Giám sát hạt tiểu phân trong quá trình xử lý hoá chất

Mức độ hạt cao trong các hóa chất xử lý đã được chứng minh là có ảnh hưởng trực tiếp đến chất lượng sản phẩm. Nhu cầu tiếp tục giảm kích thước và số lượng hạt trong môi trường phòng sạch đã được thiết lập rõ ràng. Lộ trình Công nghệ Quốc tế về Chất bán dẫn (ITRS), được tài trợ bởi Hiệp hội Công nghiệp Chất bán dẫn Hoa Kỳ (SIA), xác định nhu cầu giảm liên tục mức độ hạt trong quá trình xử lý khí, nước, hóa chất và không khí để đáp ứng các nút công nghệ thế hệ tương lai. Khả năng đo lường chính xác các chất gây ô nhiễm này là bước đầu tiên trong việc phát triển một kế hoạch kiểm soát hạt toàn diện.