Author Archives: Khanh Nguyen

Giám sát hạt trong isolator và RABS: chọn cảm biến sống được với chu trình VHP

Đặt cảm biến vào trong isolator là quyết định dễ; giữ cho nó còn đúng sau vài chục chu trình khử khuẩn bằng hơi hydrogen peroxide mới là phần khó. Bài viết tách ba chiến lược xử lý bài toán này, đối chiếu thông số công bố của bốn cấu [...]

Quy trình ướt trong fab: CMP, ăn mòn và làm sạch sinh hạt trong lỏng ở đâu

Ở các công đoạn ướt, chất lỏng sau bộ lọc cuối đi thẳng tới bề mặt wafer và không còn tầng lọc nào ở giữa. Bài viết giải thích ba họ quy trình ướt sinh hạt bằng cơ chế nào, vì sao ngưỡng đo trong lỏng phải lùi xuống vài [...]

Nhà máy chạy nhiều ca: đọc dữ liệu đếm hạt khi mỗi ca một nhịp sản xuất

Một nhà máy chạy ba ca hiếm khi chạy ba ca giống nhau, nhưng hệ giám sát hạt thường được cấu hình như thể chỉ tồn tại một trạng thái hoạt động duy nhất. Bài viết chỉ ra vì sao việc gộp dữ liệu ba ca vào một phân bố [...]

Cảm biến đếm hạt cố định 0,1 CFM: ba dòng thông số quyết định chất lượng dữ liệu 24/7

Phần lớn bảng so sánh cảm biến đếm hạt cố định dừng lại ở cỡ hạt nhỏ nhất và số kênh — hai dòng gần như giống nhau ở mọi hãng. Ba dòng thực sự phân hoá chất lượng dữ liệu liên tục nằm sâu hơn: số đếm nền cùng [...]

Chuỗi cung ứng OSAT và đóng gói bán dẫn tại Việt Nam: bản đồ hiện trạng và việc nhà máy phải chuẩn bị

Việt Nam chưa có nhà máy chế tạo wafer thương mại, nhưng đã có một cụm công nghiệp đóng gói và kiểm thử bán dẫn quy mô tỷ đô đang vận hành. Bài viết dựng lại bản đồ hiện trạng dựa trên số liệu công bố công khai kèm thời [...]

Khi hệ giám sát hạt ngừng chạy: mất điện, mất mạng và khoảng trống dữ liệu

Mọi hệ giám sát hạt liên tục đều có lúc ngừng chạy, và phần lớn nhà máy coi đó là sự cố kỹ thuật của IT hoặc bảo trì. Với một dây chuyền vô trùng thì đó là sự kiện chất lượng: có một quãng thời gian sản xuất diễn [...]

Chọn phòng hiệu chuẩn máy đếm hạt bên thứ ba: đọc phạm vi công nhận và chứng chỉ

Gần như mọi phòng hiệu chuẩn chào hàng đều nói mình có ISO 17025 — câu đó gần như không mang thông tin. Thứ quyết định chứng chỉ hiệu chuẩn máy đếm hạt của bạn có giá trị hay không nằm ở phạm vi công nhận, ở việc chứng chỉ [...]

Pha chế vô trùng tại khoa dược bệnh viện: đo hạt theo USP 797 và chọn máy

Phòng pha chế vô trùng của khoa dược bệnh viện không phải nhà máy dược thu nhỏ: nhỏ hơn nhiều, chạy theo đợt ngắn, do dược sĩ vận hành và ngân sách thiết bị đo hạn chế. Bài viết dựng lại khung cấp sạch mà loại phòng này phải đạt [...]

Nước siêu tinh khiết trong fab: vì sao ngưỡng đo hạt dừng ở 20 nm

Ngành bán dẫn đang ở một tình thế kỳ lạ: cỡ hạt đủ sức giết một con chip đã lùi xuống dưới 5 nm, trong khi thiết bị đo hạt trong nước tốt nhất còn dừng ở khoảng 20 nm với hiệu suất đếm hạn chế. Bài viết giải thích [...]

Bộ SOP cho chương trình giám sát hạt: viết gì, tách ra sao và bảo trì thế nào

Phần lớn nhà máy đều có một tập tài liệu tên là SOP giám sát tiểu phân, và phần lớn tập tài liệu đó được viết một lần lúc nghiệm thu rồi để nguyên nhiều năm trong khi hệ thống thực tế đã đổi cảm biến, đổi điểm lấy mẫu [...]