Kiến thức Phòng sạch

Đếm hạt khí siêu tinh khiết với PMS HPGP 101-C & PDS-E

PMS HPGP 101-C đo hạt ngay tại áp suất đường ống 40–150 psig, không cần bộ giảm áp — loại bỏ một nguồn sai số vừa sinh hạt vừa giữ hạt khỏi chuỗi đo. Bài viết phân tích ý nghĩa của thiết kế này và cách bố trí điểm đo [...]

USP 788: so sánh PMS APSS-2000 và Beckman HIAC 9703+

USP 788 chỉ báo cáo tại 10 µm và 25 µm — cả hai hệ đều vượt xa ngưỡng đó. Trục quyết định thật sự là thể tích mẫu tối thiểu, chiến lược cảm biến và hệ sinh thái phần mềm. So sánh khách quan theo thông số công bố. [...]

Đo tiểu phân phòng sạch điện tử ISO Class 5, 6, 7, 8 theo ISO 14644-1:2015

Bảng cấp sạch đang lưu hành ở phần lớn nhà máy điện tử Việt Nam là bảng ISO 14644-1:1999 đã thu hồi — ô ISO Class 5 ở 5 µm với giá trị 29 hạt/m³ không còn là giới hạn phân loại. Hướng dẫn đầy đủ quy trình đo tiểu [...]

So sánh PMS LiQuilaz II dòng S và dòng E — chọn dải đo nào?

Dòng S săn hạt nhỏ từ 0,2 µm, dòng E bao quát hạt lớn tới 125 µm — hai dải gần như không chồng nhau. Bài viết đối chiếu S02/S03 với E20P/E20 theo thông số công bố và chỉ ra cách xác định mình thuộc nhóm nào. [...]

Toàn vẹn dữ liệu 21 CFR Part 11 với phần mềm PMS FacilityPro

Một hệ giám sát môi trường có thể chạy hoàn hảo mà vẫn trượt thanh tra nếu dữ liệu không truy vết được. Bài viết diễn giải 21 CFR Part 11 và ALCOA+ thành hạng mục cụ thể trên nền tảng FacilityPro, kèm danh mục kiểm tra khi thẩm định. [...]

So sánh PMS HSLIS M50e / M65e / M100e — cảm biến đếm hạt in-situ

Ba cảm biến HSLIS đều đo hạt tại chỗ trên đường ống, khác nhau ở độ nhạy (50 / 65 / 100 nm) và loại môi chất — nước khử ion hay hoá chất ăn mòn chứa HF. Bài viết đối chiếu thông số và đưa khung chọn theo vị [...]

Tủ an toàn cảm biến hạt PMS & Compressed Gas Kit: bảo vệ phép đo hạt

Tủ an toàn cảm biến hạt PMS cung cấp ngăn chặn thứ cấp bằng polypropylene, máy dò rò rỉ và bộ tách bong bóng PFA cho phép đo trong hoá chất; Compressed Gas Kit giảm áp đường khí nén CDA/N₂/khí trơ về đúng cửa sổ đầu vào của máy đếm [...]

Bộ chia mẫu khí PMS AM LL 16/32 và bộ điều khiển lưu lượng UPW FC-200

AM LL 16/32 cho phép một máy đếm hạt phục vụ 16 hoặc 32 điểm lấy mẫu theo chu kỳ tuần tự, đổi lại là chu kỳ quay vòng cần tính trước. FC-200 và FC-100 giữ lưu lượng UPW qua cảm biến ổn định để số đếm lặp lại được [...]

Giám sát ô nhiễm phân tử AMC bảo vệ lithography: PMS AirSentry II

Ô nhiễm phân tử AMC đầu độc chất cản quang và làm mờ quang học. PMS AirSentry II dùng công nghệ IMS phát hiện axit, base, dopant ở mức ppb–ppt, với cấu hình Point-of-Use và Mapping tới 32 điểm. [...]

Đếm hạt trong hoá chất ăn mòn & UPW: PMS UltraChem 40/100 và CLS 700T

Đếm hạt trong hoá chất ăn mòn và UPW của fab bán dẫn với PMS UltraChem 40 (nhạy 40 nm), UltraChem 100 (100 nm) và máy lấy mẫu CLS 700T chuyên cho dung dịch ăn mòn, sủi bọt. [...]