English
Đặc điểm của các yếu tố quan trọng ảnh hưởng đến thời gian ổn định của việc đo hạt trong hệ thống nước siêu tinh khiết
Tóm tắt
Việc đo hạt trong hệ thống nước siêu tinh khiết (UPW) có thể mất một thời gian đáng kể để trở lại mức cơ sở ổn định sau khi xảy ra sự cố làm gián đoạn hoạt động bình thường (như tắt máy bảo dưỡng). Một nghiên cứu đặc trưng đã được tiến hành để đánh giá sự đóng góp của các yếu tố quan trọng đến thời gian ổn định của đo hạt trong UPW cho các hạt có kích thước 20 nm trở lên. Kết quả cho thấy các hoạt động xâm nhập như lắp đặt ống mẫu và các thành phần mới gây ảnh hưởng lớn nhất đến thời gian ổn định. Ngược lại, các hoạt động không xâm nhập như việc điều khiển van PTFE và PFA và giai đoạn khởi động thông thường của máy đếm hạt có ảnh hưởng ít hơn nhiều. Nghiên cứu cũng cho thấy các biện pháp cụ thể như xả đủ ống mẫu và các thành phần mới và giảm thiểu độ dài ống mẫu có thể mang đến hiệu quả giảm thời gian làm sạch hạt.
Trong trang này, máy đếm hạt tiểu phân trong dung dịch Ultra-DI 20 được sử dụng để mô tả thời gian làm sạch sau nhiều hoạt động khác nhau.
