English
Máy Đếm Hạt Trong Dung Dịch PMS LiQuilaz® II Dòng S
Đếm hạt 0.2 – 3.0 µm trong dung dịch quy trình — model S02 / S03
LiQuilaz II Dòng S là máy đếm hạt trong chất lỏng cho dung dịch quy trình, dải đo 0.2 – 3.0 µm tùy model (S02: 0.2 – 2.0 µm, 50 ml/phút; S03: 0.3 – 3.0 µm, 80 ml/phút). Vật liệu tiếp xúc trơ — giám sát hạt trong hóa chất, dung môi và nước theo thời gian thực.
Hình ảnh sản phẩm PRODUCT GALLERY
Thông số kỹ thuật SPECIFICATIONS
| Thông số | Giá trị |
|---|---|
| Model & dải đo | S02: 0.2 – 2.0 µm; S03: 0.3 – 3.0 µm |
| Độ nhạy nhỏ nhất | 0.2 µm (S02) |
| Lưu lượng hút | S02: 50 ml/phút; S03: 80 ml/phút (± 10%) |
| Set điểm không | < 25 counts/L (S02) |
| Loại mẫu | Dung dịch quy trình, hóa chất, dung môi, nước |
| Vật liệu tiếp xúc dung dịch | Vật liệu trơ, tương thích dung dịch |
| Ứng dụng | Giám sát hạt trong dung dịch bán dẫn |
| Phần mềm | FacilityNet — giám sát thời gian thực |
ROI Calculator — Tính giá trị đầu tư LiQuilaz II S
Một sự cố nhiễm hạt trong dung dịch quy trình không được phát hiện có thể phá hủy cả lô wafer. Giám sát dung dịch thời gian thực giúp phát hiện sớm và bảo vệ năng suất fab.
→ Với chi phí ~$50-150K, ROI ước tính 3-6 tháng
⚠️ Ước tính tham khảo. Liên hệ Techmaster để có phân tích ROI chi tiết.
Ngành & Ứng dụng 5 USE CASES
5 ứng dụng LiQuilaz II S giám sát hạt trong hệ thống dung dịch quy trình tại nhà máy bán dẫn Việt Nam.
Giám sát dung dịch quy trình fab
LiQuilaz II S giám sát hạt 0.2 µm trong hệ thống dung dịch của fab — nơi dung dịch quy trình tiếp xúc trực tiếp với wafer.
Vòng tuần hoàn & phân phối dung dịch
LiQuilaz II S theo dõi chất lượng nước trên vòng tuần hoàn và các nhánh phân phối dung dịch tới tool.
Điểm sử dụng tại tool (rinse/clean)
LiQuilaz II S xác nhận chất lượng dung dịch ngay trước khi tiếp xúc wafer tại wet process/rinse.
Chất lượng nước cấp & tái sinh
LiQuilaz II S kiểm soát hiệu quả hệ xử lý/tái sinh dung dịch bằng cách đo hạt đầu ra.
Cảnh báo nhiễm hạt dung dịch
LiQuilaz II S phát hiện và cảnh báo các sự cố tăng hạt đột biến trong dung dịch.
Giám sát dung dịch online vs Lấy mẫu thủ công TẠI SAO ĐO INLINE
| Tiêu chí | Lấy mẫu thủ công (offline) | LiQuilaz II S (online) |
|---|---|---|
| Phát hiện | Trễ, sau sự việc | Thời gian thực |
| Độ nhạy | Hạn chế | 0.2 µm |
| Rủi ro nhiễm mẫu | Cao khi lấy/chuyển mẫu | Đo trực tiếp inline |
| Phản ứng sự cố | Chậm | Tức thì, cảnh báo |
| Tự động hóa | Thủ công | FacilityNet |
LiQuilaz II Dòng S vs Dòng E CHỌN THEO KÍCH THƯỚC HẠT
| Tiêu chí | Dòng S | Dòng E |
|---|---|---|
| Dải kích thước hạt | 0.2 – 3.0 µm | 2 – 125 µm |
| Phù hợp | Hạt sub-micron | Hạt lớn |
| Lưu lượng | 50 – 80 ml/phút | 20 – 70 ml/phút |
| Loại mẫu | Dung dịch quy trình | Dung dịch quy trình |
| Tích hợp | FacilityNet | FacilityNet |
📌 Dữ liệu từ datasheet công khai. Verify với từng vendor để có info chính xác nhất.
Lợi ích chính 4 KEY BENEFITS
0.2 – 3.0 µm trong dung dịch
Đếm hạt từ 0.2 µm trong dung dịch quy trình (model S02/S03), lưu lượng 50 – 80 ml/phút.
Giám sát thời gian thực
Đo trực tiếp inline, phản ứng tức thì với sự cố nhiễm hạt; tích hợp phần mềm FacilityNet.
Vật liệu siêu sạch
Bề mặt tiếp xúc dung dịch trơ (Teflon, Viton, Alumina, Simriz) và vỏ 316L — phù hợp dung dịch.
Service tại VN
Hiệu chuẩn & bảo trì bởi kỹ sư PMS-certified, lab ISO/IEC 17025 ngay tại Việt Nam.
Tại sao chọn Techmaster DISTRIBUTOR USP
★ AUTHORIZED
Nhà phân phối ủy quyền PMS
Hàng chính hãng 100% từ trụ sở PMS Boulder, Colorado — kèm chứng nhận xuất xứ cho mỗi đơn hàng.
Lab ISO/IEC 17025 (ANAB)
Hiệu chuẩn ngay tại Việt Nam — tiết kiệm 4-8 tuần so với gửi đi nước ngoài, vẫn đảm bảo traceable.
Kỹ sư PMS-certified
Đội ngũ kỹ thuật được đào tạo trực tiếp tại trụ sở PMS — am hiểu chuyên sâu cho từng dòng máy.
2 chi nhánh tại Việt Nam
Văn phòng TP. HCM phục vụ miền Nam, Bắc Ninh phục vụ miền Bắc — giao hàng, lắp đặt cực nhanh.
On-site service & Rental
Phản ứng nhanh tại nhà máy — sửa chữa, hiệu chuẩn, cho thuê thiết bị backup khi máy chính bảo trì.
Technical Hotline
Hỗ trợ kỹ thuật trực tiếp qua điện thoại trong giờ làm việc — giải đáp ứng dụng, cấu hình, sự cố.
Câu hỏi thường gặp FAQ
LiQuilaz II Dòng S đo gì?
Đếm hạt trong dung dịch quy trình, dải đo 0.2 – 3.0 µm tùy model (S02/S03).
Có những model nào?
S02: 0.2 – 2.0 µm, 50 ml/phút; S03: 0.3 – 3.0 µm, 80 ml/phút.
Độ nhạy nhỏ nhất?
0.2 µm (model S02).
Dòng S khác Dòng E thế nào?
Dòng S đo hạt 0.2 – 3.0 µm (sub-micron); Dòng E đo hạt lớn 2 – 125 µm.
Đo được những dung dịch nào?
Hóa chất, dung môi và nước quy trình (vật liệu tiếp xúc trơ).
Set điểm không là bao nhiêu?
< 25 counts/L (model S02).
Có tích hợp phần mềm không?
Có — FacilityNet để giám sát thời gian thực.
Techmaster hỗ trợ gì tại VN?
Tư vấn, lắp đặt, hiệu chuẩn và bảo trì tại lab ISO/IEC 17025.
Sẵn sàng đầu tư LiQuilaz II S?
Đội ngũ Techmaster tư vấn cấu hình phù hợp, tính ROI cụ thể, và cung cấp dịch vụ hiệu chuẩn ISO/IEC 17025 ANAB ngay tại Việt Nam.
Sản phẩm PMS liên quan CROSS-SELL
📅 Cập nhật: Tháng 5/2026 · ✍️ Nội dung bởi đội ngũ kỹ sư Techmaster Electronics JSC
