English
Dòng máy quang phổ di động ion giám sát AMC AirSentry II về ô nhiễm phân tử trong không khí (AMC) từ Particle Measuring Systems phát hiện và cảnh báo người dùng về nồng độ nhỏ hoặc những thay đổi về mức độ trong không khí của clorua, axit, amin và các chất có chứa amoniac. Với độ nhạy phần triệu tỷ (ppt), các cảm biến điểm sử dụng này cung cấp phản hồi nhanh, tăng khả năng chọn lọc phát hiện và hiệu suất lặp lại. Kết hợp các cảm biến Air Sentry II với nền tảng phần mềm trung tâm cho phép thu thập và phân tích dữ liệu dễ dàng. Dòng cảm biến ô nhiễm phân tử trong không khí AirSentry II cung cấp dữ liệu có thể hoạt động liên tục, để cho phép ứng phó hiệu quả với các nguồn ô nhiễm và sự kiện.
Đọc thêm
Dòng thiết bị AMC của AirSentry II được bao gồm trong các sản phẩm “Độ nhạy hàng đầu trong ngành” của Particle Measuring Systems. Điều này có nghĩa là không có sản phẩm nào trên thị trường nhạy cảm hơn những sản phẩm này và chỉ PMS cung cấp dòng sản phẩm bao gồm nhiều yếu tố giám sát sản xuất này. PMS hiện đang dẫn đầu thị trường về giám sát hiệu suất, độ nhạy và độ tin cậy trong các lĩnh vực Giám sát ô nhiễm phân tử nước, hóa chất và trong không khí siêu tinh khiết. Kiến thức, công nghệ và dịch vụ vượt trội của PMS cung cấp cho các công ty sản xuất Hóa chất và Công nghệ cao những công cụ tiên tiến nhất để đưa ra các quyết định dựa trên dữ liệu chính xác, cải thiện cả hiệu suất và năng suất.
Tính năng
- Phát hiện axit và bazơ có độ nhạy cao (axit, amin, amoniac và clorua)
- Cấu hình sản phẩm linh hoạt cho các ứng dụng giám sát ô nhiễm phân tử
- trong không khí tại một điểm sử dụng, đa điểm và di động
- Kích thước nhỏ gọn cho phép đặt ở bất kỳ vị trí nào
- Đầu ra Ethernet, RS-232, 4-20 mA
Lợi ích
- Giám sát ô nhiễm phân tử trong không khí (AMC) liên tục tại các vị trí quan trọng
- Thu thập, kiểm soát và phân tích dữ liệu mạnh mẽ và đáng tin cậy
- Ổn định dữ liệu lâu dài
- Chi phí mỗi lần kiểm tra thấp nhất
Ứng dụng
- Giám sát ăn mòn theo thời gian thực trong các vị trí xử lý etch
- Giám sát amin và amoniac theo thời gian thực trong các hệ thống in thạch bản quan trọng
- Định lượng hiệu quả lọc hóa học
- Theo dõi và khắc phục sự cố các nguồn ô nhiễm phân tử trong không khí trong phòng sạch và trong các công cụ xử lý
- Phân tích ô nhiễm phân tử trong không khí (AMC) trong các mô-đun lưu trữ wafer FOUP
Vật liệu hỗ trợ
Ghi chú ứng dụng & tài liệu quảng cáo
Airborne Molecular Contamination (AMC) Control in Advanced Lithography Applications >
Airborne Molecular Contamination Monitoring Optimized for Lithography >
Ensuring AMC Airborne Molecular Contamination Control in Clean Manufacturing Environments >
AirSentry® II Molecular Contamination Analyzers Calibration and Troubleshooting >
FAQs
Phụ kiện có sẵn
Máy bơm chân không AMC
Máy bơm điện độc lập cung cấp nguồn chân không phù hợp cho cảm biến AirSentry II POU. Thường được sử dụng khi không có máy hút bụi trong nhà.
Facility Net
Phần mềm Facility Net cung cấp giải pháp giám sát môi trường toàn diện, bao gồm hiển thị dữ liệu lịch sử và thời gian thực. Tương thích với máy đếm hạt tiểu phân và máy giám sát ô nhiễm phân tử của Particle Measuring Systems, cũng như các sản phẩm khác nhau của bên thứ ba.
Sản phẩm liên quan
Hệ thống phát hiện AMC di động AirSentry® II
Được thiết kế để tăng cường các chương trình giám sát AMC, AirSentry II Mobile AMC Monitor là hệ thống di động thực đầu tiên để giám sát ô nhiễm phân tử trong không khí trong phòng sạch. Tính di động đóng một vai trò quan trọng trong chương trình giám sát ô nhiễm phân tử trong không khí chiến lược, cho phép nhanh chóng xác định vị trí, định lượng và loại bỏ các nguồn gây ô nhiễm.
Giám sát phóng sạch AMC: Hệ thống đa điểm AirSentry® II
Giám sát phòng sạch AMC tốt nhất hiện có, sử dụng phép đo quang phổ di động ion nhạy và nhạy để phát hiện và mô tả ô nhiễm phân tử trong không khí từ nhiều vị trí trong phòng sạch. Giải pháp của Particle Measuring Systems này có hệ thống lấy mẫu đa tạp 16 hoặc 30 điểm và một máy tính tích hợp với phần mềm và thông tin liên lạc bảo mật.
