Máy Đếm Hạt Tiểu Phân Khí Siêu TInh Khiết PMS HPGP 101 hay còn gọi là HPGP 101C particle counter là hệ thống đếm hạt từ xa cho khí áp suất cao. Thiết bị có khả năng phát hiện tiểu phân nhỏ đến 0.1 µm. Trong môi trường khí tinh khiết (UHP), máy kết hợp cùng hệ thống PDS-E. Giải pháp này giúp giám sát an toàn và chính xác tuyệt đối. Hệ thống đáp ứng các tiêu chuẩn khắt khe nhất của ngành bán dẫn.
1. Thông Số Kỹ Thuật
| Tham số | Chi tiết thông số kỹ thuật của PMS HPGP 101 |
|---|---|
| Kích thước kênh hạt | 0.1, 0.2, 0.3, 0.5, 1.0, 2.0, 3.0, 5.0 µm |
| Dải lưu lượng | 0.1 CFM (2.8 L/min) |
| Áp suất vận hành | 40 – 150 psig (2.8 – 10.3 bar) |
| Nguồn sáng | Laser Diode (Công nghệ tuổi thọ cao) |
| Hiệu chuẩn | Tuân thủ tiêu chuẩn NIST |
| Cổng kết nối | 1/4 inch VCR (Inlet/Outlet) |
| Giao diện truyền thông | RS-485, 4-20 mA (Tùy chọn qua FacilityNet) |
| Mẫu mã | HPGP 101C particle counter |
2. Lợi Ích & Tính Năng Cốt Lõi
Giảm thiểu rủi ro nhiễm chéo nhờ độ nhạy 0.1 µm
Sử dụng PMS HPGP 101 cho phép bạn phát hiện hạt ở ngưỡng cực nhỏ 0.1 µm. Điều này giúp nhận diện sớm các biến động trong hệ thống khí áp suất cao, bảo vệ tấm wafer khỏi các tác nhân ô nhiễm tiềm ẩn trong quy trình photolithography.
Thiết bị đếm hạt khí UHP vận hành an toàn
Máy đếm hạt PMS 101-C làm việc trực tiếp với áp suất tới 150 psig. Thiết bị ưu việt hơn hẳn các dòng máy thông thường. Công nghệ PDS-E giúp kiểm soát luồng khí ổn định. Hệ thống loại bỏ hoàn toàn nhiễu dữ liệu từ bộ giảm áp ngoài.
Tương thích hệ thống giám sát thời gian thực
Dữ liệu từ HPGP 101C particle counter được truyền tải qua giao thức RS-485, dễ dàng tích hợp vào phần mềm FacilityNet để tự động hóa báo cáo và thiết lập cảnh báo tức thời, giúp kỹ sư phản ứng nhanh với mọi sự cố ô nhiễm khí.
3. Lĩnh Vực Ứng Dụng
PMS HPGP 101 là lựa chọn hàng đầu cho các chuyên gia kiểm soát ô nhiễm trong:
- Sản xuất bán dẫn: Giám sát các loại khí UHP (N2, Ar, He, O2) tại điểm sử dụng.
- Công nghiệp điện tử: Sử dụng thiết bị đếm hạt khí UHP để kiểm tra độ sạch đường ống dẫn khí.
- Hóa chất tinh khiết: Đảm bảo khí đóng gói không chứa tiểu phân gây hại cho thành phẩm.
4. Tại sao nên chọn PMS HPGP 101 thay vì các dòng máy cũ?
Máy đếm hạt PMS 101-C có khả năng lấy mẫu trực tiếp trong dòng khí áp suất cao. Việc đo trực tiếp giúp loại bỏ hoàn toàn “hạt giả” từ các van cơ khí. HPGP 101C particle counter cân bằng hoàn hảo giữa độ bền vật lý và độ nhạy quang học. Thiết bị đáp ứng đầy đủ tiêu chuẩn ISO 14644-1 và NIST. Đây là giải pháp đếm hạt duy nhất tối ưu cho áp suất cao trên thị trường.
5. Các lỗi thường gặp trong vận hành & Cách xử lý
Trong quá trình vận hành PMS HPGP 101, người dùng có thể gặp một số tình trạng kỹ thuật sau. Việc nắm rõ cách xử lý sẽ giúp thiết bị hoạt động ổn định và kéo dài tuổi thọ:
Lỗi lưu lượng không ổn định (Flow Rate Alarm):
Nguyên nhân: Thường do bộ điều tiết áp suất trong hệ thống PDS-E bị kẹt hoặc đường ống bị tắc nghẽn.
Xử lý: Kiểm tra lại các đầu nối VCR và đảm bảo áp suất đầu vào nằm trong khoảng 40-150 psig. Vệ sinh bộ lọc nếu cần thiết.
Nồng độ hạt tăng đột biến không rõ nguyên nhân:
Nguyên nhân: Có thể do rò rỉ tại các mối nối (VCR fitting) dẫn đến không khí bên ngoài lọt vào hệ thống khí UHP.
Xử lý: Sử dụng thiết bị dò rỉ khí chuyên dụng để kiểm tra tất cả các điểm nối từ nguồn khí đến máy đếm hạt PMS 101-C.
Lỗi Laser (Laser Power Low):
Nguyên nhân: Laser diode sau thời gian dài sử dụng (thường trên 5 năm) có thể bị suy giảm cường độ.
Xử lý: Liên hệ trung tâm dịch vụ ủy quyền của Particle Measuring Systems để kiểm tra và thay thế bộ nguồn laser mới.
Mất kết nối tín hiệu (Communication Error):
Nguyên nhân: Nhiễu điện từ trên đường truyền RS-485 hoặc lỏng cáp kết nối.
Xử lý: Kiểm tra lại các chân cắm tín hiệu và đảm bảo cáp truyền thông có lớp bọc kim chống nhiễu đúng tiêu chuẩn.
6. Câu Hỏi Thường Gặp (FAQ)
Q: PMS HPGP 101 có thể đo được khí Oxy tinh khiết không?
A: Có, thiết bị hoàn toàn tương thích với các loại khí trơ và khí Oxy tinh khiết trong môi trường UHP.
Q: Máy đếm hạt PMS 101-C cần bảo trì những gì?
A: Bạn cần thực hiện hiệu chuẩn hàng năm tại trung tâm ủy quyền của Particle Measuring Systems để đảm bảo đi-ốt laser và cảm biến hoạt động chính xác.
Q: Sự khác biệt lớn nhất của HPGP 101C particle counter là gì?
A: Đó là khả năng chịu áp suất trực tiếp lên đến 150 psig mà vẫn giữ được độ nhạy 0.1 µm, điều mà các máy đếm hạt cầm tay thông thường không thể làm được.
7. Đặt mua PMS HPGP 101 Chính Hãng Tại Việt Nam
Bạn đang tìm kiếm giải pháp kiểm soát ô nhiễm khí tối ưu cho phòng sạch? Đừng để những tiểu phân nhỏ làm ảnh hưởng đến hiệu suất sản xuất của bạn.
Liên hệ ngay với đội ngũ chuyên gia của chúng tôi để được tư vấn kỹ thuật chuyên sâu về hệ thống máy đếm hạt PMS 101-C và nhận báo giá cạnh tranh.
Đánh giá
Hiện tại không có đánh giá nào.