Bài báo kỹ thuật

Chương trình giám sát hạt: Bể xử lý dung dịch nóng

Sơ lược

Việc kiểm soát ô nhiễm trong toàn bộ môi trường sản xuất đòi hỏi phải có dữ liệu chính xác về mức độ hạt và các chất ô nhiễm khác trong thiết bị chế biến. Trước đây, việc lấy các phép đo như vậy đối với các bể xử lý dung dịch nóng đặc biệt khó khăn. Bài viết này trình bày kinh nghiệm của Micron Semiconductor với particle counting system được phát triển để sử dụng với các dung dịch mạnh như vậy. Hoạt động của máy đếm được xem xét và dữ liệu từ chương trình giám sát hàng tuần của công ty được đưa ra như một phần của cuộc thảo luận về các cải tiến đã được thực hiện. Kế hoạch của Micron để mở rộng việc sử dụng máy đếm cũng được vạch ra.