English
Máy Đếm Hạt Trong Nước Siêu Tinh Khiết PMS Ultra DI® 50
Cảm biến đếm hạt 50 nm, lưu lượng cao 1000 ml/phút cho hệ thống UPW
Ultra DI 50 là máy đếm hạt trong chất lỏng cho nước siêu tinh khiết, phát hiện hạt từ 50 nm (0.05 µm) với lưu lượng mẫu cao 1000 ml/phút — phù hợp giám sát UPW khối lượng lớn. 4 kênh, hiệu suất đếm 100%, tích hợp FacilityNet.
Hình ảnh sản phẩm PRODUCT GALLERY
Thông số kỹ thuật SPECIFICATIONS
| Thông số | Giá trị |
|---|---|
| Dải đo kích thước hạt | Từ 50 nm (0.05 µm) |
| Số kênh đo | 4 kênh |
| Lưu lượng hút | 1.000 ml/phút (1 lít/phút) |
| Hiệu suất đếm | 100% lượng mẫu |
| Nhiệt độ mẫu | 15 – 50 °C |
| Áp suất tối đa | 100 psi |
| Bề mặt ngoài | Thép không gỉ 316L |
| Vật liệu tiếp xúc dung dịch | Vật liệu trơ tương thích UPW |
| Phần mềm | FacilityNet — giám sát thời gian thực |
ROI Calculator — Tính giá trị đầu tư Ultra DI 50
Một sự cố nhiễm hạt trong nước siêu tinh khiết (UPW) không được phát hiện có thể phá hủy cả lô wafer. Giám sát UPW thời gian thực giúp phát hiện sớm và bảo vệ năng suất fab.
→ Với chi phí ~$50-150K, ROI ước tính 3-6 tháng
⚠️ Ước tính tham khảo. Liên hệ Techmaster để có phân tích ROI chi tiết.
Ngành & Ứng dụng 5 USE CASES
5 ứng dụng Ultra DI 50 giám sát hạt trong hệ thống nước siêu tinh khiết (UPW) tại nhà máy bán dẫn Việt Nam.
Giám sát nước siêu tinh khiết fab
Ultra DI 50 giám sát hạt 20 nm trong hệ thống UPW của fab — nơi nước siêu tinh khiết tiếp xúc trực tiếp với wafer.
Vòng tuần hoàn & phân phối UPW
Ultra DI 50 theo dõi chất lượng nước trên vòng tuần hoàn và các nhánh phân phối UPW tới tool.
Điểm sử dụng tại tool (rinse/clean)
Ultra DI 50 xác nhận chất lượng UPW ngay trước khi tiếp xúc wafer tại wet process/rinse.
Chất lượng nước cấp & tái sinh
Ultra DI 50 kiểm soát hiệu quả hệ xử lý/tái sinh UPW bằng cách đo hạt đầu ra.
Cảnh báo nhiễm hạt UPW
Ultra DI 50 phát hiện và cảnh báo các sự cố tăng hạt đột biến trong UPW.
Giám sát UPW online vs Lấy mẫu thủ công TẠI SAO ĐO INLINE
| Tiêu chí | Lấy mẫu thủ công (offline) | Ultra DI 50 (online) |
|---|---|---|
| Phát hiện | Trễ, sau sự việc | Thời gian thực |
| Độ nhạy | Hạn chế | 50 nm |
| Rủi ro nhiễm mẫu | Cao khi lấy/chuyển mẫu | Đo trực tiếp inline |
| Phản ứng sự cố | Chậm | Tức thì, cảnh báo |
| Tự động hóa | Thủ công | FacilityNet |
Ultra DI 50 vs Ultra DI 20 Plus LƯU LƯỢNG vs ĐỘ NHẠY
| Tiêu chí | Ultra DI 50 | Ultra DI 20 Plus |
|---|---|---|
| Độ nhạy nhỏ nhất | 50 nm | 20 nm |
| Lưu lượng | 1000 ml/phút (cao) | 75 ml/phút |
| Phù hợp | UPW khối lượng lớn | Node tiên tiến ≤14 nm |
| Loại mẫu | UPW | UPW |
| Tích hợp | FacilityNet | FacilityNet |
📌 Dữ liệu từ datasheet công khai. Verify với từng vendor để có info chính xác nhất.
Lợi ích chính 4 KEY BENEFITS
50 nm · lưu lượng cao
Phát hiện hạt từ 50 nm trong nước siêu tinh khiết với lưu lượng cao 1000 ml/phút, hiệu suất đếm 100%.
Giám sát thời gian thực
Đo trực tiếp inline, phản ứng tức thì với sự cố nhiễm hạt; tích hợp phần mềm FacilityNet.
Vật liệu siêu sạch
Bề mặt tiếp xúc dung dịch trơ (Teflon, Viton, Alumina, Simriz) và vỏ 316L — phù hợp UPW.
Service tại VN
Hiệu chuẩn & bảo trì bởi kỹ sư PMS-certified, lab ISO/IEC 17025 ngay tại Việt Nam.
Tại sao chọn Techmaster DISTRIBUTOR USP
★ AUTHORIZED
Nhà phân phối ủy quyền PMS
Hàng chính hãng 100% từ trụ sở PMS Boulder, Colorado — kèm chứng nhận xuất xứ cho mỗi đơn hàng.
Lab ISO/IEC 17025 (ANAB)
Hiệu chuẩn ngay tại Việt Nam — tiết kiệm 4-8 tuần so với gửi đi nước ngoài, vẫn đảm bảo traceable.
Kỹ sư PMS-certified
Đội ngũ kỹ thuật được đào tạo trực tiếp tại trụ sở PMS — am hiểu chuyên sâu cho từng dòng máy.
2 chi nhánh tại Việt Nam
Văn phòng TP. HCM phục vụ miền Nam, Bắc Ninh phục vụ miền Bắc — giao hàng, lắp đặt cực nhanh.
On-site service & Rental
Phản ứng nhanh tại nhà máy — sửa chữa, hiệu chuẩn, cho thuê thiết bị backup khi máy chính bảo trì.
Technical Hotline
Hỗ trợ kỹ thuật trực tiếp qua điện thoại trong giờ làm việc — giải đáp ứng dụng, cấu hình, sự cố.
Câu hỏi thường gặp FAQ
Ultra DI 50 đo gì?
Đếm hạt trong nước siêu tinh khiết (UPW), độ nhạy từ 50 nm (0.05 µm).
Độ nhạy và lưu lượng?
Độ nhạy 50 nm; lưu lượng mẫu cao 1000 ml/phút, 4 kênh, hiệu suất đếm 100%.
Vì sao lưu lượng cao quan trọng?
Lưu lượng 1000 ml/phút giúp giám sát UPW khối lượng lớn nhanh và đại diện hơn.
Ultra DI 50 khác Ultra DI 20 Plus thế nào?
Ultra DI 50 đạt 50 nm với lưu lượng cao 1000 ml/phút; Ultra DI 20 Plus đạt 20 nm cho node tiên tiến.
Vật liệu tiếp xúc dung dịch?
Vật liệu trơ tương thích UPW; vỏ ngoài thép không gỉ 316L.
Áp suất và nhiệt độ mẫu?
Áp suất tối đa 100 psi; nhiệt độ mẫu 15 – 50 °C.
Có tích hợp phần mềm không?
Có — FacilityNet để giám sát UPW thời gian thực.
Techmaster hỗ trợ gì tại VN?
Tư vấn, lắp đặt, hiệu chuẩn và bảo trì tại lab ISO/IEC 17025.
Sẵn sàng đầu tư Ultra DI 50?
Đội ngũ Techmaster tư vấn cấu hình phù hợp, tính ROI cụ thể, và cung cấp dịch vụ hiệu chuẩn ISO/IEC 17025 ANAB ngay tại Việt Nam.
Sản phẩm PMS liên quan CROSS-SELL
📅 Cập nhật: Tháng 5/2026 · ✍️ Nội dung bởi đội ngũ kỹ sư Techmaster Electronics JSC
