Giải pháp giám sát ô nhiễm trong lĩnh vực điện tử công nghiệp bán dẫn

Trong lĩnh vực điện tử công nghiệp bán dẫn, việc đảm bảo chất lượng sản phẩm và bảo vệ môi trường trong quá trình sản xuất là vô cùng quan trọng. Để giải quyết vấn đề ô nhiễm trong nhà máy sản xuất, nhiều giải pháp công nghệ tiên tiến đã được ra đời. Qua bài viết này, chúng tôi sẽ giới thiệu một số giải pháp hiện đại, mang đến những công nghệ hiệu quả trong việc giám sát ô nhiễm, hỗ trợ các nhà sản xuất điện tử bán dẫn đạt được tiêu chuẩn cao về chất lượng và bảo vệ môi trường.

• TÍNH NĂNG

– Cảm biến và laser quang học hiện đại cho phép phát hiện các hạt kích thước đến 20nm (9nm Au)

– Thu thập dữ liệu nhằm phát hiện các hạt một cách nhanh chóng

– Làm sạch mẫu nhanh chóng giúp rút ngắn thời gian thay đổi giữa các mẫu

– Đo với lưu lượng mẫu lớn hơn và có khả năng đo chính xác với các nồng độ hạt thấp cho phép phát hiện các hạt với dữ liệu liên quan

– Tương thích với nước được khử ozone

• THÁCH THỨC

Độ tinh khiết của các hệ thống nước siêu tinh khiết hiện tại đã vượt quá khả năng đo của các thiết bị giám sát hạt hiện nay.

• GIẢI PHÁP

Phát hiện các hạt nhỏ tới 20 nm, Ultra DI 20 cho phép giám sát hệ thống siêu tinh khiết của bạn, cung cấp dữ liệu về độ sạch của hệ thống lọc Nano, vì vậy bạn có thể tự tin rằng các hạt đang được loại bỏ hiệu quả.

• TÍNH NĂNG

– Đo lường các hạt có kích thước nhỏ đến 40 nm trong các quy trình xử lý hóa chất sản xuất chất bán dẫn

– Tăng chất lượng dữ liệu với số lượng lấy mẫu lớn

– Đưa ra chẩn đoán nhanh và cảnh báo ngẫu nhiên về các vấn đề thực tế.

– Tương thích với nhiều loại hóa chất khác nhau

• THÁCH THỨC

Quy trình làm sạch wafer và hóa chất có thể gặp phải một số vấn đề ở các giai đoạn quan trọng. Bạn cần một giải pháp cung cấp dữ liệu thời gian thực để hiểu rõ hơn về mức độ ô nhiễm dẫn đến giảm năng suất sản phẩm.

• GIẢI PHÁP

UltraChem 40 cung cấp cho bạn dữ liệu thời gian thực với độ chính xác và độ lặp lại tốt để đo và giám sát các hạt nano kích thước đến 40 nm.

• TÍNH NĂNG

– Đo lường các hạt tiểu phân thời gian thực

– Sử dụng làm thiết bị đếm di động để khoanh vùng nguồn ô nhiễm

– Công nghệ Smart Flow được cấp bằng sáng chế giúp loại bỏ lỗi đếm theo kiểu truyền thống trong việc lấy mẫu

– Đầy đủ các phụ kiện để giám sát trong các ứng dụng khác nhau

– Phát hiện các hạt với kích thước thực tế tới 0,1 µm

• THÁCH THỨC

Phòng sạch với kích thước lớn có nồng độ hạt rất thấp và bạn cần đo các hạt trong không khí tại các khu vực yêu cầu.

• GIẢI PHÁP

Lasair III 110 giám sát hiệu quả hạt bụi với nồng độ thấp vànó cóthể được kết hợp với bộ chia gồm 16 hoặc 32 cổng lấy mẫu để giám sát các khu vực rộng lớn hoặc sử dụng pin để theo dõi di động.