So sánh PMS LiQuilaz II dòng S và dòng E — chọn dải đo nào?

Cùng mang tên LiQuilaz II, nhưng dòng S và dòng E giải hai bài toán gần như ngược nhau: dòng S săn hạt nhỏ từ 0,2 µm trong dung dịch quy trình, dòng E bao quát hạt lớn tới 125 µm. Chọn nhầm dòng nghĩa là mua một thiết bị hoàn toàn không nhìn thấy loại hạt bạn cần kiểm soát. Bài viết đối chiếu hai dòng theo thông số công bố và chỉ ra cách xác định mình thuộc nhóm nào.

Khác biệt cốt lõi: dải đo

Máy đếm hạt quang học chỉ đếm được hạt nằm trong dải kích thước mà quang học của nó được thiết kế cho. Không có chuyện “để chế độ nhạy hơn” — dải đo là đặc tính vật lý của cảm biến.

Dòng S phủ 0,2 – 3,0 µm tuỳ model. Dòng E phủ 2 – 125 µm. Hai dải chỉ chồng nhau ở một khoảng rất hẹp quanh 2 – 3 µm. Nghĩa là nếu vấn đề chất lượng của bạn nằm ở hạt dưới micromet, dòng E gần như mù; ngược lại, nếu bạn cần đếm hạt 50 µm hay 100 µm, dòng S không thể báo cáo được.

Đây là lý do câu hỏi đầu tiên khi chọn thiết bị không phải “ngân sách bao nhiêu” mà là “hạt gây lỗi cho tôi to cỡ nào”.

Bảng đối chiếu S và E

Thông số	LiQuilaz II Dòng S	LiQuilaz II Dòng E
Dải kích thước	0,2 – 3,0 µm (theo model)	2 – 125 µm
Model & lưu lượng	S02: 0,2 – 2,0 µm, 50 mL/phút S03: 0,3 – 3,0 µm, 80 mL/phút	E20P: 2 – 125 µm, 20 mL/phút E20: 2 – 125 µm, 70 mL/phút
Hạt nhỏ nhất	0,2 µm (200 nm)	2 µm
Kiểu đo	Đo thể tích — 100% dòng mẫu đi qua vùng đo
Bài toán điển hình	Dung dịch quy trình vi điện tử, hoá chất sạch	Dung dịch có hạt lớn, kiểm soát mảnh vụn & kết tủa
Tích hợp	Facility Net — hiển thị, cảnh báo và lưu trữ tập trung

Nguồn: trang sản phẩm Techmaster và tài liệu LiQuilaz II của Particle Measuring Systems. Dòng E còn có biến thể E15P (1,5 – 125 µm) và dòng S có thêm cấu hình dải rộng hơn; hãy xác nhận model chính xác theo đơn hàng.

Dòng S — hạt nhỏ trong dung dịch quy trình

Thiết bị đếm hạt tiểu phân trong dung dịch PMS LiQuilaz II Dòng S đi vào vùng dưới micromet — nơi khuyết tật không nhìn thấy bằng mắt nhưng đủ sức làm hỏng một lớp màng mỏng hay một mối nối.

Hai model khác nhau ở cả dải đo lẫn lưu lượng, và đây là một cặp đánh đổi có chủ đích:

• S02 — 0,2 – 2,0 µm, 50 mL/phút. Nhạy hơn, đổi lại lưu lượng thấp hơn. Chọn khi hạt 200 – 300 nm là mối lo chính.
• S03 — 0,3 – 3,0 µm, 80 mL/phút. Bắt đầu từ 300 nm nhưng đi qua nhiều mẫu hơn 60% mỗi phút. Chọn khi ngưỡng quan tâm là 0,3 µm trở lên và bạn cần thu thống kê nhanh.

Trong dung dịch rất sạch, lưu lượng cao có giá trị thật: phép đếm hạt tuân theo thống kê Poisson, độ tin cậy phụ thuộc vào số hạt đếm được chứ không phải nồng độ. Đếm 4 hạt cho sai số tương đối khoảng 50%; đếm 100 hạt kéo xuống khoảng 10%. Muốn đếm nhiều hạt trong dung dịch sạch, chỉ có cách chạy qua nhiều dung dịch hơn.

Dòng E — hạt lớn, dải rộng

Thiết bị đếm hạt tiểu phân trong dung dịch PMS LiQuilaz II E Series phủ 2 – 125 µm — dải rộng gấp nhiều lần dòng S.

Hạt trong khoảng này thường có nguồn gốc cơ học và quy trình: mảnh vụn từ đường ống và van, sợi từ bộ lọc xuống cấp, kết tủa hoá học, bọt khí kết cụm. Chúng ít khi là “nền” — chúng là dấu hiệu của một sự kiện. Vì vậy dòng E hay được dùng để phát hiện sự cố hơn là để chứng minh độ sạch nền.

Hai model dòng E cùng dải đo nhưng khác lưu lượng: E20P ở 20 mL/phút và E20 ở 70 mL/phút. Khi mẫu đắt hoặc thể tích có hạn, 20 mL/phút là lợi thế; khi cần quét nhanh thể tích lớn, 70 mL/phút rút ngắn đáng kể thời gian.

Theo tài liệu dòng E, các cấu hình này đo với số kênh kích thước cấu hình được từ 1 đến 15, nồng độ tối đa 10.000 hạt/mL, và phần ướt dùng vật liệu chịu hoá chất như thạch anh nung chảy, Kalrez và Kel-F — cho phép làm việc với nhiều loại dung dịch công nghiệp và dược phẩm.

Đo thể tích 100% nghĩa là gì

Cả hai dòng LiQuilaz II đều đo thể tích: toàn bộ dòng mẫu đi qua vùng đo, không phải chỉ một phần. Điều này khác căn bản với cảm biến in-situ như dòng HSLIS vốn chỉ soi khoảng 0,25% thể tích dòng chảy.

Hệ quả thực tế: LiQuilaz II cho con số tuyệt đối — số hạt trên mL thực sự đi qua thiết bị — nên phù hợp cho hồ sơ chất lượng, nghiệm thu lô hoá chất, và các phép đo cần bảo vệ trước thanh tra. Cảm biến in-situ mạnh ở giám sát xu hướng liên tục trên đường ống áp lực. Hai kiến trúc bổ sung chứ không thay thế nhau; nhiều nhà máy dùng cả hai ở các vị trí khác nhau.

Xem thêm máy đếm hạt lỏng UPW & hoá chất cho nhà máy bán dẫn để hình dung cách bố trí hai nhóm thiết bị trên cùng một hệ thống.

Đánh đổi lưu lượng và độ nhạy

Nhìn ngang bảng thông số sẽ thấy một quy luật lặp lại: trong cùng một dòng, model nhạy hơn thường có lưu lượng thấp hơn. S02 (0,2 µm) chạy 50 mL/phút trong khi S03 (0,3 µm) chạy 80 mL/phút; E20P (20 mL/phút) và E20 (70 mL/phút) cùng dải đo nhưng phục vụ hai kịch bản mẫu khác nhau.

Lý do nằm ở vật lý quang học: để phân biệt được hạt nhỏ, tín hiệu tán xạ yếu phải được thu trong một vùng đo được kiểm soát chặt hơn, điều này giới hạn tốc độ dòng chảy có thể đi qua mà vẫn giữ độ phân giải.

Vì vậy khi lập yêu cầu kỹ thuật, đừng chỉ ghi “độ nhạy càng nhỏ càng tốt”. Hãy ghi hai con số cùng lúc: ngưỡng kích thước cần báo cáo, và thể tích mẫu cần xử lý trong một chu kỳ đo.

Ba câu hỏi để chọn đúng dòng

Câu hỏi	Nếu trả lời là…	Hướng chọn
Hạt gây lỗi của tôi to cỡ nào?	Dưới 3 µm	Dòng S (S02 nếu dưới 2 µm)
	Từ vài µm tới hàng chục µm	Dòng E
Tôi cần con số tuyệt đối hay xu hướng?	Con số tuyệt đối cho hồ sơ	LiQuilaz II (đo thể tích 100%)
	Xu hướng liên tục trên đường ống	Cân nhắc thêm cảm biến in-situ dòng HSLIS
Mẫu của tôi có hạn chế thể tích không?	Có, mẫu quý/ít	Model lưu lượng thấp (E20P)
	Không, cần quét nhanh	Model lưu lượng cao (S03, E20)