Bộ Điều Khiển Lưu Lượng UPW PMS FC-200
Kiểm soát chính xác dòng nước siêu tinh khiết (UPW) qua máy đếm hạt
PMS FC-200 (và FC-100) là bộ điều khiển lưu lượng UPW cho máy đếm hạt tiểu phân trong dung dịch. Kiểm soát hoàn toàn dòng chảy của nước siêu tinh khiết qua máy đếm là yếu tố then chốt để đảm bảo dữ liệu đếm hạt chính xác và lặp lại.

Hình ảnh sản phẩm PRODUCT GALLERY
Thông số kỹ thuật SPECIFICATIONS
| Thông số | Giá trị |
|---|---|
| Chức năng | Bộ điều khiển lưu lượng UPW cho máy đếm hạt |
| Model | FC-200 và FC-100 |
| Mục đích | Kiểm soát hoàn toàn dòng chảy UPW qua máy đếm |
| Lợi ích | Dữ liệu đếm hạt chính xác và lặp lại |
| Tương thích | Máy đếm hạt tiểu phân trong dung dịch PMS |
| Loại mẫu | Nước siêu tinh khiết (UPW) |
| Ứng dụng | Hệ giám sát hạt trong UPW của fab bán dẫn |
ROI Calculator — Tính giá trị đầu tư FC-200
Một sự cố nhiễm hạt trong nước siêu tinh khiết (UPW) không được phát hiện có thể phá hủy cả lô wafer. Giám sát UPW thời gian thực giúp phát hiện sớm và bảo vệ năng suất fab.
→ Với chi phí ~$50-150K, ROI ước tính 3-6 tháng
⚠️ Ước tính tham khảo. Liên hệ Techmaster để có phân tích ROI chi tiết.
Ngành & Ứng dụng 5 USE CASES
5 ứng dụng FC-200 giám sát hạt trong hệ thống nước siêu tinh khiết (UPW) tại nhà máy bán dẫn Việt Nam.
Giám sát nước siêu tinh khiết fab
FC-200 giám sát hạt hạt trong hệ thống UPW của fab — nơi nước siêu tinh khiết tiếp xúc trực tiếp với wafer.
Vòng tuần hoàn & phân phối UPW
FC-200 theo dõi chất lượng nước trên vòng tuần hoàn và các nhánh phân phối UPW tới tool.
Điểm sử dụng tại tool (rinse/clean)
FC-200 xác nhận chất lượng UPW ngay trước khi tiếp xúc wafer tại wet process/rinse.
Chất lượng nước cấp & tái sinh
FC-200 kiểm soát hiệu quả hệ xử lý/tái sinh UPW bằng cách đo hạt đầu ra.
Cảnh báo nhiễm hạt UPW
FC-200 phát hiện và cảnh báo các sự cố tăng hạt đột biến trong UPW.
Giám sát UPW online vs Lấy mẫu thủ công TẠI SAO ĐO INLINE
| Tiêu chí | Lấy mẫu thủ công (offline) | FC-200 (online) |
|---|---|---|
| Phát hiện | Trễ, sau sự việc | Thời gian thực |
| Độ nhạy | Hạn chế | hạt |
| Rủi ro nhiễm mẫu | Cao khi lấy/chuyển mẫu | Đo trực tiếp inline |
| Phản ứng sự cố | Chậm | Tức thì, cảnh báo |
| Tự động hóa | Thủ công | FacilityNet |
Chọn model Ultra DI theo độ nhạy hạt vs 50 nm
| Tiêu chí | FC-200 | Ultra DI 50 |
|---|---|---|
| Độ nhạy nhỏ nhất | hạt | 50 nm |
| Phù hợp node | Tiên tiến (≤14 nm) | UPW tiêu chuẩn |
| Loại mẫu | Nước siêu tinh khiết | Nước siêu tinh khiết |
| Hiệu suất đếm | 100% lượng mẫu | 100% lượng mẫu |
| Tích hợp | FacilityNet | FacilityNet |
📌 Dữ liệu từ datasheet công khai. Verify với từng vendor để có info chính xác nhất.
Lợi ích chính 4 KEY BENEFITS
Kiểm soát lưu lượng UPW
Kiểm soát chính xác dòng chảy nước siêu tinh khiết qua máy đếm hạt.
Dữ liệu chính xác
Lưu lượng ổn định giúp kết quả đếm hạt chính xác và lặp lại.
Tương thích máy đếm PMS
Phụ kiện cho máy đếm hạt tiểu phân trong dung dịch của PMS.
Service tại VN
Hiệu chuẩn & bảo trì bởi kỹ sư PMS-certified, lab ISO/IEC 17025 ngay tại Việt Nam.
Tại sao chọn Techmaster DISTRIBUTOR USP
★ AUTHORIZED
Nhà phân phối ủy quyền PMS
Hàng chính hãng 100% từ trụ sở PMS Boulder, Colorado — kèm chứng nhận xuất xứ cho mỗi đơn hàng.
Lab ISO/IEC 17025 (ANAB)
Hiệu chuẩn ngay tại Việt Nam — tiết kiệm 4-8 tuần so với gửi đi nước ngoài, vẫn đảm bảo traceable.
Kỹ sư PMS-certified
Đội ngũ kỹ thuật được đào tạo trực tiếp tại trụ sở PMS — am hiểu chuyên sâu cho từng dòng máy.
2 chi nhánh tại Việt Nam
Văn phòng TP. HCM phục vụ miền Nam, Bắc Ninh phục vụ miền Bắc — giao hàng, lắp đặt cực nhanh.
On-site service & Rental
Phản ứng nhanh tại nhà máy — sửa chữa, hiệu chuẩn, cho thuê thiết bị backup khi máy chính bảo trì.
Technical Hotline
Hỗ trợ kỹ thuật trực tiếp qua điện thoại trong giờ làm việc — giải đáp ứng dụng, cấu hình, sự cố.
Câu hỏi thường gặp FAQ
PMS FC-200 là gì?
Bộ điều khiển lưu lượng UPW cho máy đếm hạt tiểu phân trong dung dịch, kiểm soát dòng chảy nước siêu tinh khiết qua máy đếm.
Vì sao cần kiểm soát lưu lượng?
Lưu lượng ổn định là yếu tố then chốt để dữ liệu đếm hạt chính xác và lặp lại.
FC-200 khác FC-100 thế nào?
Cả hai đều là bộ điều khiển lưu lượng UPW; liên hệ Techmaster để chọn model phù hợp.
FC-200 dùng với máy đếm nào?
Máy đếm hạt tiểu phân trong dung dịch (UPW) của PMS.
Loại mẫu phù hợp?
Nước siêu tinh khiết (UPW).
FC-200 có phải máy đếm không?
Không — là phụ kiện điều khiển lưu lượng cho máy đếm hạt.
Ứng dụng chính?
Hệ giám sát hạt trong UPW của nhà máy bán dẫn.
Techmaster hỗ trợ gì tại VN?
Tư vấn, lắp đặt, hiệu chuẩn và bảo trì tại lab ISO/IEC 17025.
Sẵn sàng đầu tư FC-200?
Đội ngũ Techmaster tư vấn cấu hình phù hợp, tính ROI cụ thể, và cung cấp dịch vụ hiệu chuẩn ISO/IEC 17025 ANAB ngay tại Việt Nam.
Sản phẩm PMS liên quan CROSS-SELL
📅 Cập nhật: Tháng 5/2026 · ✍️ Nội dung bởi đội ngũ kỹ sư Techmaster Electronics JSC




Đánh giá
Hiện tại không có đánh giá nào.