Đo Tiểu Phân Khí Siêu Tinh Khiết UHP — Giải Pháp Cho Fab Bán Dẫn Việt Nam
Trung tâm giải pháp đo lường hạt tiểu phân trong khí công nghiệp siêu tinh khiết (Ultra-High Purity Gas) phục vụ nhà máy bán dẫn, dược phẩm và phòng sạch tiêu chuẩn ISO 14644 tại Việt Nam. Phân phối chính thức bởi Techmaster Vietnam.
Tổng quan: tại sao phải đo hạt tiểu phân trong khí UHP?
Trong sản xuất bán dẫn, khí siêu tinh khiết UHP (Ultra-High Purity) bao gồm Nitơ (N₂), Hydro (H₂), Argon (Ar), Heli (He), Oxy (O₂) cấp 6N–9N được đưa trực tiếp vào quá trình quang khắc, ăn mòn plasma, lắng đọng CVD. Một hạt tiểu phân kích thước 0.1µm lọt vào khí process có thể gây defect cho wafer trị giá hàng nghìn USD. Đo lường hạt tiểu phân trong khí siêu tinh khiết UHP là kiểm soát chất lượng bắt buộc theo tiêu chuẩn SEMI F70 và SEMI C7.
Các nhà cung cấp khí công nghiệp tại Việt Nam như Air Liquide, Linde, Messer, Nippon Sanso Holdings đều yêu cầu kiểm soát chất lượng khí UHP đầu ra bằng máy đếm hạt tiểu phân khí siêu tinh khiết HPGP 101-C của PMS cho line khí N2/H2/Ar áp suất cao — đây là tiêu chuẩn industry-wide.
Sản phẩm chủ lực cho đo tiểu phân khí siêu tinh khiết UHP
HPGP 101-C — máy đếm hạt khí UHP độ nhạy cao
Máy đếm hạt tiểu phân trong khí siêu tinh khiết với độ nhạy 0.1µm, lưu lượng 28.3 LPM, áp suất tới 10 bar. Tiêu chuẩn cho line N₂/H₂/Ar/He fab bán dẫn dưới 28nm.
→ Xem chi tiết máy đếm hạt khí siêu tinh khiết HPGP 101-C cho N2/H2/Ar/He nhà máy bán dẫn
HPD III — thiết bị giảm áp khí UHP
High Pressure Diffuser thế hệ III — giảm áp khí từ > 7 bar về dải áp suất an toàn cho cảm biến HPGP. Bắt buộc cho line khí cao áp.
→ Xem chi tiết thiết bị giảm áp HPD III cho line khí áp suất cao > 7 bar nhà máy bán dẫn
ParticleSeeker — multi-point manifold khí UHP
Hệ thống đa tạp thông minh — 1 cảm biến HPGP đo tuần tự nhiều điểm lấy mẫu khí UHP trong fab, tiết kiệm CAPEX đáng kể cho khách hàng gas-supplier.
→ Xem chi tiết hệ thống đa tạp thông minh ParticleSeeker cho cảm biến đếm hạt khí UHP đa điểm
Lasair III 110 — máy đếm hạt 0.1µm đa năng
Máy đếm hạt tiểu phân không khí và khí công nghiệp độ nhạy 0.1µm dải rộng. Phù hợp khi cần đo cả không khí phòng sạch và khí ít áp suất.
→ Xem chi tiết máy đếm hạt Lasair III 110 độ nhạy 0.1µm cho khí công nghiệp và không khí
Khách hàng mục tiêu tại Việt Nam
Giải pháp đo tiểu phân khí UHP của PMS được triển khai cho:
- Nhà cung cấp khí công nghiệp: Air Liquide Vietnam (KCN Bắc Ninh, Quế Võ), Linde Vietnam, Messer Vietnam, Nippon Sanso Vietnam — kiểm soát chất lượng khí UHP đầu ra trước khi giao cho fab.
- Nhà máy bán dẫn: Samsung Electronics Vietnam, Intel Products Vietnam, Amkor Technology Vietnam, Hana Micron — kiểm soát khí UHP tại điểm sử dụng (point-of-use) trước process tool.
- Nhà sản xuất gas line / piping: Áp Air Products, Praxair installer Vietnam — validation hệ thống đường khí trước nghiệm thu.
Tiêu chuẩn áp dụng
- SEMI F70 — Test method for purity of gases used in semiconductor manufacturing
- SEMI C7 — Specification for bulk gases used in semiconductor processing
- ISO 8573 — Compressed air purity classes (cũng áp dụng cho khí công nghiệp khác)
- ASTM F328 — Calibration of optical particle counters in gas streams
Câu hỏi thường gặp / FAQ
Sự khác biệt giữa máy đếm hạt khí UHP và máy đếm hạt không khí thường?
Máy đếm hạt khí UHP như HPGP 101-C cho khí siêu tinh khiết N2/H2/Ar được thiết kế chịu áp suất cao (tới 10 bar), có wetted-parts bằng vật liệu trơ (electropolished stainless steel) để tránh nhiễm bẩn khí UHP. Máy đếm hạt không khí thường như IsoAir Pro-Plus chỉ chịu áp suất khí quyển ~1 bar và không phù hợp cho khí công nghiệp áp suất cao.
Có cần dùng HPD III cùng HPGP 101-C không?
Có, BẮT BUỘC nếu áp suất line khí > 7 bar. Thiết bị giảm áp HPD III giảm áp suất khí từ > 7 bar về dải an toàn cho HPGP đồng thời duy trì lưu lượng lấy mẫu đẳng tốc (isokinetic). Không có HPD III, HPGP có thể bị hư hỏng cảm biến quang.
Có thể đo 16 điểm khí UHP chỉ với 1 cảm biến HPGP không?
Có. Hệ thống đa tạp ParticleSeeker cho phép 1 cảm biến HPGP 101-C đo tuần tự tới 16 điểm lấy mẫu, tiết kiệm chi phí đáng kể so với mua 16 cảm biến riêng.
PMS HPGP 101-C khác gì so với máy của Lighthouse hay Climet?
HPGP 101-C có dải áp suất rộng nhất thị trường (atmospheric tới 10 bar), thiết kế modular cho phép thay sensor tại field service mà không cần gửi về factory, và tương thích với phần mềm DataAnalyst của PMS để báo cáo tuân thủ SEMI F70 tự động.
Tích hợp với hệ thống giám sát nhà máy
Dữ liệu từ máy đếm hạt khí UHP có thể tích hợp vào hệ thống FMS trung tâm bằng phần mềm FacilityPro giám sát đa cảm biến PMS cho fab bán dẫn — alarm real-time khi nồng độ hạt vượt ngưỡng. Đồng thời sử dụng phần mềm DataAnalyst phân tích dữ liệu đếm hạt khí UHP theo SEMI F70 cho báo cáo tuân thủ định kỳ.
Để giám sát đồng thời cả hạt tiểu phân VÀ nhiễm bẩn phân tử trong khí UHP, kết hợp với máy giám sát AMC AirSentry II Point-of-Use cho nhà máy bán dẫn — phát hiện NH₃, SO₂, HCl, HF gây refractive index drift trong khí xử lý wafer.
📞 Hotline: 024 3766 4666 · ✉ sales@techmaster.com.vn · 🌐 Trang liên hệ
