Máy đếm hạt tiểu phân Nano Air 10 (CPC) là một sản phẩm mới mang tính cách mạng từ Particle Measuring Systems (PMS). Nó cung cấp độ nhạy của một CPC với tính năng dễ sử dụng và chức năng của máy đếm hạt bụi phòng sạch truyền thống. Được thiết kế để giám sát môi trường siêu sạch, nó cung cấp độ nhạy phát hiện 10 nm với lưu lượng mẫu là 2.8 L/phút (0.1 CFM). Kích thước của PMS Nano 10 nhỏ hơn 83% so với các sản phẩm cạnh tranh, giúp nó trở nên thiết thực để sử dụng ở bất cứ đâu trong môi trường siêu sạch, bao gồm cả bên trong các công cụ xử lý chất bán dẫn và mô-đun đầu cuối của thiết bị (EFEM). Hệ thống xử lý chất lưu hoạt động độc đáo đang chờ cấp bằng sáng chế là một thiết kế bền vững và hiệu quả, cho phép hoạt động liên tục 24/7, 365 ngày mà không cần bảo trì hoặc can thiệp của người dùng dưới bất kỳ hình thức nào, trừ việc nạp lại chất lưu hoạt động và hiệu chuẩn theo yêu cầu hàng năm. Qua đó, giúp giảm gián đoạn việc lấy mẫu và thu thập dữ liệu cũng như thời gian ngừng hoạt động của công cụ. Sản phẩm đi kèm với máy lấy mẫu hạt tiểu phân 10 cổng (ParticleSeeker™) hỗ trợ các ứng dụng yêu cầu giám sát nhiều vị trí mẫu theo thứ tự hoặc chuỗi đã được lập trình. Ngoài ra, PMS Nano 10 còn tương thích với khí áp suất cao và HPD-III từ PMS và dữ liệu có thể được xem, phân tích và báo cáo bằng phần mềm giám sát cơ sở PMS Facility Net hoặc truyền trực tiếp đến hệ thống SCADA của bên thứ ba hoặc đầu vào công cụ quy trình.