Keysight E5270B là mainframe đo I-V chính xác 8 khe: bạn mua một khung máy rồi tự chọn module SMU cắm vào. Hai chiếc E5270B có thể khác nhau hoàn toàn: 8 kênh 100 V đo dòng rò femtoampe, hoặc 4 kênh 200 V / 1 A. Bài này đặt E5270B cạnh các thiết bị phân tích thông số bán dẫn Keysight gần nó nhất: E5260A, B1500A và SMU để bàn họ B2900, rồi đi qua cách chọn module. Số liệu lấy từ data sheet 5989-1355EN và trang Keysight.
Keysight E5270B nằm ở đâu giữa các thiết bị phân tích thông số bán dẫn Keysight?
Keysight xếp E5270B cùng nhóm với E5260A trong dòng SMU dạng module. Cả hai đều là khung 8 khe, nhưng hướng khác nhau: E5260A ưu tiên tốc độ đo, còn E5270B ưu tiên độ phân giải dòng. B1500A là máy phân tích linh kiện bán dẫn đầy đủ hơn, còn B2900 là SMU để bàn một hoặc hai kênh. Số liệu tiêu đề theo Keysight:
| Model | Dạng máy | Số kênh / khe | Điện áp / dòng tối đa | Độ phân giải dòng nhỏ nhất |
|---|---|---|---|---|
| E5270B | Mainframe module, điều khiển từ PC | 8 khe | 200 V / 1 A | 0,1 fA (HRSMU + ASU) |
| E5260A | Mainframe module, tốc độ cao | Tới 8 kênh | 200 V / 1 A | 5 pA |
| B1500A | Máy phân tích linh kiện, màn hình cảm ứng 15 inch | Tới 10 khe | 1 A DC / 3 A xung | 0,1 fA |
| B2912C | SMU để bàn | 2 kênh | 210 V / 3,0 A DC, 10,5 A xung | 10 fA |
Điểm khác biệt lớn nhất là chiều rộng chức năng. E5270B chỉ làm I-V một chiều: đo điểm, quét và quét xung với độ rộng xung tối thiểu 500 µs. B1500A làm thêm C-V và I-V xung nhanh. Bài đo đặc tính linh kiện bán dẫn với Keysight B1500A mô tả kỹ các phép đo đó.
E5270B thông số theo từng loại module SMU
Với E5270B, hầu hết thông số quan trọng nằm ở module chứ không ở khung máy. Data sheet liệt kê bốn mã:
- E5280B HPSMU (SMU công suất cao): chiếm 2 khe, ±200 V, ±1 A, độ phân giải đo 2 µV và 10 fA. Dòng tối đa giảm theo điện áp: 1 A tới 20 V, 500 mA tới 40 V, 125 mA tới 100 V và 50 mA tới 200 V.
- E5281B MPSMU (SMU công suất trung bình): 1 khe, ±100 V, ±100 mA, độ phân giải 0,5 µV và 10 fA. Dòng tối đa 100 mA tới 20 V, 50 mA tới 40 V, 20 mA tới 100 V.
- E5287A HRSMU (SMU độ phân giải cao mức atto): 1 khe, ±100 V, ±100 mA, độ phân giải 0,5 µV và 1 fA. Thang dòng thấp nhất khi không có ASU là ±10 pA.
- E5288A ASU (bộ cảm biến atto và chuyển mạch): nối với E5287A, đưa độ phân giải xuống 0,1 fA, mở thang ±1 pA và cho phép chuyển đường SMU/AUX. Ở thang 1 pA, độ chính xác đo là ±(1,8 % + 12 fA) với ADC độ phân giải cao.
Lưu ý khi đọc thông tin rao bán: con số “0,1 fA” chỉ đạt được khi có cặp HRSMU + ASU. Bản thân HRSMU dừng ở 1 fA, còn MPSMU và HPSMU ở 10 fA. “200 V / 1 A” là của HPSMU và không xảy ra cùng lúc.
Khung máy cung cấp phần dùng chung: khối đất tích cực GNDU giữ 0 V ±100 µV và hút dòng tới 4 A, ADC tốc độ cao riêng cho từng SMU cùng một ADC độ phân giải cao dùng chung, cổng GPIB, trigger vào/ra và digital I/O. Tổng công suất module tối đa 80 W, và Keysight ghi rõ không có tổ hợp HPSMU, MPSMU, HRSMU nào vượt được giới hạn này. Khung máy nặng 17 kg khi chưa có module, chu kỳ hiệu chuẩn 1 năm.
Cách chia 8 khe: ba cấu hình mẫu
Quy tắc là 8 khe, HPSMU chiếm 2 khe, các module khác chiếm 1 khe. Tức là tối đa 8 module một khe, tối đa 4 HPSMU, hoặc bất kỳ tổ hợp nào vừa đủ chỗ. Ba cách chia hay gặp:
- Đo dòng rò và linh kiện CMOS: 4 HRSMU (trong đó các kênh nối cực cổng và cực máng có thêm ASU) cộng 2 HPSMU cho nguồn nuôi hoặc điện áp cao, dùng đủ 8 khe.
- Cấu trúc thử nghiệm nhiều đầu dò trên wafer: 8 MPSMU hoặc trộn MPSMU với HRSMU, cho 8 kênh ±100 V độc lập.
- Linh kiện công suất nhỏ, LED, diode: 4 HPSMU cho 4 kênh ±200 V / ±1 A.
Khi cấu trúc thử nghiệm nhiều chân hơn số kênh, EasyEXPERT group+ điều khiển ma trận chuyển mạch B2200A, B2201A và E5250A để luân chuyển kênh.
Khi nào chọn E5260A, B1500A hay SMU B2900 thay cho E5270B?
E5260A: cần tốc độ, không cần femtoampe
E5260A có cùng khung 8 kênh, 200 V, 1 A nhưng độ phân giải dòng nhỏ nhất là 5 pA và độ phân giải áp 100 µV, so với 0,1 fA và 0,5 µV của E5270B. Nếu phép đo nằm từ vùng nanoampe trở lên, E5260A hợp lý hơn; dòng rò dưới picoampe cần E5270B.
B1500A: cần C-V hoặc I-V xung nhanh
B1500A có tới 10 khe, đo được I-V, C-V và I-V xung nhanh, có màn hình cảm ứng 15 inch để phân tích ngay trên máy. Cả hai máy dùng cùng phần mềm EasyEXPERT group+, nên quy trình đo viết cho E5270B có thể chuyển sang B1500A. Xem thêm bài đo tham số bán dẫn trên wafer theo quy trình WLR.
B2900: chỉ cần một hai kênh trên bàn
Nếu thiết bị đo chỉ có hai cực hoặc ba cực, một SMU để bàn như B2912C (2 kênh, 210 V, 3,0 A DC, 10,5 A xung, độ phân giải 10 fA) gọn hơn và cho dòng lớn hơn HPSMU. Lưu ý B2912B nay được Keysight đánh dấu ngừng sản xuất, thay bằng B2912C. Xem thêm so sánh các model SMU họ B2900B.
Đo xung, tích phân và điều khiển từ xa
E5270B không phải máy xung nhanh nhưng đủ để hạn chế tự nung. Độ rộng xung từ 500 µs tới 2 s, chu kỳ từ 5 ms tới 5 s, độ phân giải xung 100 µs. Ở chế độ chính xác, ADC độ phân giải cao tích phân 1 PLC cho thang 1 nA tới 1 A, 20 PLC cho thang 100 pA và 50 PLC cho thang 1 pA tới 10 pA. Thang càng thấp, mỗi điểm đo càng lâu.
Về điều khiển, E5270B dùng bộ lệnh FLEX qua GPIB (kèm sẵn bộ chuyển USB-GPIB), phù hợp khi tích hợp vào giá máy đo tự động. Ở chế độ phân tích, EasyEXPERT group+ chạy trên PC của người dùng, cài được trên nhiều PC không tính thêm phí, có chế độ chạy bài đo từ xa qua LAN.
Tình trạng sản phẩm, hiệu chuẩn và E5270B giá
Tại thời điểm biên soạn (10/2026), trang sản phẩm E5270B và trang dòng E5260A/E5270B của Keysight không có thông báo ngừng sản xuất và vẫn hiển thị lựa chọn yêu cầu báo giá. Nên xác nhận tình trạng cung cấp của từng module trước khi đặt hàng.
Techmaster Electronics là đại lý ủy quyền Keysight tại Việt Nam, có phòng hiệu chuẩn đạt ISO/IEC 17025, hỗ trợ cấu hình module theo cấu trúc thử nghiệm của bạn. Về E5270B giá, mỗi cấu hình module, ASU và cáp triax khác nhau nên vui lòng liên hệ báo giá E5270B theo cấu hình cụ thể. Xem chi tiết tại trang máy phân tích I-V chính xác Keysight E5270B hoặc danh mục thiết bị đo Keysight.
Tóm tắt chọn cấu hình
- Chỉ cần I-V một chiều, nhiều kênh, dòng dưới picoampe: E5270B với HRSMU, thêm ASU cho các kênh cần 0,1 fA.
- I-V nhiều kênh, ưu tiên tốc độ, dòng từ nanoampe trở lên: E5260A.
- Cần thêm C-V hoặc I-V xung nhanh, muốn phân tích trên máy: B1500A.
- Một hoặc hai kênh, dòng tới 3 A DC: B2912C.
Khi đã chọn E5270B, hãy liệt kê số chân, điện áp và dòng lớn nhất, dòng nhỏ nhất cần đo trên từng chân: ba con số đó quyết định số HPSMU, MPSMU, HRSMU và ASU cần mua.
