English
Lasair III 110
Độ nhạy 0.1µm · ISO 1-3
Máy đếm hạt không khí độ nhạy cao nhất — cấu hình chuẩn cho litho cleanroom fab dưới 14 nm. Phát hiện tiểu phân submicron mà các máy 0.3µm không thấy.
BÁN DẪN & VI ĐIỆN TỬ
Giải Pháp Giám Sát Nhiễm Bẩn cho Fab Bán Dẫn & Vi Điện Tử
Giảm nhiễm bẩn, bảo vệ yield và cải thiện process control với chuyên môn ứng dụng vô địch và độ nhạy phát hiện tiểu phân hàng đầu ngành — từ Particle Measuring Systems, phân phối chính thức tại Việt Nam bởi Techmaster.
“Trung tâm giải pháp máy đếm hạt tiểu phân trong không khí phòng sạch ISO 14644 cho fab bán dẫn Việt Nam — Lasair III, Lasair Pro, IsoAir Pro, Airnet II, NanoAir 10.”
Industry-Leading Sensitivity
Độ nhạy phát hiện tiểu phân vô địch trên mọi môi trường
10 nm
Air · Không khí
10 nm
Gas · Khí UHP
20 nm
DI Water · UPW
20 nm
Chemicals · Dung dịch
70 ppt
AMC · Phân tử
Danh Mục Sản Phẩm
5 dòng máy đếm hạt không khí cho mọi nhu cầu
Lựa chọn theo class phòng sạch, mức độ critical của quy trình và mô hình triển khai — Techmaster tư vấn cấu hình tối ưu cho fab của bạn.
1
Lasair® III Family — Máy đếm hạt phòng sạch sàn
Tiêu chuẩn vàng cho phòng sạch ISO class 1-5 trong fab bán dẫn. Cố định hoặc portable trolley, độ nhạy từ 0.1µm.
Lasair III 310B
Độ nhạy 0.3µm · 6 kênh · ISO 4-5
6 kênh đo (0.3, 0.5, 1.0, 5.0, 10µm) phổ biến nhất tại Samsung Vietnam, Intel, Hana Micron. Cân bằng giữa độ nhạy và chi phí cho 90% ứng dụng fab.
Lasair III 310C
Dải đo 0.3-25µm
Phiên bản dải đo rộng cho ứng dụng kết hợp phòng sạch và facility — bao quát cả HVAC inspection, particle fallout test, monitoring tổng thể.
Lasair III 350L
Flow 50 LPM · Fab thể tích lớn
Lưu lượng lấy mẫu 50 LPM (vs 28.3 LPM tiêu chuẩn) — giảm 40% thời gian sampling cho fab có thể tích phòng sạch lớn hoặc test 20-vị-trí ISO 14644-1.
2
Lasair® Pro Family — Máy cầm tay portable
Handheld nhẹ pin sạc — chuyên cho audit phòng sạch, validation HVAC, ISO 14644 spot-check, GMP routine inspection.
Lasair Pro 310
Handheld 0.3µm · 2.83 LPM
Máy đếm hạt cầm tay nhẹ cho kiểm tra phòng sạch ISO 5-8, validation HVAC, audit GMP. Pin lithium sạc nhanh, màn hình cảm ứng, lưu trữ 5000 location.
Lasair Pro 350
Handheld · 50 LPM
Cầm tay lưu lượng 50 LPM — nhanh gấp đôi version 310. Lý tưởng khi cần audit nhiều phòng sạch trong 1 ca làm việc, tiết kiệm 50% thời gian tại site.
Lasair Pro 5100
Handheld · 100 LPM
Lưu lượng 100 LPM khủng — validation toàn fab trong 1 ca. Đặt mục tiêu cho fab semiconductor cấp Samsung, Intel quy mô lớn nơi mỗi giờ test = chi phí cao.
3
IsoAir® Pro Family — Cố định remote monitoring 24/7
Tích hợp FacilityPro FMS, truyền dữ liệu liên tục — phát hiện excursion tức thời, báo cáo tuân thủ tự động ISO 14644 / EU GMP Annex 1.
IsoAir Pro-E
Kết nối Ethernet TCP/IP
Máy cố định kết nối Ethernet cho khu vực có hạ tầng dây sẵn. Tích hợp FMS qua TCP/IP, OPC UA, BACnet — chuẩn cho fab xây mới.
IsoAir Pro-Plus
Wireless · Deploy linh hoạt
Phiên bản wireless cho fab bán dẫn dưới 14 nm — không cần kéo dây, deploy linh hoạt, kết nối 2.4 GHz mã hóa AES. Tiết kiệm 70% chi phí cabling.
IsoAir Pro
Phiên bản cơ bản kinh tế
Bản entry-level cho dự án cleanroom dược phẩm GMP có ngân sách hạn chế. Vẫn đảm bảo độ tin cậy PMS với chi phí đầu tư tối ưu.
4
Airnet® II Family — Cảm biến mạng tập trung kinh tế
Chi phí thấp nhất trên mỗi kênh đo — facility-wide monitoring, deploy hàng chục đến hàng trăm sensor trong 1 fab.
Airnet II 4-kênh
4 dải kích thước · Network
Cảm biến đếm hạt 4 dải kích thước, kết nối mạng tập trung, chi phí thấp nhất trên kênh đo — phù hợp triển khai dày đặc facility-wide monitoring.
Airnet II 2-kênh (IIS)
2 kênh 0.5µm + 5.0µm
Phiên bản 2 kênh kinh tế hơn — đủ cho dược phẩm GMP yêu cầu chỉ 0.5µm và 5.0µm theo EU GMP Annex 1. Giảm 30% giá so với 4-kênh.
5
Compact & Sub-micron — NanoAir 10 + HandiLaz Mini II
Hai cực thị trường: máy đo siêu sâu 10 nm cho EUV lithography, và máy cầm tay nhẹ nhất cho audit nhanh.
NanoAir™ 10
CPC độ nhạy 10 nanometer
Máy đếm hạt độ nhạy 10 nm cho phòng sạch siêu tinh khiết EUV lithography — duy nhất trên thị trường. Quan trọng cho fab process node 7nm và dưới.
HandiLaz® Mini II
Compact handheld kinh tế
Máy đếm hạt cầm tay nhẹ nhất, giá kinh tế cho audit phòng sạch dược phẩm và optic. Dưới 1 kg, vận hành 8 giờ pin, output XML/PDF report.
Hướng dẫn lựa chọn
Cách chọn máy đếm hạt theo class phòng sạch ISO 14644
Mỗi class có giới hạn tiểu phân và yêu cầu độ nhạy riêng — chọn đúng máy ngay từ đầu để tránh thiếu sensitivity hoặc dư thừa chi phí.
ISO CLASS 1-2
Litho EUV · Ion Implant
Process node dưới 14 nm. Yêu cầu detect submicron và siêu nhỏ. Cleanroom critical nhất trong fab.
ISO CLASS 3-5
Etch · CVD · CMP
Front-end process bán dẫn chính. Cân bằng độ nhạy 0.3µm và chi phí. Cleanroom phổ biến nhất trong fab.
ISO CLASS 5-8
Assembly · Packaging · GMP
Back-end packaging, dược phẩm aseptic. Yêu cầu thấp hơn, ưu tiên kinh tế và mật độ sensor cao.
Phần mềm & FMS
Tích hợp dữ liệu, tuân thủ tự động
Tất cả máy đếm hạt PMS không khí đều tích hợp native với hệ sinh thái phần mềm FacilityPro và DataAnalyst — không cần middleware, không cần custom integration.
- ✓
FacilityPro FMS giám sát đa cảm biếnMonitor 1000+ điểm đo real-time, alarm management, audit trail 21 CFR Part 11.
- ✓
DataAnalyst báo cáo ISO 14644Tự động sinh báo cáo classification, recovery test, particle deposition theo template.
- ✓
Giao thức công nghiệp chuẩnOPC UA, BACnet, Modbus TCP, MQTT — tích hợp dễ dàng với BMS/SCADA hiện hữu.
- ✓
Tuân thủ regulation toàn cầuISO 14644, ISO 21501-4, EU GMP Annex 1, USP 788/797, FDA 21 CFR Part 11.
Tư vấn cấu hình tối ưu cho fab của bạn
Kỹ sư Techmaster Vietnam tư vấn miễn phí cấu hình, demo tại site, và lập đề án FMS turnkey cho dự án phòng sạch bán dẫn của bạn.
