Thử thách đếm hạt tiểu phân: Hóa chất sủi bọt và nóng

Việc đếm hạt tiểu phân trong các hóa chất xử lý, đặc biệt là các hóa chất xử lý sủi bọt và nóng được sử dụng trong ngành công nghiệp bán dẫn, đặt ra những thách thức đặc biệt khi cố gắng đo mức độ tập trung của hạt. Máy lấy mẫu dung dịch nén được sử dụng rộng rãi cho cả lấy mẫu hàng loạt di động và lấy mẫu trực tuyến liên tục của các hóa chất này vì khả năng kiểm soát sự hình thành bong bóng và giảm thiểu ảnh hưởng của chúng đến dữ liệu kết quả. Máy lấy mẫu cũng cung cấp khả năng kiểm soát quá trình chặt chẽ hơn bằng cách giám sát gần với sản phẩm, như trong trường hợp sản xuất băng ghế ướt.

Máy lấy mẫu dung dịch phải được tối ưu hóa cho hóa chất quan tâm dựa trên độ nhớt, tỷ trọng, áp suất hơi và độ sủi bọt của nó. Các thông số vật lý như vị trí của bộ lấy mẫu từ nguồn hóa chất, chiều dài và đường kính của ống mẫu, và sự thay đổi độ cao chất lỏng sẽ ảnh hưởng đến cài đặt của bộ lấy mẫu, do đó phải được xem xét. Không có gì lạ khi một bộ lấy mẫu duy nhất được sử dụng với năm đến mười hóa chất khác nhau có các đặc tính vật lý rất khác nhau. Thách thức rộng lớn này đòi hỏi người vận hành thiết bị phải hiểu rằng kỹ thuật là yếu tố quan trọng quyết định đến sự thành công hay thất bại của phép đo. Các chuyên gia từ Particle Measuring Systems (PMS) thảo luận về các hướng dẫn chung dựa trên kinh nghiệm thực địa để định cấu hình và tối ưu hóa hiệu suất của bộ lấy mẫu nén chất lỏng. Một cuộc thảo luận chi tiết xác định một trình tự đã được chứng minh để tối ưu hóa bộ lấy mẫu nén được đưa ra, cũng như các cấu hình đề xuất cho các hóa chất quy trình phổ biến nhất.