AirSentry® II Point-of-Use — Giám sát ô nhiễm phân tử (AMC) thời gian thực
Máy quang phổ di động ion (IMS) phát hiện axit & bazơ ở mức ppt ngay tại điểm tới hạn
Bảo vệ quang khắc, wafer và khí siêu tinh khiết khỏi HF, HCl, clorua, amin và amoniac — cảnh báo sớm để giữ yield. Độ nhạy hàng đầu ngành từ Particle Measuring Systems.
Hình ảnh sản phẩm PRODUCT GALLERY
AirSentry® II Point-of-Use tại tool thạch bản
Cảm biến IMS phát hiện axit & bazơ mức ppt
Giám sát AMC thời gian thực trong phòng sạch
Tích hợp dữ liệu vào hệ thống giám sát nhà máy
Thông số kỹ thuật SPECIFICATIONS
| Công nghệ | Quang phổ di động ion (Ion Mobility Spectrometry – IMS) |
|---|---|
| Loại ô nhiễm giám sát | Ô nhiễm phân tử trong không khí (AMC) |
| Chủng chất phát hiện | Axit (HF, HCl, HBr, HNO₃, SOₓ), Clorua, Amin, Amoniac (NH₃) |
| Độ nhạy | Mức ppt theo từng chủng – độ nhạy hàng đầu ngành (tới ~70 ppt) |
| Chế độ đo | Thời gian thực, liên tục, tự động |
| Cấu hình | Point-of-Use (1 điểm); biến thể Mobile & Chlorides PoU |
| Đầu ra / kết nối | Tín hiệu số; tích hợp hệ thống giám sát nhà máy (FMS/FacilityNet) |
| Ứng dụng tiêu biểu | Thạch bản/EUV, khu vực etch, lưu trữ wafer (FOUP), khí UHP |
| Hãng sản xuất | Particle Measuring Systems (PMS) – Hoa Kỳ · Phân phối: Techmaster |
ROI Calculator — Giá trị giám sát AMC bằng AirSentry® II
Một sự cố ô nhiễm phân tử (haze trên reticle, T-topping trong thạch bản, ăn mòn do axit) không được phát hiện sớm có thể phá huỷ nhiều wafer. Nhập dữ liệu fab của bạn:
→ Với chi phí ~$50-150K, ROI ước tính 3-6 tháng
⚠️ Ước tính tham khảo. Liên hệ Techmaster để có phân tích ROI chi tiết.
Ngành & Ứng dụng 5 USE CASES
5 kịch bản triển khai AirSentry® II Point-of-Use cho khách hàng tại Việt Nam — pain point cụ thể và giải pháp tương ứng.
Bảo vệ quang học & photoresist
Amin và amoniac gây haze và T-topping, làm mờ thấu kính và biến dạng pattern.
Giám sát axit ăn mòn
Hơi HF, HCl, clorua ăn mòn thiết bị và wafer tại khu etch.
AMC trong FOUP & buồng lưu trữ
Khí thoát ra trong FOUP tích tụ AMC trên bề mặt wafer khi chờ xử lý.
Nghiệm thu hiệu quả phin lọc AMC
Phin lọc hóa học suy giảm theo thời gian, cần định lượng hiệu quả lọc định kỳ.
QC phân tử cho khí siêu tinh khiết
Nhà cung cấp khí cho fab cần kiểm soát tạp phân tử trong khí UHP và khí đặc chủng.
So sánh phương pháp giám sát AMC CHỌN ĐÚNG GIẢI PHÁP
| Tiêu chí | AirSentry® II (IMS, thời gian thực) | Lấy mẫu offline + phân tích lab |
|---|---|---|
| Thời gian có kết quả | Tức thời (real-time) | Hàng giờ đến hàng ngày |
| Phát hiện sự cố | Ngay khi xảy ra | Hồi tố, sau khi đã hỏng |
| Truy vết nguồn ô nhiễm | Có – theo dõi liên tục | Khó – chỉ ảnh tại thời điểm |
| Chi phí mỗi lần đo | Thấp, đo liên tục | Cao cho mỗi mẫu lab |
| Bảo vệ yield | Chủ động, cảnh báo sớm | Bị động |
Point-of-Use vs Hệ thống đa điểm SO SÁNH KHÁCH QUAN
| Tiêu chí | Point-of-Use (1 điểm) | Hệ thống đa điểm – Mapping |
|---|---|---|
| Phạm vi giám sát | 1 vị trí tới hạn | Tới 10 điểm lấy mẫu |
| Kiểu đo | Liên tục tại 1 điểm | Tuần tự luân phiên nhiều điểm |
| Số máy phân tích | 1 máy / điểm | 1 máy dùng chung nhiều điểm |
| Ứng dụng lý tưởng | Bảo vệ tool/khu vực trọng yếu | Bản đồ AMC & nghiệm thu phòng sạch |
| Chi phí theo điểm | Cao khi cần nhiều điểm | Thấp khi giám sát diện rộng |
📌 Dữ liệu từ datasheet công khai. Verify với từng vendor để có info chính xác nhất.
Lợi ích chính 4 KEY BENEFITS
Độ nhạy hàng đầu ngành
Phát hiện axit & bazơ ở mức ppt — không sản phẩm nào trên thị trường nhạy hơn.
Cảnh báo sớm, bảo vệ yield
Phát hiện AMC tức thời giúp ngăn haze, T-topping và ăn mòn trước khi hỏng lô.
Dữ liệu ổn định, đáng tin cậy
Kiểm soát & phân tích dữ liệu mạnh mẽ, ổn định dài hạn cho quyết định dựa trên dữ liệu.
Chi phí mỗi lần đo thấp nhất
Giám sát liên tục, tự động với chi phí vận hành tối ưu trên mỗi phép đo.
Tại sao chọn Techmaster DISTRIBUTOR USP
★ AUTHORIZED
Nhà phân phối ủy quyền PMS
Hàng chính hãng 100% từ trụ sở PMS Boulder, Colorado — kèm chứng nhận xuất xứ cho mỗi đơn hàng.
Lab ISO/IEC 17025 (ANAB)
Hiệu chuẩn ngay tại Việt Nam — tiết kiệm 4-8 tuần so với gửi đi nước ngoài, vẫn đảm bảo traceable.
Kỹ sư PMS-certified
Đội ngũ kỹ thuật được đào tạo trực tiếp tại trụ sở PMS — am hiểu chuyên sâu cho từng dòng máy.
2 chi nhánh tại Việt Nam
Văn phòng TP. HCM phục vụ miền Nam, Bắc Ninh phục vụ miền Bắc — giao hàng, lắp đặt cực nhanh.
On-site service & Rental
Phản ứng nhanh tại nhà máy — sửa chữa, hiệu chuẩn, cho thuê thiết bị backup khi máy chính bảo trì.
Technical Hotline
Hỗ trợ kỹ thuật trực tiếp qua điện thoại trong giờ làm việc — giải đáp ứng dụng, cấu hình, sự cố.
Câu hỏi thường gặp FAQ
Ô nhiễm phân tử trong không khí (AMC) là gì?
AMC là các tạp chất ở dạng phân tử (axit, bazơ, chất ngưng tụ, dopant) lơ lửng trong không khí phòng sạch ở mức ppt–ppb, gây defect bề mặt, haze và ăn mòn dù không phải là hạt bụi.
AirSentry® II Point-of-Use phát hiện những chất nào?
Tùy cấu hình mô-đun: nhóm axit (HF, HCl, HBr, HNO₃, SOₓ, clorua) hoặc nhóm bazơ (amin, amoniac/NH₃). Có biến thể Chlorides PoU chuyên cho clorua.
Công nghệ IMS hoạt động như thế nào?
Quang phổ di động ion (IMS) ion hóa mẫu khí rồi đo thời gian bay của ion để định danh và định lượng chất ở mức ppt, theo thời gian thực và liên tục.
Độ nhạy ppt nghĩa là gì và vì sao quan trọng?
ppt = phần nghìn tỷ. Ở các nút công nghệ tiên tiến, chỉ vài ppt amin hay axit cũng đủ gây haze reticle hoặc lệch pattern — nên cần độ nhạy hàng đầu ngành của PMS.
Point-of-Use khác Hệ thống đa điểm (Mapping) như thế nào?
Point-of-Use giám sát liên tục 1 điểm tới hạn; Hệ thống Mapping dùng 1 máy phân tích luân phiên tới 10 điểm để lập bản đồ AMC toàn phòng sạch. Xem sản phẩm Mapping trong mục liên quan.
Lắp đặt AirSentry II ở đâu trong nhà máy?
Tại các vị trí tới hạn: scanner/track thạch bản, khu etch, cổng FOUP/stocker, trước-sau phin lọc hóa học, hoặc đường khí UHP cần QC phân tử.
Có tích hợp vào hệ thống giám sát nhà máy không?
Có. Tín hiệu số của AirSentry II tích hợp vào FMS/FacilityNet để cảnh báo ngưỡng, lưu trữ và phân tích xu hướng dài hạn.
Techmaster hỗ trợ gì sau bán hàng?
Là nhà phân phối ủy quyền PMS tại Việt Nam, Techmaster cung cấp tư vấn ứng dụng, lắp đặt, đào tạo, hiệu chuẩn và bảo trì AirSentry II.
Sẵn sàng kiểm soát ô nhiễm phân tử (AMC)?
Liên hệ Techmaster để được tư vấn cấu hình AirSentry® II Point-of-Use phù hợp với nhà máy của bạn.
Sản phẩm PMS liên quan CROSS-SELL
Cập nhật: 2026 · AirSentry® II Point-of-Use — Phân phối bởi Techmaster Vietnam (đại lý ủy quyền PMS).
Đánh giá
Hiện tại không có đánh giá nào.