Bài viết này, được viết bởi Nora Colligan, Samsung Austin Semiconductor, tập trung vào cách tiếp cận toàn diện để giám sát các hạt trong hóa chất siêu tinh khiết từ nhà cung cấp đến bề mặt tấm wafer. Khi các kích thước quan trọng thu hẹp lại, sự hiểu biết này sẽ trở nên rất quan trọng đối với việc làm sạch thiết bị, quy trình và hệ thống phân phối hóa chất cung cấp chúng. Công nghệ tiên tiến trong khả năng giám sát hạt đã làm cho nó có thể đo đếm các hạt tiểu phân trong dung dịch có kích thước tương tự như phép đo hạt wafer, cho phép tạo ra cơ hội tạo ra mối tương quan của cả hai. Bài báo này trình bày các ví dụ về cơ hội cải tiến hạt trong tất cả các khía cạnh của chuỗi cung ứng, từ nhà cung cấp đến điểm sử dụng. Do sự phức tạp của các hệ thống này, có nhiều cơ hội hơn cho việc theo dõi hạt để hoàn thành mối tương quan giữa số lượng hạt tiểu phân trong dung dịch với mức độ hạt wafer, và cuối cùng là năng suất wafer.

Quan tâm đến việc tìm hiểu thêm? Hoàn thành biểu mẫu tại đây để nhận được tư vấn chuyên gia.