Phát hiện sớm nhiễm bẩn phân tử trong không khí (acid, base, condensable, dopant) bảo vệ wafer và yield — AirSentry® II, từ Particle Measuring Systems, phân phối chính thức tại Việt Nam bởi Techmaster.
Giám sát nhiễm bẩn phân tử tại điểm sử dụng hoặc đa điểm trên toàn fab bán dẫn.
Máy quang phổ di động ion (IMS) point-of-use của Particle Measuring Systems, giám sát ô nhiễm phân tử (AMC) — axit, clorua, amin, amoniac — thời gian thực ở mức ppt. Bảo vệ thạch bản, lưu trữ wafer và khí siêu tinh khiết. Phân phối chính hãng bởi Techmaster Vietnam.
Xem chi tiếtHệ thống giám sát ô nhiễm phân tử (AMC) đa điểm của Particle Measuring Systems: một máy phân tích IMS luân phiên tới 10 điểm lấy mẫu, phát hiện axit & bazơ ở mức ppt. Lập bản đồ, nghiệm thu và truy vết nguồn AMC trong phòng sạch bán dẫn. Phân phối bởi Techmaster Vietnam.
Xem chi tiếtAMC (Airborne Molecular Contamination) là nhiễm bẩn phân tử trong không khí như acid, base, condensable và dopant — gây ăn mòn, mờ và lỗi trên wafer bán dẫn.
Point-of-Use giám sát AMC tại một điểm critical; Mapping System giám sát đa điểm trên toàn fab để định vị nguồn nhiễm bẩn.
Nồng độ AMC rất thấp (ppb) vẫn gây lỗi; giám sát realtime giúp cảnh báo sớm và bảo vệ năng suất sản xuất.
Kỹ sư Techmaster Vietnam tư vấn cấu hình AirSentry II point-of-use hoặc mapping cho nhà máy bán dẫn.
