Bộ điều khiển lưu lượng nước siêu tinh khiết PMS Flow Control
Particle Measuring Systems
Ổn định lưu lượng UPW cho máy đếm hạt dung dịch, đảm bảo độ chính xác phép đo.
Xem chi tiếtỨNG DỤNG · BÁN DẪN
Đo Tiểu Phân Trong Nước Siêu Tinh Khiết (UPW)
Giám sát độ sạch nước siêu tinh khiết bảo vệ yield cho nhà máy bán dẫn — máy đếm hạt dung dịch Ultra DI & HSLIS, từ Particle Measuring Systems, phân phối chính thức tại Việt Nam bởi Techmaster.
Industry-Leading Sensitivity
Độ nhạy vượt trội cho nước siêu tinh khiết
20 nm
Ultra DI · UPW
7 nm
HSLIS M50e · fab tiên tiến
24/7
Giám sát realtime
Danh Mục Sản Phẩm
Sản phẩm đo tiểu phân nước UPW
Chọn theo độ nhạy yêu cầu và mô hình triển khai — Techmaster tư vấn cấu hình tối ưu.
Máy đếm hạt dung dịch UPW (Ultra DI, HSLIS)
Nhóm sản phẩm · Liquid PC
Xem dòng máy đếm hạt nước siêu tinh khiết Ultra DI & HSLIS M50e.
Xem nhómFAQ
Câu hỏi thường gặp
Vì sao phải đo tiểu phân trong nước siêu tinh khiết?
UPW tiếp xúc trực tiếp bề mặt wafer; tiểu phân trong nước bám lên wafer gây lỗi mạch, nên cần giám sát liên tục độ sạch để bảo vệ năng suất.
Đo được hạt nhỏ tới đâu trong UPW?
Ultra DI đo tới 20nm và HSLIS M50e tới 7nm, đáp ứng yêu cầu các nút công nghệ bán dẫn tiên tiến.
Vì sao cần bộ điều khiển lưu lượng?
Kết quả đếm hạt phụ thuộc lưu lượng qua sensor; Flow Control giữ lưu lượng ổn định để đảm bảo độ chính xác và lặp lại.
Tư vấn giải pháp giám sát UPW cho fab của bạn
Kỹ sư Techmaster Vietnam tư vấn miễn phí cấu hình đo tiểu phân nước siêu tinh khiết và demo tại site.
