AirSentry® II Mapping System — Giám sát ô nhiễm phân tử (AMC) đa điểm cho phòng sạch
Một máy phân tích IMS luân phiên tới 10 điểm lấy mẫu — lập bản đồ AMC toàn phòng sạch
Theo dõi axit & bazơ ở mức ppt trên nhiều vị trí với chi phí mỗi điểm thấp. Lý tưởng để khảo sát, nghiệm thu và truy vết nguồn AMC trong fab bán dẫn và hệ thống khí siêu tinh khiết.
Hình ảnh sản phẩm PRODUCT GALLERY
AirSentry® II Mapping System giám sát AMC đa điểm
Manifold lấy mẫu tuần tự tới 10 điểm
Lập bản đồ AMC toàn phòng sạch
Tích hợp dữ liệu đa điểm vào hệ thống giám sát nhà máy
Thông số kỹ thuật SPECIFICATIONS
| Công nghệ | Quang phổ di động ion (Ion Mobility Spectrometry – IMS) |
|---|---|
| Loại ô nhiễm giám sát | Ô nhiễm phân tử trong không khí (AMC) |
| Chủng chất phát hiện | Axit (HF, HCl, HBr, HNO₃, SOₓ), Clorua, Amin, Amoniac (NH₃) |
| Độ nhạy | Mức ppt theo từng chủng – độ nhạy hàng đầu ngành (tới ~70 ppt) |
| Cấu hình | Đa điểm: 1 máy phân tích IMS luân phiên tới 10 cổng lấy mẫu |
| Chế độ đo | Tuần tự luân phiên nhiều điểm, tự động 24/7 |
| Đầu ra / kết nối | Tín hiệu số; tích hợp hệ thống giám sát nhà máy (FMS/FacilityNet) |
| Ứng dụng tiêu biểu | Bản đồ AMC phòng sạch, nghiệm thu & truy vết nguồn ô nhiễm |
| Hãng sản xuất | Particle Measuring Systems (PMS) – Hoa Kỳ · Phân phối: Techmaster |
ROI Calculator — Giá trị giám sát AMC đa điểm AirSentry® II
Giám sát AMC nhiều điểm bằng một máy phân tích duy nhất giúp tiết kiệm chi phí và phát hiện sớm sự cố trên toàn phòng sạch. Nhập dữ liệu fab của bạn:
→ Với chi phí ~$50-150K, ROI ước tính 3-6 tháng
⚠️ Ước tính tham khảo. Liên hệ Techmaster để có phân tích ROI chi tiết.
Ngành & Ứng dụng 5 USE CASES
5 kịch bản triển khai AirSentry® II Mapping System cho khách hàng tại Việt Nam — pain point cụ thể và giải pháp tương ứng.
Khảo sát & lập bản đồ AMC
Đo AMC tại nhiều vị trí để dựng bản đồ phân bố ô nhiễm toàn phòng sạch.
Nghiệm thu sau xây dựng/bảo trì
Xác thực mức AMC đạt yêu cầu trước khi đưa phòng sạch vào vận hành.
Truy vết nguồn ô nhiễm AMC
So sánh nồng độ giữa các điểm để khoanh vùng nguồn phát thải axit/bazơ.
Litho + Etch + Lưu trữ cùng lúc
Bao phủ các khu vực tới hạn bằng một máy phân tích dùng chung.
QC phân tử đa điểm cho khí UHP
Kiểm soát tạp phân tử tại nhiều điểm trên hệ thống phân phối khí siêu tinh khiết.
So sánh giải pháp giám sát AMC đa điểm HIỆU QUẢ CHI PHÍ
| Tiêu chí | Hệ thống Mapping (1 máy, ≤10 điểm) | Nhiều máy giám sát rời |
|---|---|---|
| Chi phí thiết bị | Thấp – 1 máy dùng chung | Cao – mỗi điểm một máy |
| Hiệu chuẩn & bảo trì | Chỉ 1 máy duy nhất | Nhiều máy, tốn công |
| Tính nhất quán dữ liệu | Cùng 1 cảm biến IMS | Dễ lệch giữa các máy |
| Lập bản đồ AMC | Có – đo tuần tự đa điểm | Khó đồng bộ |
| Triển khai diện rộng | Tối ưu chi phí/điểm | Tốn kém khi mở rộng |
Point-of-Use vs Hệ thống đa điểm SO SÁNH KHÁCH QUAN
| Tiêu chí | Point-of-Use (1 điểm) | Hệ thống đa điểm – Mapping |
|---|---|---|
| Phạm vi giám sát | 1 vị trí tới hạn | Tới 10 điểm lấy mẫu |
| Kiểu đo | Liên tục tại 1 điểm | Tuần tự luân phiên nhiều điểm |
| Số máy phân tích | 1 máy / điểm | 1 máy dùng chung nhiều điểm |
| Ứng dụng lý tưởng | Bảo vệ tool/khu vực trọng yếu | Bản đồ AMC & nghiệm thu phòng sạch |
| Chi phí theo điểm | Cao khi cần nhiều điểm | Thấp khi giám sát diện rộng |
📌 Dữ liệu từ datasheet công khai. Verify với từng vendor để có info chính xác nhất.
Lợi ích chính 4 KEY BENEFITS
Độ nhạy hàng đầu ngành
Phát hiện axit & bazơ ở mức ppt — không sản phẩm nào trên thị trường nhạy hơn.
Cảnh báo sớm, bảo vệ yield
Phát hiện AMC tức thời giúp ngăn haze, T-topping và ăn mòn trước khi hỏng lô.
Dữ liệu ổn định, đáng tin cậy
Kiểm soát & phân tích dữ liệu mạnh mẽ, ổn định dài hạn cho quyết định dựa trên dữ liệu.
Chi phí mỗi điểm thấp nhất
Một máy phân tích dùng chung cho tới 10 điểm — tối ưu chi phí giám sát AMC diện rộng.
Tại sao chọn Techmaster DISTRIBUTOR USP
★ AUTHORIZED
Nhà phân phối ủy quyền PMS
Hàng chính hãng 100% từ trụ sở PMS Boulder, Colorado — kèm chứng nhận xuất xứ cho mỗi đơn hàng.
Lab ISO/IEC 17025 (ANAB)
Hiệu chuẩn ngay tại Việt Nam — tiết kiệm 4-8 tuần so với gửi đi nước ngoài, vẫn đảm bảo traceable.
Kỹ sư PMS-certified
Đội ngũ kỹ thuật được đào tạo trực tiếp tại trụ sở PMS — am hiểu chuyên sâu cho từng dòng máy.
2 chi nhánh tại Việt Nam
Văn phòng TP. HCM phục vụ miền Nam, Bắc Ninh phục vụ miền Bắc — giao hàng, lắp đặt cực nhanh.
On-site service & Rental
Phản ứng nhanh tại nhà máy — sửa chữa, hiệu chuẩn, cho thuê thiết bị backup khi máy chính bảo trì.
Technical Hotline
Hỗ trợ kỹ thuật trực tiếp qua điện thoại trong giờ làm việc — giải đáp ứng dụng, cấu hình, sự cố.
Câu hỏi thường gặp FAQ
Ô nhiễm phân tử trong không khí (AMC) là gì?
AMC là các tạp chất ở dạng phân tử (axit, bazơ, chất ngưng tụ, dopant) lơ lửng trong không khí phòng sạch ở mức ppt–ppb, gây defect bề mặt, haze và ăn mòn dù không phải là hạt bụi.
AirSentry® II Mapping System phát hiện những chất nào?
Tùy cấu hình mô-đun IMS: nhóm axit (HF, HCl, HBr, HNO₃, SOₓ, clorua) hoặc nhóm bazơ (amin, amoniac/NH₃) — đo lần lượt tại từng điểm lấy mẫu.
Công nghệ IMS hoạt động như thế nào?
Quang phổ di động ion (IMS) ion hóa mẫu khí rồi đo thời gian bay của ion để định danh và định lượng chất ở mức ppt, theo thời gian thực và liên tục.
Độ nhạy ppt nghĩa là gì và vì sao quan trọng?
ppt = phần nghìn tỷ. Ở các nút công nghệ tiên tiến, chỉ vài ppt amin hay axit cũng đủ gây haze reticle hoặc lệch pattern — nên cần độ nhạy hàng đầu ngành của PMS.
Hệ thống Mapping khác Point-of-Use như thế nào?
Mapping dùng 1 máy phân tích luân phiên tới 10 điểm để bao phủ diện rộng; Point-of-Use giám sát liên tục 1 điểm tới hạn. Xem Point-of-Use trong mục sản phẩm liên quan.
Bố trí các điểm lấy mẫu ở đâu trong nhà máy?
Đặt cổng lấy mẫu tại scanner/track thạch bản, khu etch, FOUP/stocker, trước-sau phin lọc hóa học và các điểm khí UHP; manifold luân phiên đo từng điểm theo chu kỳ.
Có tích hợp vào hệ thống giám sát nhà máy không?
Có. Tín hiệu số của AirSentry II tích hợp vào FMS/FacilityNet để cảnh báo ngưỡng, lưu trữ và phân tích xu hướng dài hạn.
Techmaster hỗ trợ gì sau bán hàng?
Là nhà phân phối ủy quyền PMS tại Việt Nam, Techmaster cung cấp tư vấn ứng dụng, lắp đặt, đào tạo, hiệu chuẩn và bảo trì AirSentry II.
Sẵn sàng kiểm soát ô nhiễm phân tử (AMC)?
Liên hệ Techmaster để được tư vấn cấu hình AirSentry® II Point-of-Use phù hợp với nhà máy của bạn.
Sản phẩm PMS liên quan CROSS-SELL
Cập nhật: 2026 · AirSentry® II Mapping System — Phân phối bởi Techmaster Vietnam (đại lý ủy quyền PMS).
