Giám sát các hạt trong hóa chất xử lý giúp cải thiện hiệu suất sản xuất. Mức độ hạt cao trong hóa chất xử lý đã được chứng minh là ảnh hưởng trực tiếp đến chất lượng sản phẩm. Nhu cầu tiếp tục giảm kích thước và số lượng hạt trong môi trường phòng sạch đã được thiết lập rõ ràng. Kế hoạch Chiến lược công nghệ quốc tế cho ngành Bán dẫn (ITRS), được tài trợ bởi Hiệp hội công nghiệp bán dẫn (SIA) của Hoa Kỳ, xác định nhu cầu giảm liên tục mức độ hạt trong khí xử lý, nước, hóa chất và không khí để đáp ứng các thế hệ công nghệ tương lai. Khả năng đo lường chính xác các chất gây ô nhiễm này là bước đầu tiên trong việc phát triển một kế hoạch kiểm soát hạt toàn diện.

Mặc dù có nhiều kỹ thuật để theo dõi và mô tả đặc điểm của các hạt, nhưng hầu hết đều yêu cầu phân tích và diễn giải ngoại tuyến. Điều này thường làm giảm số lượng mẫu được đo dẫn đến ít điểm dữ liệu hơn và thời gian trả kết quả bị chậm. Máy đếm hạt trong dung dịch (LPC), dựa trên sự tán xạ ánh sáng, được sử dụng rộng rãi để theo dõi hạt trực tuyến liên tục của hóa chất xử lý. Việc lựa chọn và triển khai đúng cách máy đếm hạt trong dung dịch rất quan trọng để đảm bảo tính toàn vẹn của dữ liệu.

Mặc dù thiết kế, hiệu suất và thông số kỹ thuật của các LPC có thể khác nhau, nhưng một số nguyên tắc chính vẫn được duy trì. Đầu tiên, máy đếm hạt không đếm trực tiếp các hạt. Máy đếm hạt dựa trên hiện tượng tán xạ ánh sáng được thiết kế để đo kích thước quang học tương đương của các hạt như được tham chiếu theo tiêu chuẩn hiệu chuẩn. Trong hầu hết các trường hợp, tiêu chuẩn đó là hạt bụi chuẩn (PSL). Chúng có sẵn và được theo dõi kích thước bởi Viện tiêu chuẩn và công nghệ quốc gia (NIST).

Ánh sáng laser, với bước sóng thường trong khoảng 600-800 nm, được sử dụng để chiếu sáng tế bào mẫu hoặc mao quản (capillary). Khi các hạt riêng lẻ đi qua chùm tia laser, sự tán xạ ánh sáng xảy ra do sự khác biệt về chỉ số khúc xạ giữa môi trường vận chuyển và hạt. Lượng tán xạ phụ thuộc vào nhiều yếu tố nhưng chủ yếu phụ thuộc vào kích thước hạt, hình dạng và chỉ số khúc xạ.

Ánh sáng tán xạ sau đó được thu thập và tập trung vào bộ tách sóng quang nơi tín hiệu được chuyển đổi thành xung điện tử.

Các đường đứt nét biểu thị giá trị điện áp hoặc kênh được xác định cho từng kích thước hạt trong quá trình hiệu chuẩn với PSL.

Mỗi xung đại diện cho một hạt riêng lẻ, trong khi độ lớn của xung xác định kích thước của nó bằng cách so sánh lượng tán xạ tương đương PSL.

Quan tâm đến việc tìm hiểu thêm? Hoàn thành biểu mẫu tại đây để nhận tư vấn từ chuyên gia.

Giải pháp theo dõi hạt trong các hóa chất xử lý:

• Theo dõi hóa chất xử lý: 20 – 100 nm
• Lấy mẫu hàng loạt cho các hóa chất xử lý
• Giải pháp đáng tin cậy cho nhu cầu tiết kiệm chi phí