Các yếu tố ảnh hưởng đến bọt bong bóng nhỏ trong dung dịch

Các yếu tố ảnh hưởng đến bọt bong bóng nhỏ trong dung dịch

Trong ngành công nghiệp sản xuất chất bán dẫn, các bọt bong bóng nhỏ (bọt có đường kính nhỏ hơn 100 µm) có thể là chất gây ô nhiễm làm giảm năng suất sản xuất. Ví dụ, nếu các bọt bong bóng nhỏ trong photoresist được phân phối vào một tấm wafer, chúng có thể gây ra lỗi trong vi mạch được tạo ra, do đó gây ra hỏng hóc sớm. Bài báo này thảo luận về một số yếu tố ảnh hưởng đến sự hình thành các bọt bong bóng trong dung dịch và cách phân biệt các bọt bong bóng với các hạt cứng bằng cách sử dụng máy đếm hạt tiểu phân quang học. Kết quả thí nghiệm trong nước và dung môi phản quang phổ biến, propylen glycol metyl ete axetat, được trình bày. Kết quả được so sánh với dự đoán lý thuyết.

Bạn muốn tìm hiểu thêm? Vui lòng hoàn thành biểu mẫu tại đây để nhận được tư vấn từ chuyên gia.