ỨNG DỤNG · BÁN DẪN

Đo Tiểu Phân Trong Hóa Chất Quy Trình

Kiểm soát độ sạch hóa chất ướt (axit, bazơ, dung môi) bảo vệ bề mặt wafer — máy đếm hạt hóa chất Chem 20 & UltraChem, từ Particle Measuring Systems, phân phối chính thức tại Việt Nam bởi Techmaster.

Do tieu phan trong hoa chat sieu tinh khiet ban dan PMS
Corrosion-Resistant

Đo trực tiếp trong môi trường hóa chất khắc nghiệt

Chem 20
Đo trong hóa chất ăn mòn
UltraChem
Độ nhạy cao
PFA
Vật liệu chống ăn mòn
Danh Mục Sản Phẩm

Sản phẩm đo tiểu phân hóa chất

Đo trực tiếp trong axit, bazơ và dung môi — kể cả dung dịch sủi bọt và nhiệt độ cao.

Máy đếm hạt tiểu phân hóa chất PMS Chem 20

Particle Measuring Systems

MÔ TẢ NGẮN

  • Độ nhạy hạt 20nm, là cảm biến hạt nhạy nhất thế giới đối với các hóa chất xử lý có độ tinh khiết cao.
  • Máy đếm bụi có thể hoạt động tốt trong các dung dịch hóa chất có chỉ số khúc xạ cao/thấp.
  • Có đồng hồ đo lưu lượng hóa chất để cài đặt lưu lượng mẫu.
  • Phát hiện được các hạt tiểu phân có nồng độ thấp trong dung dịch.
  • Tự động cảnh báo khi có sự rò rỉ hóa chất bên trong.
Chem 20 Spec

Xem chi tiết

PMS UltraChem 100 Máy đếm hạt tiểu phân trong dung dịch

Particle Measuring Systems

Tính năng

  • Tương thích với nhiều loại hóa chất
  • Độ nhạy 100nm
  • Hóa chất bao gồm: PGMEA, dung môi cản quang, hydrogen fluoride (HF) và sulfuric acid
  • Bảo hành 3 năm
  • Đi-ốt laser trạng thái rắn
  • Thiết kế đơn giản
  • Khả năng lấy mẫu hàng loạt hoặc trực tuyến
  • Nhiều giao thức truyền thông
UltraChem 100 Spec

Xem chi tiết
FAQ

Câu hỏi thường gặp

Chem 20 đo được những hóa chất nào?

Chem 20 đo tiểu phân trực tiếp trong nhiều hóa chất ăn mòn dùng cho bán dẫn như axit, bazơ và dung môi, kể cả dung dịch sủi bọt và nhiệt độ cao.

Vì sao cần đo tiểu phân trong hóa chất?

Hóa chất tiếp xúc trực tiếp wafer; tiểu phân trong hóa chất gây khuyết tật bề mặt và giảm năng suất, nên cần kiểm soát độ sạch nguồn hóa chất.

Có hỗ trợ UltraChem / CLS 700 không?

Có. Ngoài Chem 20, PMS còn có UltraChem và bộ lấy mẫu hóa chất ăn mòn CLS 700 — liên hệ Techmaster để tư vấn cấu hình.

Tư vấn giải pháp đo tiểu phân hóa chất

Kỹ sư Techmaster Vietnam tư vấn cấu hình đo tiểu phân trong hóa chất quy trình bán dẫn của bạn.