Các phép đo hạt trong nước siêu tinh khiết có thể mất nhiều thời gian để trở về mức cơ bản ổn định sau khi có sự cố gây ra gián đoạn. Tìm hiểu các yếu tố ảnh hưởng đến thời gian ổn định.
Các hệ thống nước siêu tinh khiết (UPW) hiện đại phải được lọc để đáp ứng các tiêu chuẩn ngày càng khắt khe của quy trình sản xuất cao cấp. Người ta thường thấy các hệ thống UPW cao cấp chứa nồng độ hạt ở phạm vi hạt/ml một chữ số hoặc thấp hơn đối với các hạt lớn hơn 20 nm. Việc giám sát các hạt trong hệ thống UPW là rất quan trọng để đảm bảo mức hạt vẫn ở trong mức giới hạn kiểm soát chấp nhận được và không gây ảnh hưởng đến sản xuất.
Khi mức hạt “baseline” ở trạng thái ổn định thấp, những yêu tố có thể gây ảnh hưởng là: thời gian cần thiết để số lượng hạt trở về mức cơ bản, và những gián đoạn lớn như việc ngừng hoạt động để thực hiện bảo trì và lắp đặt các bộ phận mới hoặc dây chuyền lấy mẫu cho máy hoạt động bình thường. Khi mức độ hạt phần tử ở trạng thái ổn định “cơ sở” thấp, thời gian để số hạt phần tử trở lại mức cơ sở có thể đáng kể và có thể do các gián đoạn lớn như tắt máy để thực hiện bảo dưỡng và lắp đặt các thành phần mới hoặc đường ống lấy mẫu vào hoạt động thường xuyên của hệ thống. Tùy thuộc vào quy mô và độ phức tạp của hệ thống, thời gian ổn định có thể kéo dài vài tuần hoặc thậm chí vài tháng. Ngoài ra, máy đếm hạt có độ nhạy cao cần thiết để theo dõi mức hạt trong hệ thống UPW cần thời gian để đạt được nhiệt độ hoạt động ổn định sau khi bật nguồn. Trong giai đoạn khởi động ban đầu này, số lượng hạt được máy đếm hạt báo cáo có thể tạm thời tăng lên trước khi giảm xuống mức thực tế khi thiết bị đạt đến ổn định nhiệt độ.
Ghi chú ứng dụng này trình bày kết quả đánh giá được thực hiện bằng Máy đếm hạt trong dung dịch Ultra DI® 20 (UDI-20) để nghiên cứu các yếu tố khác nhau ảnh hưởng đến thời gian ổn định của phép đo hạt trong hệ thống UPW. Các yếu tố được kiểm tra bao gồm thời gian khởi động sau khi bật nguồn, ảnh hưởng của việc ngắt kết nối và kết nối lại các ống mẫu cũng như làm mới kết nối flared, thời gian làm sạch sau khi lắp đặt các ống mẫu mới có độ dài khác nhau và thời gian làm sạch sau khi lắp đặt van màng PFA mới. Những phát hiện này sẽ giúp người dùng hiểu được tại sao hệ thống UPW có thể mất một lượng thời gian đáng kể để làm sạch sau khi bị gián đoạn, và yếu tố nào có thể có ảnh hưởng đáng kể nhất.
Trong bài viết này, Máy đếm trong dung dịch Ultra-DI 20 được sử dụng để mô tả thời gian làm sạch sau nhiều hoạt động khác nhau.