Máy Đếm Hạt Tiểu Phân Khí Nano 10nm PMS NanoAir
Máy đếm hạt ngưng tụ (CPC) độ nhạy 10 nm cho fab bán dẫn EUV
PMS NanoAir là máy đếm hạt khí công nghệ ngưng tụ (CPC) độ nhạy tới 10 nm, phát hiện các hạt nano mà máy đếm hạt quang học thông thường không đo được. Thiết bị bảo vệ yield ở các nút công nghệ nhỏ trong nhà máy bán dẫn tiên tiến và quy trình quang khắc EUV, tích hợp trực tiếp vào hệ giám sát mạng FAB.
Hình ảnh sản phẩm PRODUCT GALLERY
PMS NanoAir — mặt chính
Tích hợp đa tạp lấy mẫu khí
Giám sát khí siêu tinh khiết fabKết nối hệ giám sát FABThông số kỹ thuật SPECIFICATIONS
| Thông số | Giá trị |
|---|---|
| Độ nhạy | Tới 10 nm (hạt nano) |
| Loại | Máy đếm hạt khí công nghệ ngưng tụ (CPC) |
| Lưu lượng mẫu | ≈ 2,83 L/phút (0,1 CFM) |
| Ứng dụng | FAB bán dẫn tiên tiến, quy trình EUV |
| Kết nối | Tích hợp hệ giám sát / mạng FAB |
| Môi trường đo | Khí siêu sạch nhà máy bán dẫn |
| Ưu điểm | Phát hiện hạt nano mà máy quang học (OPC) bỏ sót |
ROI Calculator — Tính giá trị đầu tư NanoAir
Một sự cố hạt nano dưới 20 nm không phát hiện được bằng máy quang học có thể phá hủy hàng loạt wafer giá trị cao ở nút EUV. NanoAir 10 nm phát hiện sớm. Nhập dữ liệu fab của bạn:
⚠️ Ước tính tham khảo. Liên hệ Techmaster để có phân tích ROI chi tiết.
Ngành & Ứng dụng 5 USE CASES
5 kịch bản triển khai NanoAir — máy đếm hạt nano 10 nm — cho nhà máy bán dẫn tiên tiến tại Việt Nam, với pain point cụ thể và giải pháp tương ứng.
Kiểm soát nhiễm bẩn nano trong EUV
Quy trình EUV cực nhạy với hạt nano — NanoAir 10 nm phát hiện nhiễm bẩn mà máy quang học 0.1 µm hoàn toàn bỏ sót, bảo vệ lớp mask và wafer giá trị cao.
Bảo vệ yield nút 3nm / 5nm
Ở các nút công nghệ nhỏ, một hạt vài chục nm đủ gây lỗi mạch. NanoAir cung cấp dữ liệu nano để bảo vệ yield front-end nơi mỗi wafer trị giá hàng chục nghìn USD.
Đo nano tại công cụ & buồng process
NanoAir lắp tại đầu ra công cụ và buồng process để giám sát nhiễm bẩn nano ngay tại nguồn, giúp khoanh vùng sự cố nhanh thay vì phát hiện muộn ở wafer.
Độ sạch nano khí UHP (N₂, Ar, CDA)
Khí công cụ siêu tinh khiết có thể chứa hạt nano gây hại. NanoAir đo độ sạch nano của N₂, Ar, CDA cấp cho công cụ, bổ sung cho máy đếm hạt khí áp suất cao.
Nghiên cứu & phát triển nút tiên tiến
Phòng R&D phát triển nút công nghệ mới cần đo lường nhiễm bẩn ở thang nano. NanoAir cung cấp dữ liệu nano tin cậy cho nghiên cứu vật liệu và quy trình.
NanoAir vs máy đếm hạt quang học VÌ SAO CHỌN CPC
| Tiêu chí | NanoAir (CPC 10 nm) | Máy quang học (OPC) |
|---|---|---|
| Độ nhạy nhỏ nhất | Tới 10 nm | ~0.1 µm (100 nm) |
| Phát hiện hạt nano | Có | Không đo được |
| Nguyên lý | Ngưng tụ (condensation) | Tán xạ ánh sáng |
| Phù hợp | Fab EUV, nút 3-5nm | Phòng sạch thông thường |
Lợi ích chính 4 KEY BENEFITS
Độ nhạy 10 nm
Phát hiện hạt nano mà máy đếm hạt quang học hoàn toàn bỏ sót — bảo vệ yield nút tiên tiến.
Real-time tại nguồn
Đo nano ngay tại tool, chamber và dòng khí UHP — khoanh vùng sự cố nhanh.
Tích hợp mạng FAB
Kết nối trực tiếp hệ giám sát nhà máy cho dữ liệu nano liên tục.
Service tại VN
Hỗ trợ & hiệu chuẩn bởi kỹ sư PMS-certified ngay tại Việt Nam.
Tại sao chọn Techmaster DISTRIBUTOR USP
★ AUTHORIZED
Nhà phân phối ủy quyền PMS
Hàng chính hãng 100% từ trụ sở PMS Boulder, Colorado — kèm chứng nhận xuất xứ cho mỗi đơn hàng.
Lab ISO/IEC 17025 (ANAB)
Hiệu chuẩn ngay tại Việt Nam — tiết kiệm 4-8 tuần so với gửi đi nước ngoài, vẫn đảm bảo traceable.
Kỹ sư PMS-certified
Đội ngũ kỹ thuật được đào tạo trực tiếp tại trụ sở PMS — am hiểu chuyên sâu cho từng dòng máy.
2 chi nhánh tại Việt Nam
Văn phòng TP. HCM phục vụ miền Nam, Bắc Ninh phục vụ miền Bắc — giao hàng, lắp đặt cực nhanh.
On-site service & Rental
Phản ứng nhanh tại nhà máy — sửa chữa, hiệu chuẩn, cho thuê thiết bị backup khi máy chính bảo trì.
Technical Hotline
Hỗ trợ kỹ thuật trực tiếp qua điện thoại trong giờ làm việc — giải đáp ứng dụng, cấu hình, sự cố.
Câu hỏi thường gặp FAQ
NanoAir đo được hạt nhỏ đến bao nhiêu?
NanoAir có độ nhạy tới 10 nm nhờ công nghệ đếm hạt ngưng tụ (CPC), phát hiện hạt nano mà máy đếm hạt quang học (~0.1 µm) không đo được.
Vì sao cần đo hạt nano trong fab EUV?
Ở quy trình EUV và nút 3-5nm, hạt vài chục nm đủ gây killer defect. Đo nano giúp phát hiện và kiểm soát nguồn nhiễm trước khi mất yield.
NanoAir khác máy đếm hạt quang học thế nào?
NanoAir dùng nguyên lý ngưng tụ (CPC) để phát hiện hạt nano tới 10 nm, trong khi máy quang học (OPC) chỉ đo được từ ~0.1 µm trở lên.
Lưu lượng lấy mẫu của NanoAir là bao nhiêu?
NanoAir lấy mẫu ở lưu lượng khoảng 2,83 L/phút (0,1 CFM), phù hợp giám sát khí siêu sạch và môi trường buồng công cụ.
NanoAir có tích hợp hệ giám sát FAB không?
Có, NanoAir kết nối trực tiếp vào hệ giám sát / mạng FAB để cung cấp dữ liệu hạt nano thời gian thực.
NanoAir dùng để đo khí siêu tinh khiết được không?
Được — NanoAir đo độ sạch nano của khí UHP như N₂, Ar, CDA cấp cho công cụ, bổ sung cho máy đếm hạt khí áp suất cao HPGP.
NanoAir phù hợp ngành nào ngoài bán dẫn?
Chủ yếu phục vụ bán dẫn tiên tiến; ngoài ra dùng cho R&D vật liệu nano và các quy trình đòi hỏi kiểm soát nhiễm bẩn thang nano.
Mua NanoAir tại Việt Nam ở đâu?
Techmaster là nhà phân phối ủy quyền PMS — liên hệ 0908 173 345 để tư vấn cấu hình và báo giá.
Sẵn sàng đầu tư NanoAir?
Đội ngũ Techmaster tư vấn cấu hình phù hợp, tính ROI cụ thể, và cung cấp dịch vụ hiệu chuẩn ISO/IEC 17025 ANAB ngay tại Việt Nam.
Sản phẩm PMS liên quan CROSS-SELL
📅 Cập nhật: Tháng 7/2026 · ✍️ Nội dung bởi đội ngũ kỹ sư Techmaster Electronics JSC
Đánh giá
Hiện tại không có đánh giá nào.