Kiến thức Phòng sạch

So sánh phần mềm giám sát phòng sạch: PMS, Lighthouse và TSI

Ba nền tảng FMS phổ biến đều công bố giám sát thời gian thực, cảnh báo đa kênh và hỗ trợ 21 CFR Part 11 — nên tiêu chí đó không còn dùng để phân biệt. Khác biệt thật nằm ở ba câu hỏi: hệ nhận dữ liệu từ thiết [...]

PMS HSLIS M50e: vì sao ngưỡng 50 nm chỉ có ở bản nước DI

Ba bản HSLIS không phải bậc thang độ nhạy theo giá. Ngưỡng của từng bản bị quyết định bởi chất lỏng mà nó được phép tiếp xúc — M50e chỉ dùng cho nước khử ion, và đó chính là lý do duy nhất nó xuống được 50 nm. Bước sang [...]

Chia mẫu khí đa điểm bằng PMS AM LL 16/32: được gì và mất gì

Manifold 16/32 cổng cắt phép nhân chi phí khi phải giám sát vài chục vị trí — nhưng thứ tiết kiệm bằng tiền phải trả lại bằng thời gian. Duty cycle, thời gian xả ống và thất thoát hạt trên ống là ba khoản chi phí ẩn cần tính trước [...]

PMS IsoAir 310P: bốn thông số quyết định chất lượng dữ liệu

Độ nhạy và số kênh chỉ là hai dòng đầu của datasheet. Lưu lượng mẫu, giới hạn ống lấy mẫu, bộ nhớ đệm và kiểu bơm mới là bốn thông số quyết định con số bạn đọc được mỗi sáng có dùng được hay không. [...]

Đếm hạt nano trong UPW: PMS Ultra DI 20 Plus so với Rion KS-19F và KS-18F

Ngưỡng phát hiện chỉ trả lời một nửa câu hỏi. Bài viết đối chiếu thông số công bố của ba thiết bị đếm hạt trong nước siêu tinh khiết và chỉ ra vì sao thể tích hiệu dụng mỗi phút mới là cột quyết định chương trình giám sát. [...]

Thẩm định lại sau thay đổi: thay đổi nào buộc phải chạy lại nghiệm thu phòng sạch

Làm lại toàn bộ bộ thử cho mọi thay đổi thì tốn thời gian dừng sản xuất; bỏ qua vì thay đổi nhỏ thì đặt dấu hỏi lên toàn bộ dữ liệu sinh ra sau đó. Bài viết dựng khung phân loại thay đổi theo cơ chế bị chạm, kèm [...]

Giám sát hạt trong isolator và RABS: chọn cảm biến sống được với chu trình VHP

Đặt cảm biến vào trong isolator là quyết định dễ; giữ cho nó còn đúng sau vài chục chu trình khử khuẩn bằng hơi hydrogen peroxide mới là phần khó. Bài viết tách ba chiến lược xử lý bài toán này, đối chiếu thông số công bố của bốn cấu [...]

Quy trình ướt trong fab: CMP, ăn mòn và làm sạch sinh hạt trong lỏng ở đâu

Ở các công đoạn ướt, chất lỏng sau bộ lọc cuối đi thẳng tới bề mặt wafer và không còn tầng lọc nào ở giữa. Bài viết giải thích ba họ quy trình ướt sinh hạt bằng cơ chế nào, vì sao ngưỡng đo trong lỏng phải lùi xuống vài [...]

Nhà máy chạy nhiều ca: đọc dữ liệu đếm hạt khi mỗi ca một nhịp sản xuất

Một nhà máy chạy ba ca hiếm khi chạy ba ca giống nhau, nhưng hệ giám sát hạt thường được cấu hình như thể chỉ tồn tại một trạng thái hoạt động duy nhất. Bài viết chỉ ra vì sao việc gộp dữ liệu ba ca vào một phân bố [...]

Cảm biến đếm hạt cố định 0,1 CFM: ba dòng thông số quyết định chất lượng dữ liệu 24/7

Phần lớn bảng so sánh cảm biến đếm hạt cố định dừng lại ở cỡ hạt nhỏ nhất và số kênh — hai dòng gần như giống nhau ở mọi hãng. Ba dòng thực sự phân hoá chất lượng dữ liệu liên tục nằm sâu hơn: số đếm nền cùng [...]