Giám sát độ sạch nước siêu tinh khiết bảo vệ yield cho nhà máy bán dẫn — máy đếm hạt dung dịch Ultra DI & HSLIS, từ Particle Measuring Systems, phân phối chính thức tại Việt Nam bởi Techmaster.
Chọn theo độ nhạy yêu cầu và mô hình triển khai — Techmaster tư vấn cấu hình tối ưu.
Xem dòng máy đếm hạt nước siêu tinh khiết Ultra DI & HSLIS M50e.
Xem nhómUPW tiếp xúc trực tiếp bề mặt wafer; tiểu phân trong nước bám lên wafer gây lỗi mạch, nên cần giám sát liên tục độ sạch để bảo vệ năng suất.
Ultra DI đo tới 20nm và HSLIS M50e tới 7nm, đáp ứng yêu cầu các nút công nghệ bán dẫn tiên tiến.
Kết quả đếm hạt phụ thuộc lưu lượng qua sensor; Flow Control giữ lưu lượng ổn định để đảm bảo độ chính xác và lặp lại.
Kỹ sư Techmaster Vietnam tư vấn miễn phí cấu hình đo tiểu phân nước siêu tinh khiết và demo tại site.
