English
Hiệu chuẩn máy đo rò rỉ màng lọc Hepa- Aerosol Photometer Calibration tại Techmaster.
1. Quy trình hiệu chuẩn máy đo rò rỉ màng lọc Hepa
1.1 Tại sao cần phải hiệu chuẩn máy đo rò rỉ màng lọc Hepa
Máy đo rò rỉ màng lọc Hepa là một thiết bị đo lường đóng vai trò quan trọng trong thẩm định phòng sạch ( clean room ). Thiết bị này được thiết kế tiên tiến với các cảm biến tinh vi, cho kết quả có độ chuẩn xác cao. Do đó, việc hiệu chuẩn thiết bị này định kỳ là vô cùng quan trọng và cần thiết. Hiệu chuẩn sẽ giúp đánh giá chính xác tình trạng hoạt động của thiết bị. Bên cạnh đó, qua việc hiệu chuẩn còn giúp phát hiện sớm những hư hỏng của thiết bị đo ( nếu có ) để có phương án sửa chữa phù hợp.
1.2 Các phương tiện tham gia hiệu chuẩn
Các phương tiện tham gia hiệu chuẩn máy đo độ rò rỉ màng lọc Hepa gồm:
– Lưu lượng kế chuẩn có dải đo đến 30L/phut: BIOS Defender 520 /ALICAT PCU hoặc tương tự
– Quang kế sol khí tham chiếu
– Thiết bị tạo sol khí
– Nguồn khí nén
1.3 Điều kiện môi trường hiệu chuẩn máy đo rò rỉ màng lọc Hepa
Cần tuân thủ theo điều kiện môi trường hiệu chuẩn sau:
– Nhiệt độ: (20 ÷ 25)ºC
– Độ ẩm: (30 ÷ 65)%RH
1.4 Chuẩn bị hiệu chuẩn
– Đảm bảo phương tiện đo phải sạch sẽ và không có hư hại gây ảnh hưởng đến việc sử dụng hoặc hiệu chuẩn.
– Kết nối phương tiện đo với nguồn điện phù hợp, bật nguồn và đợi làm nóng theo hướng dẫn nhà sản xuất.
– Kiểm tra mức dầu PAO/DOP của thiết bị tạo sol khí ở mức quy định.
– Bật nguồn thiết bị tạo sol khí, kết nối với nguồn khí nén, van đầu ra dầu PAO/DOP ở trạng thái đóng. Dùng van điều áp để chỉnh áp suất đầu ra khoảng 5~20PSI.
– Kỹ thuật viên phải làm quen với quy trình hiệu chuẩn, hướng dẫn sử dụng phương tiện đo trước khi thực hiện hiệu chuẩn.
1.5 Tiến hành hiệu chuẩn
1.5.1 Kiểm tra điểm 0
– Cài đặt chức năng tự làm sạch của phương tiện đo, giá trị đo rò rỉ phải gần mức 0.000%
– Dựa theo hướng dẫn nhà sản xuất, cài về 0 cho độ rò rỉ nếu cần thiết
1.5.2 Kiểm tra lưu lượng
– Kết nối cổng dưới của phương tiện đo với lưu lượng kế chuẩn bằng ống khí phù hợp.
– Nhấn nút DOWNSTREAM trên phương tiện đo.
– Ghi nhận giá trị đo của lưu lượng kế chuẩn và so sánh với giá trị đọc của phương tiện đo, ở xấp xỉ 28.3Lit/phut. Ghi nhận ít nhất 10 giá trị đọc bằng các máy quay, phần mềm.
– Khi quá trình hiệu chuẩn lưu lượng hoàn tất, bấm nút CLEAR trên phương tiện đo, ngắt kết nối với lưu lượng kế chuẩn.
1.5.3 Kiểm tra độ rò rỉ dầu PAO/DOP
– Thực hiện với dầu PAO trước, sau đó đến dầu DOP nếu có.
– Cài đặt điểm tham chiếu nồng độ ở 100µg/L, dầu PAO cho UUT và thiết bị tham chiếu.
– Nhấn nút DOWNSTREAM cho cả 2 thiết bị.
– Mở van dầu PAO trên thiết bị tạo sol khí, kết nối đầu ra với cổng dưới của thiết bị tham chiếu.
– Dùng van điều áp để chỉnh áp suất sao cho giá trị đọc trên thiết bị tham chiếu ở mức 10% rò rỉ. Đợi kết quả đo ổn định, ghi nhận 10 giá trị đo lặp lại bằng máy quay, phần mềm thu thập dữ liệu.
– Chuyển đầu ra của thiết bị sol khí từ thiết bị tham chiếu đến thiết bị cần kiểm, cũng ở cổng dưới. Đợi kết quả đo ổn định, ghi nhận 10 giá trị đo lặp lại bằng máy quay, phần mềm thu thập dữ liệu.
– Sau khi hoàn thành điểm này, nhấn nút CLEAR trên phương tiện đo. Đóng van đầu ra của thiết bị tạo sol khí.
– Thực hiện tương tự cho các điểm rò rỉ 50%, 100%.
– Lặp lại các thao tác đo trên cho dầu DOP.
– Khi quá trình hiệu chuẩn hoàn tất, ngắt tất cả kết nối, tắt nguồn và bảo quản các thiết bị.
