm mẫu | Cao khi lấy/chuyển mẫu | Đo trực tiếp inline |
| Phản ứng sự cố | Chậm | Tức thì, cảnh báo |
| Tự động hóa | Thủ công | FacilityNet |
Chọn model HSLIS theo độ nhạy & hóa chất M50e / M65e / M100e
| Model | Độ nhạy | Ứng dụng |
|---|---|---|
| HSLIS M50e | 0.05 – 0.2 µm | Nước khử ion (DI/UPW) |
| HSLIS M65e | 0.065 – 0.2 µm | Chất lỏng ăn mòn / HF |
| HSLIS M100e | 0.1 – 1.0 µm | Hóa chất ăn mòn / HF |
📌 Dữ liệu từ datasheet công khai. Verify với từng vendor để có info chính xác nhất.
Lợi ích chính 4 KEY BENEFITS
0.065 µm in-situ (HF)
Phát hiện hạt từ 0.065 µm ngay tại chỗ trong chất lỏng ăn mòn gồm HF, giám sát liên tục thời gian thực.
Giám sát thời gian thực
Đo trực tiếp inline, phản ứng tức thì với sự cố nhiễm hạt; tích hợp phần mềm FacilityNet.
Vật liệu siêu sạch
Bề mặt tiếp xúc dung dịch trơ (Teflon, Viton, Alumina, Simriz) và vỏ 316L — phù hợp DI.
Service tại VN
Hiệu chuẩn & bảo trì bởi kỹ sư PMS-certified, lab ISO/IEC 17025 ngay tại Việt Nam.
Tại sao chọn Techmaster DISTRIBUTOR USP
★ AUTHORIZED
Nhà phân phối ủy quyền PMS
Hàng chính hãng 100% từ trụ sở PMS Boulder, Colorado — kèm chứng nhận xuất xứ cho mỗi đơn hàng.
Lab ISO/IEC 17025 (ANAB)
Hiệu chuẩn ngay tại Việt Nam — tiết kiệm 4-8 tuần so với gửi đi nước ngoài, vẫn đảm bảo traceable.
Kỹ sư PMS-certified
Đội ngũ kỹ thuật được đào tạo trực tiếp tại trụ sở PMS — am hiểu chuyên sâu cho từng dòng máy.
2 chi nhánh tại Việt Nam
Văn phòng TP. HCM phục vụ miền Nam, Bắc Ninh phục vụ miền Bắc — giao hàng, lắp đặt cực nhanh.
On-site service & Rental
Phản ứng nhanh tại nhà máy — sửa chữa, hiệu chuẩn, cho thuê thiết bị backup khi máy chính bảo trì.
Technical Hotline
Hỗ trợ kỹ thuật trực tiếp qua điện thoại trong giờ làm việc — giải đáp ứng dụng, cấu hình, sự cố.
Câu hỏi thường gặp FAQ
HSLIS M65e đo gì?
Cảm biến đo hạt tại chỗ (in-situ) trong chất lỏng ăn mòn (gồm HF), độ nhạy từ 0.065 µm.
Độ nhạy / dải đo?
0.065 – 0.2 µm (smallest 65 nm).
Đo được chất lỏng ăn mòn nào?
Các chất lỏng ăn mòn bao gồm axit HF — vật liệu tiếp xúc chịu ăn mòn.
HSLIS M65e khác M50e / M100e thế nào?
M50e: 0.05 µm cho nước DI; M65e: 0.065 µm cho chất lỏng ăn mòn/HF; M100e: 0.1 µm cho hóa chất ăn mòn.
In-situ nghĩa là gì?
Đo trực tiếp trên đường ống, giám sát liên tục thời gian thực, không cần lấy mẫu.
Có giám sát liên tục không?
Có — giám sát ô nhiễm hạt liên tục, thời gian thực.
Có tích hợp phần mềm không?
Có — FacilityNet để giám sát và cảnh báo.
Techmaster hỗ trợ gì tại VN?
Tư vấn, lắp đặt, hiệu chuẩn và bảo trì tại lab ISO/IEC 17025.
Sẵn sàng đầu tư HSLIS M65e?
Đội ngũ Techmaster tư vấn cấu hình phù hợp, tính ROI cụ thể, và cung cấp dịch vụ hiệu chuẩn ISO/IEC 17025 ANAB ngay tại Việt Nam.
Sản phẩm PMS liên quan CROSS-SELL
📅 Cập nhật: Tháng 5/2026 · ✍️ Nội dung bởi đội ngũ kỹ sư Techmaster Electronics JSC
Đánh giá
Hiện tại không có đánh giá nào.