Giám sát dung dịch di động tại chỗ

Giám sát hạt tiểu phân theo lô tại chỗ (ISPM) cung cấp hiệu quả nhanh chóng và hiệu quả về chi phí cho các công cụ xử lý ẩm ướt sau khi thay đổi hóa chất hoặc thay thế bộ lọc. Trong các ứng dụng này, máy đếm hạt tiểu phân được gắn trên xe đẩy và di chuyển từ vị trí mẫu này sang vị trí mẫu khác. Phương pháp lấy mẫu di động này tối đa hóa việc sử dụng mỗi máy đếm hạt tiểu phân và cung cấp thông tin về độ nhiễm bẩn của hạt trong thời gian thực để cải thiện việc sử dụng công cụ quy trình.

Không giống như các tấm thử nghiệm quét bề mặt truyền thống, ISPM đặc trưng cho sự nhiễm bẩn trong các bồn tắm riêng lẻ đang được duy trì. Với ISPM, các mẫu có thể được lấy trực tiếp từ bể xử lý (hình 1) mà không cần sửa đổi đặc biệt đối với công cụ xử lý hoặc mất nhiều thời gian. Bài viết này giải thích việc sử dụng và lợi ích của ISPM lỏng di động, đặc biệt là ứng dụng của chúng trong ngành bán dẫn và các ngành sản xuất tương tự.