Máy Đếm Hạt Tiểu Phân Trong Không Khí — Phòng Sạch Fab Bán Dẫn ISO 14644
Trung tâm giải pháp máy đếm hạt tiểu phân trong không khí cho phòng sạch ISO 14644 từ class 1 đến class 8, phục vụ fab bán dẫn, dược phẩm GMP, optic và nhà máy tinh khiết tại Việt Nam. Phân phối chính thức PMS bởi Techmaster Vietnam.
Phân loại máy đếm hạt không khí theo nhu cầu
PMS có 4 dòng máy đếm hạt tiểu phân trong không khí phòng sạch chính, phục vụ các use case khác nhau:
1. Lasair III Family — máy đếm hạt phòng sạch sàn (cố định/portable)
Lasair III 110 — 0.1µm độ nhạy cao nhất
Máy đếm hạt tiểu phân không khí độ nhạy 0.1µm cho phòng sạch ISO class 1-3. Cấu hình chuẩn cho litho cleanroom fab dưới 14nm.
→ Xem chi tiết máy đếm hạt Lasair III 110 độ nhạy 0.1µm cho phòng sạch ISO class 1 fab bán dẫn
Lasair III 310B — 0.3µm 6 kênh
Máy đếm hạt độ nhạy 0.3µm với 6 kênh đo (0.3, 0.5, 1.0, 5.0, 10µm) cho phòng sạch ISO class 4-5. Phổ biến nhất tại fab Samsung/Intel Vietnam.
→ Xem chi tiết máy đếm hạt Lasair III 310B 6 kênh 0.3µm cho phòng sạch ISO class 4-5
Lasair III 310C — dải đo mở rộng 0.3-25µm
Phiên bản dải đo rộng 0.3-25µm cho ứng dụng kết hợp phòng sạch và facility (HVAC inspection).
→ Xem chi tiết máy đếm hạt Lasair III 310C dải đo rộng 0.3-25µm cho ISO 14644 và HVAC
Lasair III 350L — lưu lượng cao 50 LPM
Lưu lượng lấy mẫu 50 LPM (vs 28.3 LPM tiêu chuẩn) cho fab có thể tích phòng sạch lớn — giảm thời gian sampling.
→ Xem chi tiết máy đếm hạt Lasair III 350L lưu lượng cao 50 LPM cho phòng sạch lớn
2. Lasair Pro Family — máy đếm hạt cầm tay portable
Lasair Pro 310 — handheld 0.3µm
Máy đếm hạt cầm tay nhẹ cho kiểm tra phòng sạch ISO class 5-8, validation HVAC, audit GMP. Pin cell sạc tiện lợi.
→ Xem chi tiết máy đếm hạt cầm tay Lasair Pro 310 cho phòng sạch ISO 5-8 và audit GMP
Lasair Pro 350 — handheld 50 LPM
Phiên bản cầm tay lưu lượng 50 LPM — nhanh gấp đôi version 310 khi cần audit nhiều phòng sạch trong 1 ngày.
→ Xem chi tiết máy đếm hạt Lasair Pro 350 cầm tay lưu lượng cao 50 LPM cho audit nhanh
Lasair Pro 5100 — handheld 100 LPM
Cầm tay lưu lượng 100 LPM cho phòng sạch lớn — validation toàn fab trong 1 ca làm việc.
→ Xem chi tiết máy đếm hạt cầm tay Lasair Pro 5100 lưu lượng 100 LPM cho fab bán dẫn lớn
3. IsoAir Pro Family — máy đếm hạt cố định remote monitoring 24/7
IsoAir Pro-E — cố định Ethernet
Máy đếm hạt cố định kết nối Ethernet cho khu vực có hạ tầng dây sẵn. Tích hợp FMS qua TCP/IP, OPC UA, BACnet.
→ Xem chi tiết máy đếm hạt IsoAir Pro-E cố định Ethernet kết nối FMS phòng sạch
IsoAir Pro-Plus — wireless
Phiên bản wireless cho fab bán dẫn dưới 14nm — không cần kéo dây, deploy linh hoạt, kết nối 2.4GHz secure.
→ Xem chi tiết máy đếm hạt IsoAir Pro-Plus wireless cho fab bán dẫn 14nm trở xuống
IsoAir Pro — phiên bản cơ bản
Bản entry-level cho dự án cleanroom dược phẩm GMP có ngân sách hạn chế.
→ Xem chi tiết máy đếm hạt IsoAir Pro cơ bản remote monitoring 24/7 cho phòng sạch dược phẩm
4. Airnet II — cảm biến đếm hạt mạng tập trung kinh tế
Airnet II 4-kênh
Cảm biến đếm hạt 4 dải kích thước, kết nối mạng tập trung, chi phí thấp nhất trên kênh đo — phù hợp facility-wide monitoring.
→ Xem chi tiết cảm biến đếm hạt Airnet II 4-kênh đo 4 dải kích thước phòng sạch
Airnet II 2-kênh
Phiên bản 2 kênh kinh tế hơn — đủ cho dược phẩm GMP yêu cầu 0.5µm và 5.0µm.
→ Xem chi tiết cảm biến đếm hạt Airnet II 2-kênh kinh tế cho dược phẩm GMP
5. Compact / sub-micron — NanoAir 10 + HandiLaz Mini II
NanoAir 10 — đo hạt 10 nanometer
Máy đếm hạt độ nhạy 10nm cho phòng sạch siêu tinh khiết EUV lithography — duy nhất trên thị trường.
→ Xem chi tiết máy đếm hạt NanoAir 10 độ nhạy 10nm cho phòng sạch siêu tinh khiết EUV
HandiLaz Mini II — compact handheld
Máy đếm hạt cầm tay nhẹ nhất, giá kinh tế cho audit phòng sạch dược phẩm và optic.
→ Xem chi tiết máy đếm hạt cầm tay HandiLaz Mini II cho audit phòng sạch dược phẩm
Cách chọn máy đếm hạt theo class phòng sạch ISO 14644
- ISO Class 1-2 (litho EUV, ion implant) → Lasair III 110 độ nhạy 0.1µm hoặc NanoAir 10 độ nhạy 10nm
- ISO Class 3-5 (etch, CVD, CMP) → Lasair III 310B 0.3µm 6 kênh hoặc IsoAir Pro-Plus wireless
- ISO Class 5-8 (assembly, packaging, dược phẩm GMP) → Lasair Pro 310 cầm tay hoặc Airnet II 4-kênh mạng tập trung
Tích hợp phần mềm và FMS
Tất cả máy đếm hạt PMS không khí đều tích hợp với phần mềm FacilityPro giám sát đa cảm biến PMS và phần mềm DataAnalyst phân tích dữ liệu đếm hạt theo ISO 14644 cho báo cáo tuân thủ tự động.
📞 Hotline: 024 3766 4666 · ✉ sales@techmaster.com.vn · 🌐 Trang liên hệ
