Bộ Đa Tạp Khí Lấy Mẫu Tuần Tự PMS AM II 16/32
Đa tạp lấy mẫu tuần tự 16/32 cổng — giám sát đa điểm với một máy đếm hạt
AM II 16/32 là thiết bị đa tạp khí tuần tự 16/32 cổng, đồng hành cùng máy đếm hạt nano Lasair / IsoAir — giám sát tuần tự tới 16/32 vị trí (lên đến nhiều khu vực không gian fab) chỉ với một máy đếm, lý tưởng cho mini-environment EFEM và các điểm tới hạn trong fab bán dẫn.
Hình ảnh sản phẩm PRODUCT GALLERY
Thông số kỹ thuật SPECIFICATIONS
| Thông số | Giá trị |
|---|---|
| Số cổng lấy mẫu | 16 hoặc 32 cổng (lấy mẫu tuần tự) |
| Phương thức lấy mẫu | Tuần tự qua một đầu đếm hạt cố định dùng chung |
| Đầu đếm tương thích | Lasair® III / Lasair® Pro / IsoAir® |
| Độ nhạy | Theo đầu đếm kết nối (tới 0.1 µm với Lasair) |
| Lưu lượng mẫu | Theo đầu đếm kết nối (vd. 1.0 CFM / 28.3 LPM với Lasair Pro) |
| Ứng dụng | Kiểm tra định kỳ & phân tích xu hướng tại nhiều vị trí (khi không cần giám sát liên tục) |
| Tích hợp phần mềm | FacilityNet™ / FacilityPro® (FMS) |
| Tiêu chuẩn | ISO 14644-1 · ISO 21501-4 · EU GMP Annex 1 |
ROI Calculator — Tính giá trị đầu tư AM II 16/32
Một điểm nhiễm hạt bị bỏ sót có thể phá hủy cả lô wafer. AM II 16/32 giúp một máy đếm phủ tới 16/32 điểm — vừa giảm chi phí thiết bị, vừa không bỏ lọt điểm tới hạn.
→ Với chi phí ~$50-150K, ROI ước tính 3-6 tháng
⚠️ Ước tính tham khảo. Liên hệ Techmaster để có phân tích ROI chi tiết.
Ngành & Ứng dụng 5 USE CASES
5 ứng dụng AM II 16/32 giám sát đa điểm trong fab bán dẫn tại Việt Nam — điểm đau cụ thể và cách giải pháp đa tạp 16/32 cổng giải quyết.
Giám sát mini-environment EFEM
AM II 16/32 cho phép giám sát hạt bên trong các mini-environment EFEM của tool xử lý — nơi không gian chật và cần nhiều điểm đo.
Phủ nhiều điểm trong bay sạch
AM II 16/32 phủ tới nhiều khu vực không gian fab với một máy đếm, lấy mẫu tuần tự 16/32 vị trí.
Điểm tới hạn quanh tool
AM II 16/32 giám sát các điểm tới hạn quanh tool process — nơi defect hạt trực tiếp làm hỏng wafer.
Load port & đường vận chuyển wafer
AM II 16/32 theo dõi hạt tại load port và đường vận chuyển wafer theo lịch lập trình.
Giám sát fab tiết kiệm chi phí
AM II 16/32 giúp giảm tổng chi phí giám sát hạt nhờ một máy đếm phục vụ nhiều điểm.
AM II 16/32 vs Nhiều máy đếm rời TẠI SAO DÙNG ĐA TẠP
| Tiêu chí | Nhiều máy đếm độc lập | AM II 16/32 + 1 máy đếm |
|---|---|---|
| Chi phí thiết bị | Cao — mỗi điểm một máy | Thấp — 1 máy cho 16/32 điểm |
| Hiệu chuẩn | Nhiều thiết bị, tốn kém | Một thiết bị, đơn giản |
| Số điểm phủ | Theo số máy đếm | Tới 16/32 điểm / nhiều khu vực |
| Quản lý dữ liệu | Phân tán nhiều máy | Tập trung qua một máy |
| Mở rộng | Phải mua thêm máy | Thêm điểm vào manifold |
Tuần tự đa điểm vs Cố định 1 điểm ĐÚNG MỤC ĐÍCH
| Tiêu chí | Cảm biến cố định 1 điểm | AM II 16/32 (tuần tự) |
|---|---|---|
| Số điểm | 1 điểm / thiết bị | Tới 16/32 điểm |
| Chi phí mỗi điểm | Cao | Thấp |
| Tần suất | Liên tục một điểm | Tuần tự nhiều điểm (lập trình được) |
| Phù hợp | Điểm cực kỳ tới hạn | Phủ rộng nhiều điểm |
| Khoanh vùng nguồn hạt | Hạn chế | Tốt — so sánh nhiều điểm |
📌 Dữ liệu từ datasheet công khai. Verify với từng vendor để có info chính xác nhất.
Lợi ích chính 4 KEY BENEFITS
16/32 cổng · theo đầu đếm
Giám sát tuần tự tới 16/32 điểm với một máy đếm; lưu lượng mẫu theo đầu đếm, chu kỳ lập trình được.
Phủ tới nhiều khu vực
Một Lasair / IsoAir + AM II 16/32 phủ tới nhiều khu vực không gian fab — giảm số máy đếm cần thiết.
Thông minh & linh hoạt
nhiều chế độ lấy mẫu, đèn LED báo cổng, lập trình theo lịch; tích hợp với máy đếm hạt PMS.
Service tại VN
Hiệu chuẩn & bảo trì bởi kỹ sư PMS-certified, lab ISO/IEC 17025 ngay tại Việt Nam.
Tại sao chọn Techmaster DISTRIBUTOR USP
★ AUTHORIZED
Nhà phân phối ủy quyền PMS
Hàng chính hãng 100% từ trụ sở PMS Boulder, Colorado — kèm chứng nhận xuất xứ cho mỗi đơn hàng.
Lab ISO/IEC 17025 (ANAB)
Hiệu chuẩn ngay tại Việt Nam — tiết kiệm 4-8 tuần so với gửi đi nước ngoài, vẫn đảm bảo traceable.
Kỹ sư PMS-certified
Đội ngũ kỹ thuật được đào tạo trực tiếp tại trụ sở PMS — am hiểu chuyên sâu cho từng dòng máy.
2 chi nhánh tại Việt Nam
Văn phòng TP. HCM phục vụ miền Nam, Bắc Ninh phục vụ miền Bắc — giao hàng, lắp đặt cực nhanh.
On-site service & Rental
Phản ứng nhanh tại nhà máy — sửa chữa, hiệu chuẩn, cho thuê thiết bị backup khi máy chính bảo trì.
Technical Hotline
Hỗ trợ kỹ thuật trực tiếp qua điện thoại trong giờ làm việc — giải đáp ứng dụng, cấu hình, sự cố.
Câu hỏi thường gặp FAQ
AM II 16/32 là gì?
AM II 16/32 là thiết bị đa tạp khí tuần tự 16/32 cổng, lấy mẫu tuần tự và đồng hành cùng máy đếm hạt nano Lasair / IsoAir để giám sát đa điểm.
Phủ được bao nhiêu điểm và diện tích?
Tới 16/32 cổng lấy mẫu, giám sát lên đến nhiều khu vực không gian fab / xử lý khi dùng cả 16/32 cổng.
Lưu lượng và chu kỳ lấy mẫu là bao nhiêu?
Lưu lượng mẫu theo đầu đếm; chu kỳ lấy mẫu lập trình theo chu kỳ lập trình linh hoạt.
Có những chế độ lấy mẫu nào?
AM II 16/32 hỗ trợ nhiều chế độ lấy mẫu (đồng bộ, tuần tự, lập trình…) và có đèn LED báo cổng đang hoạt động.
AM II 16/32 dùng với máy đếm nào?
Thiết bị được thiết kế đồng hành với máy đếm hạt nano Lasair / IsoAir, lý tưởng cho giám sát đa điểm trong fab.
AM II 16/32 dùng ở đâu trong fab?
Trong mini-environment EFEM, quanh tool process, tại load port và các điểm tới hạn cần giám sát hạt.
Lợi ích chính so với dùng nhiều máy đếm?
Một máy đếm phủ tới 16/32 điểm giúp giảm chi phí thiết bị, hiệu chuẩn và quản lý dữ liệu tập trung hơn.
Techmaster hỗ trợ gì tại Việt Nam?
Techmaster tư vấn cấu hình, cung cấp, lắp đặt, hiệu chuẩn Lasair / IsoAir kèm theo và bảo trì tại lab ISO/IEC 17025.
Sẵn sàng đầu tư AM II 16/32?
Đội ngũ Techmaster tư vấn cấu hình phù hợp, tính ROI cụ thể, và cung cấp dịch vụ hiệu chuẩn ISO/IEC 17025 ANAB ngay tại Việt Nam.
Sản phẩm PMS liên quan CROSS-SELL
📅 Cập nhật: Tháng 5/2026 · ✍️ Nội dung bởi đội ngũ kỹ sư Techmaster Electronics JSC
Đánh giá
Hiện tại không có đánh giá nào.