Keysight 4881HV Hệ thống kiểm thử wafer điện áp cao

Keysight 4881HV – Hệ thống kiểm thử wafer điện áp cao đến 3 kV

Keysight 4881HV là hệ thống kiểm thử tham số điện áp cao (HV) và điện áp thấp (LV) tiên tiến, được thiết kế để đáp ứng các yêu cầu đo lường khắt khe trong sản xuất bán dẫn hiện đại.
Thiết bị cho phép thực hiện cả hai phép đo HV và LV trong một lần quét duy nhất, giúp tiết kiệm thời gian, tăng độ chính xác và tối ưu hiệu suất vận hành.

Tính năng nổi bật

• Kiểm thử điện áp cao và thấp trong một lần quét, hỗ trợ tới 3 kV

• Cấu hình ma trận chuyển mạch điện áp cao với tối đa 29 chân đầu ra

• Độ chính xác cao trong đo dòng – điện áp, với độ phân giải xuống đến sub-picoampere

• Đo điện dung ở điện áp cao, hỗ trợ DC bias lên đến 1 kV

• Tương thích với hệ thống prober 200 mm và 300 mm

• Đáp ứng yêu cầu tuân thủ SEMI S2 và các quy định an toàn nhà máy

Ứng dụng

• Đo kiểm wafer trong quy trình sản xuất linh kiện bán dẫn điện áp cao

• Phân tích đặc tính thiết bị công suất như SiC, GaN

• Kiểm định và đảm bảo tuân thủ các tiêu chuẩn công nghiệp và quy định nội bộ nhà máy

Lợi ích khi chọn Keysight 4881HV Hệ thống kiểm thử wafer điện áp cao

• Rút ngắn thời gian kiểm thử nhờ tích hợp đo HV và LV trong cùng một chu trình

• Đảm bảo độ chính xác và độ ổn định lâu dài

• Dễ dàng tích hợp vào dây chuyền sản xuất tự động

• Giúp khách hàng duy trì chất lượng và đáp ứng các tiêu chuẩn quốc tế

Liên hệ Techmaster – Nhà phân phối chính thức của Keysight tại Việt Nam để được tư vấn kỹ thuật và demo sản phẩm.

Lưu ý:

• Ma trận Chuyển mạch Cao áp (High-Voltage Switching Matrix – HV-SWM):

Đây là thành phần cốt lõi cho phép hệ thống chuyển đổi linh hoạt giữa các phép đo áp cao và áp thấp trên tối đa 29 chân (pins) với đầu ra lên đến 3 kV.

• Khối Đo Nguồn Cao áp (High-Voltage Source Measure Units – HVSMUs):

Cung cấp nguồn và đo lường điện áp/dòng điện cao. Hệ thống có thể hỗ trợ tối đa hai HVSMUs với mức tối đa 3 kV cho mỗi đơn vị.

• Khối Đo Nguồn Điện áp Thấp (Low-Voltage Source Measure Units – LVSMUs):

Cung cấp nguồn và đo lường chính xác các thông số điện áp thấp (độ phân giải dòng điện xuống đến sub-pA). Hệ thống có thể hỗ trợ tối đa tám LVSMUs với mức tối đa 200 V cho mỗi đơn vị.

• Các Tài nguyên Đo lường Khác:

Bao gồm Đơn vị Đo Điện dung (Capacitance Measurement Unit – CMU), Đồng hồ Vạn năng Kỹ thuật số (Digital Voltmeter – DVM), Bộ tạo Xung (Pulse Generator – PG), và Bộ Phân tích Tín hiệu (Signal Analyzer – SPA) để hỗ trợ các phép đo đa dạng (DC, C-V, xung, tần số).

• Phần mềm:

Sử dụng phần mềm Keysight SPECS và SPECS-FA (Factory Automation) để điều khiển và tự động hóa kiểm tra.

Nói tóm lại, mô hình chính thức của hệ thống là NX4881A, nhưng hiệu suất và khả năng của nó được xác định bởi sự tích hợp của các đơn vị đo lường và chuyển mạch chuyên biệt của Keysight.