English
Lasair Pro 310
Handheld 0.3 µm · 2.83 LPM
Máy cầm tay tiêu chuẩn cho audit phòng sạch quang học ISO 5-8, validation HVAC, chứng nhận theo ISO 14644-1. Pin lithium sạc nhanh, lưu trữ 5000 location.
QUANG HỌC & PHOTONICS
Giải Pháp Đo Tiểu Phân cho Quang Học Chính Xác, Laser & Photonics
Bảo vệ optics chính xác, lens/mirror cleanroom, sensor và laser source khỏi nhiễm bẩn submicron — bước sóng càng ngắn, mật độ năng lượng laser càng cao, mọi hạt tiểu phân đều có thể phá hỏng component. Particle Measuring Systems giữ phòng sạch quang học của bạn sạch tuyệt đối — phân phối chính thức tại Việt Nam bởi Techmaster.
“Trung tâm giải pháp đo lường tiểu phân cho phòng sạch quang học, laser, lens, mirror và sensor photonics Việt Nam — Lasair Pro, Lasair III, IsoAir Pro, NanoAir 10, Chem 20, AirSentry II AMC.”
Precision Optics Sensitivity
Độ nhạy bắt mọi nhiễm bẩn gây laser damage
10 nm
Air · DUV/EUV optics
10 nm
Gas · UHP N2/Ar
20 nm
DI Water · Lens rinse
20 nm
Chemicals · Coating
70 ppt
AMC · Molecular
Danh Mục Sản Phẩm
5 dòng sản phẩm cho phòng sạch quang học & photonics
Từ DUV/EUV lithography optics đến lens grinding, mirror coating, laser assembly và sensor packaging — Techmaster tư vấn cấu hình tối ưu cho ngành quang học Việt Nam.
1
Lasair® Pro Family — Máy cầm tay optics
Handheld nhẹ pin sạc — chuyên cho validation HVAC, ISO 14644 spot-check, certification phòng coating, lens assembly và sensor packaging room.
Lasair Pro 350
Handheld · 50 LPM
Cầm tay lưu lượng 50 LPM — nhanh gấp đôi version 310. Lý tưởng audit nhiều phòng lens grinding, coating chamber, laser room trong 1 ca làm việc.
Lasair Pro 5100
Handheld · 100 LPM
Lưu lượng 100 LPM — classification toàn nhà máy optics trong 1 ca. Dành cho nhà máy quang học quy mô lớn, sensor packaging, fiber optic production.
2
Lasair® III Family — Trolley premium 0.1 µm
Cố định hoặc trolley, độ nhạy từ 0.1 µm — bắt buộc cho DUV/EUV lithography optics, mirror telescope, lens chính xác và laser source critical.
Lasair III 110
0.1 µm · ISO 1-3
Máy đếm hạt độ nhạy 0.1 µm cao nhất — chuẩn cho DUV/EUV lithography lens, mirror sub-aperture polishing, sensor critical. Đáp ứng yêu cầu laser damage threshold.
Lasair III 310B
0.3 µm · 6 kênh · ISO 4-5
6 kênh đo (0.3, 0.5, 1.0, 5.0, 10 µm) cho lens coating, laser optics assembly, fiber alignment. Cân bằng độ nhạy và chi phí cho 90% ứng dụng photonics.
Lasair III 350L
Flow 50 LPM · Phòng lớn
Lưu lượng 50 LPM (vs 28.3 LPM tiêu chuẩn) — giảm 40% thời gian sampling cho phòng sạch optics có thể tích lớn, sampling 20+ vị trí ISO 14644-1.
3
IsoAir® Pro Family — Cố định remote 24/7
Tích hợp FacilityPro FMS, truyền dữ liệu liên tục — giám sát lens coating chamber, laser source room, sensor packaging 24/7, alarm tức thời.
IsoAir Pro-E
Kết nối Ethernet TCP/IP
Máy cố định kết nối Ethernet cho nhà máy quang học có hạ tầng dây sẵn. Tích hợp FMS qua TCP/IP, OPC UA, BACnet cho lithography line và optics critical room.
IsoAir Pro-Plus
Wireless · Deploy linh hoạt
Wireless cho cleanroom photonics — không cần kéo dây qua vibration-sensitive area, deploy linh hoạt cho laser room, mã hóa AES 2.4 GHz. Tiết kiệm 70% chi phí cabling.
IsoAir Pro
Phiên bản kinh tế
Bản entry-level cho dự án optics R&D, prototype lens, lab quang học có ngân sách hạn chế. Vẫn đảm bảo độ tin cậy PMS với chi phí đầu tư tối ưu.
4
Compact & CPC — NanoAir 10 + HandiLaz Mini II
Máy CPC độ nhạy siêu cao 10 nm cho EUV photonics R&D và máy cầm tay nhẹ nhất cho audit nhanh trong fiber optic, sensor module assembly.
NanoAir™ 10
CPC độ nhạy 10 nanometer
Máy đếm hạt độ nhạy 10 nm cho EUV lithography optics R&D, advanced laser source, ultra-high reflectivity mirror coating. Duy nhất trên thị trường — chuẩn cho photonics next-gen.
HandiLaz® Mini II
Compact handheld · <1 kg
Máy cầm tay nhẹ nhất, giá kinh tế cho audit nhanh fiber optic assembly, sensor module, R&D laser lab. Dưới 1 kg, pin 8 giờ, output XML/PDF report.
Airnet II 4-kênh
4 dải kích thước · Network
Cảm biến đếm hạt 4 dải kích thước, kết nối mạng — deploy facility-wide cho display panel, fiber optic factory, lens grinding workshop. Chi phí thấp nhất trên kênh đo.
5
Liquid & AMC — Chem 20 + AirSentry · Optics critical
Đo tiểu phân trong DI water rửa lens, photoresist chemical, coating solution và AMC giám sát ammonia/sulfate gây laser damage và haze trên optics.
Chem 20™
Chemical · 20 nm
Máy đếm hạt 20 nm trong dung dịch chemical — chuẩn cho photoresist photonics, optical coating solution, sensor wet chemistry. Phát hiện nhiễm bẩn submicron trước khi gây defect.
AirSentry® II AMC
Phân tử · Optics critical
Giám sát AMC (Airborne Molecular Contamination) cho DUV/EUV lithography lens, mirror haze prevention, laser damage threshold — bắt ammonia, acid, sulfate ở ppt-level.
Ultra DI Family
UPW · Lens cleaning
Đếm hạt nước siêu tinh khiết UPW cho lens cleaning, mirror rinse, sensor surface preparation. Cùng công nghệ dùng cho semiconductor 7nm UPW system.
Hướng dẫn theo ISO Class
Cách chọn máy đếm hạt theo class phòng sạch quang học
Mỗi class ISO 14644 có giới hạn tiểu phân riêng — bước sóng ngắn và laser power cao yêu cầu cleanroom critical nhất, chọn đúng máy từ đầu để ngăn laser damage và haze.
ISO 1-3 · Class 10
DUV/EUV Lithography · Laser Source
Lens DUV/EUV, EUV mirror coating, high-power laser cavity. Yêu cầu detect 0.1 µm và 10 nm CPC. Cleanroom critical nhất.
ISO 4-5
Lens Assembly · Optical Coating
Lens grinding, mirror polishing, optical coating chamber, sensor wafer bonding. Cân bằng độ nhạy 0.3 µm và chi phí.
ISO 6-8
Fiber Optic · Display Assembly
Fiber optic alignment, display panel assembly, camera module packaging. Yêu cầu thấp hơn — ưu tiên kinh tế và mật độ sensor.
Phần mềm & FMS quang học
FacilityPro — tích hợp dữ liệu & ISO 14644
Hệ thống FMS PMS giám sát toàn bộ nhà máy quang học — từ lens grinding đến laser packaging, audit trail data integrity, alarm real-time, báo cáo tự động cho ISO 14644, ISO 21501-4 và yêu cầu OEM customer.
- ✓
Real-time monitoring lens coatingGiám sát particle, AMC, RH trong coating chamber liên tục — cảnh báo trước khi gây haze hoặc laser damage on optics.
- ✓
AMC monitoring cho DUV/EUVPhát hiện ammonia, acid, sulfate ở ppt-level — bảo vệ DUV/EUV optics, sensor critical, laser source khỏi haze và damage.
- ✓
Tích hợp đa cảm biến facility-wideMonitor 1000+ điểm đo, OPC UA, BACnet, Modbus, MQTT — tích hợp với BMS, SCADA của nhà máy display, fiber optic, sensor.
- ✓
Tuân thủ tiêu chuẩn photonicsISO 14644-1/2, ISO 21501-4, ISO/IEC 17025, MIL-PRF-13830 (optics), OEM customer standards (Apple, Samsung).
Tư vấn cấu hình cho dự àn quang học của bạn
Kỹ sư Techmaster Vietnam tư vấn miễn phí cấu hình, demo tại site, và lập đề án FMS turnkey cho lens grinding, mirror coating, laser source, sensor packaging, fiber optic và display panel cleanroom.
