English
Giới thiệu Máy đếm hạt bụi trong không khí PMS Nano 10
Máy đếm hạt tiểu phân Nano Air 10 (CPC) là một sản phẩm mới mang tính cách mạng từ Particle Measuring Systems (PMS). Nó cung cấp độ nhạy của một CPC với tính năng dễ sử dụng và chức năng của máy đếm hạt bụi phòng sạch truyền thống. Được thiết kế để giám sát môi trường siêu sạch, nó cung cấp độ nhạy phát hiện 10 nm với lưu lượng mẫu là 2.8 L/phút (0.1 CFM).
Kích thước của PMS Nano 10 nhỏ hơn 83% so với các sản phẩm cạnh tranh, giúp nó trở nên thiết thực để sử dụng ở bất cứ đâu trong môi trường siêu sạch, bao gồm cả bên trong các công cụ xử lý chất bán dẫn và mô-đun đầu cuối của thiết bị (EFEM). Hệ thống xử lý chất lưu hoạt động độc đáo đang chờ cấp bằng sáng chế là một thiết kế bền vững và hiệu quả, cho phép hoạt động liên tục 24/7, 365 ngày mà không cần bảo trì hoặc can thiệp của người dùng dưới bất kỳ hình thức nào, trừ việc nạp lại chất lưu hoạt động và hiệu chuẩn theo yêu cầu hàng năm. Qua đó, giúp giảm gián đoạn việc lấy mẫu và thu thập dữ liệu cũng như thời gian ngừng hoạt động của công cụ.
Sản phẩm đi kèm với một ống nối 10 cổng (ParticleSeeker™) hỗ trợ các ứng dụng yêu cầu giám sát nhiều vị trí mẫu theo thứ tự hoặc chuỗi đã được lập trình.
Ngoài ra, PMS Nano 10 còn tương thích với khí áp suất cao và HPD-III từ PMS và dữ liệu có thể được xem, phân tích và báo cáo bằng phần mềm giám sát cơ sở PMS Facility Net hoặc truyền trực tiếp đến hệ thống SCADA của bên thứ ba hoặc đầu vào công cụ xử lý.
Tính năng Máy đếm hạt bụi trong không khí PMS Nano 10
- Zero Count < 1.5 count/m3 mà không cần sử dụng sơ đồ zero count
- Hiệu suất đếm tại: 10 nm = 50% ± 20%, 15 nm = 100% ± 10%
- Kích thước nhỏ hơn 83% so với các sản phẩm cạnh tranh (16.5 x 20.2 x 15.2 cm)
- Chỉ cần nạp đầy chất lưu mỗi năm 1 lần khi hiệu chuẩn hàng năm, có khả năng 15 tháng giữa các lần nạp với hoạt động toàn thời gian 24×7
- Độ nhạy: ≥ 10 nm
- Lưu lượng mẫu: 2.8 LPM (0.1 CFM)
- Địa chỉ IP và các địa điểm cư trú trong trạm gốc cho phép thiết bị “trao đổi nóng”
- 4-20mA
- Cổng USB (2): cho Nối tiếp qua USB (cổng dịch vụ) và ổ đĩa USB
- Cổng Ethernet (2): dành cho Giao thức Ethernet & MODBUS qua TCP/IP
- Sẵn sàng hoạt động 20 phút kể từ khi bật nguồn
- Dữ liệu có thể được xem, phân tích và báo cáo bằng phần mềm giám sát cơ sở PMS Facility Net hoặc truyền trực tiếp đến hệ thống SCADA của bên thứ ba hoặc đầu vào công cụ xử lý
- Giám sát trình tự tuần tự hoặc được lập trình (với ống nối lấy mẫu 10 cổng ParticleSeeker)
- Tương thích với khí áp suất cao
- Thích hợp để sử dụng trong môi trường ISO Class 1
Lợi ích NanoAir 10
- Kích thước cấp nhỏ nhất cho phép giám sát trong các công cụ xử lý trong các khu vực có chức năng quan trọng nhất và trên các miếng đệm tiện ích phân phối khí áp suất cao bị tắc nghẽn
- Hệ thống xử lý chất lưu đang chờ cấp bằng sáng chế là một thiết kế bền vững và hiệu quả cho phép hoạt động liên tục 24/7/365 mà không cần sự can thiệp của người dùng và ngăn chặn việc lấy mẫu và thu thập dữ liệu bị gián đoạn
- Kích thước thể tích bên ngoài tốt nhất trong phân khúc đặt ra tiêu chuẩn cho CPC được thiết kế cho các ứng dụng sản xuất và kiểm soát quy trình
- Không sử dụng luồng không khí vỏ bọc cung cấp khả năng lấy mẫu thể tích
- Không có khả năng vận chuyển chất lưu không mong muốn trong quá trình vận chuyển, xử lý và lắp đặt phổ biến trong các CPC ứng dụng công nghiệp khác
- Không có máy bơm hoặc quạt bên trong; loại bỏ bảo trì và tạo hạt tiềm năng
- Khả năng giám sát nhiều vị trí mẫu theo thứ tự hoặc chuỗi đã được lập trình
Ứng dụng Nano Air 10
- Giám sát điểm sử dụng (POU) trong các khu vực xử lý
- Giám sát hoạt động hạt liên tục theo thời gian thực
- Sử dụng trong các công cụ xử lý chất bán dẫn và mô-đun front-end của thiết bị (EFEM)
Nano Air 10 + ParticleSeeker™ (ống nối lấy mẫu 10 cổng):
- Giám sát bên trong mô-đun front-end (EFEM) của công cụ quy trình trong môi trường thu nhỏ
- Lý tưởng cho các ứng dụng yêu cầu giám sát điểm mẫu được lập trình đi theo đường đi của tấm wafer hoặc bề mặt quan trọng khác
- Giám sát ô nhiễm diện rộng lên đến 120m2 không gian fab/quy trình
Nano Air 10 + HPD™ III (dùng để giám sát khí trơ áp suất cao):
- Sử dụng máy đếm hạt bụi PMS Nano 10 với HPD III (Bộ khuếch tán áp suất cao) của PMS cho phép đo khí áp suất cao theo thời gian thực, liên tục, có độ nhạy cao.
Thông số kỹ thuật
|
Kích thước dải đo |
10 nm (Kích thước phát hiện tối thiểu @ D50) |
|
Lưu lượng không khí |
2.8 LPM (0.1 CFM) ± 5% |
|
Thời lượng mẫu |
0.2 to 3600 giây, người dùng có thể lựa chọn |
|
Nồng độ hạt tối đa |
200,000 #/ft3 @ 10% tổn thất ngẫu nhiên |
|
Zero count |
< 1.5 #/m3, Không trừ số đếm sai |
|
Thể tích mẫu % |
100% – no sheath flow |
|
Hiệu suất đếm |
10 nm = 50% ± 20%, 15 nm = 100% ± 10% |
|
Hiệu chuẩn |
Hàng năm |
|
Thời gian khởi động máy |
20 phút, danh nghĩa |
|
Chất lỏng hoạt động |
Hữu cơ, không độc hại, không bắt lửa Tổng thể tích chất lỏng hoạt động 240 ml |
|
Tiêu thụ chất lưu hoạt động và khối lượng máy |
12 tháng giữa các lần nạp lại tổng thể tích chất lưu hoạt động 240 ml |
|
Ống mẫu |
Static Control Polyurethane Tubing 6 mm OD, 4 mm ID (PMS P/N: 1000026711) |
|
Chiều dài ống mẫu |
≤ 10 m (33 feet) |
|
Phân loại bằng laser |
Class 1, tuân thủ US 21 CFR 1040.10 và EN60825-1. Bên trong một Class 3B laser kèm theo được sử dụng theo EN60825-1. |
|
Dữ liệu lưu trữ |
>10.000 mẫu |
|
Kích thước (l,w,h) |
8.0 x 6.0 x 6.5 in (20.3x 15.2 x 16.5 cm) |
|
Trọng lượng |
6.1 lb (2.8 kg) |
|
Chỉ báo đèn LED |
Nguồn điện, lỗi lưu lượng, lỗi laser, hoạt động, chất lưu hoạt động |
|
Năng lượng |
Nguồn cấp AC sang DC bên ngoài:
Đầu vào: 100 – 240 VAC, 50/60 Hz, 1.5 A Đầu ra: 24 VDC, 5.0 AAC, biến đổi điện áp đầu vào không vượt quá ± 10% |
|
Giao thức |
Kết nối Ethernet (Của hãng PMS) Giao thức Modbus qua TCP/IP Serial USB 4-20mA (4 cổng vào tín hiệu analog, 2 cổng ra tín hiệu analog) Rơle tiếp điểm khô (4) |
|
Dải đo nhiệt độ hoạt động |
50 – 90 °F (10 – 32 °C) |
|
Dải đo độ ẩm |
0 – 60% RH, không ngưng tụ |
|
Áp suất hoạt động |
1 atm (môi trường xung quanh) |
|
Nguồn chân không |
Bên ngoài, yêu cầu ≥ 12 inHg |
|
Năng lượng |
24 VDC, 5 Amp |
|
Yêu cầu lắp đặt (với nguồn điện AC đến DC bên ngoài) |
Chỉ sử dụng trong nhà Mức độ ô nhiễm 2 Phạm vi điện áp quá cao I Bảo vệ thông thường (không được bảo vệ chống lại sự xâm nhập có hại của độ ẩm) Nguồn điện AC sang DC bên ngoài: Phạm vi điện áp quá cao II Thiết bị Class I (Yêu cầu nối đất điện từ nguồn điện chính đến đầu vào sản phẩm để đảm bảo an toàn) |
|
Chỉ báo trạng thái |
Vòng LED nút nguồn (4 màu, trạng thái hoạt động) Đèn LED trước và góc trên (4 màu, trạng thái hoạt động). Đèn chỉ thị mức chất lưu hoạt động (phát hiện theo thời gian thực, 8 mức độ) |
Review PMS Nano 10 Máy đếm hạt bụi trong không khí
Hiện tại không có đánh giá nào.