Thiết bị đa tạp thông minh ParticleSeeker™

ParticleSeeker là thiết bị đồng hành đa tạp thông minh 10 cổng với máy đếm hạt nano aerosol NanoAir™.

ParticleSeeker là thiết bị đồng hành đa tạp thông minh 10 cổng với máy đếm hạt nano aerosol NanoAir™ 10. Được thiết kế đặc biệt để sử dụng trong các không gian fab quan trọng nhất, nó có sẵn để sử dụng trong các ứng dụng yêu cầu nhiều vị trí mẫu phải được giám sát theo trình tự tuần tự hoặc được lập trình. ParticleSeeker cho phép giám sát bên trong các môi trường thu nhỏ của Mô-đun giao diện người dùng (EFEM) của thiết bị công cụ xử lý. Cùng với nhau, ParticleSeeker và NanoAir 10 cung cấp khả năng giám sát lên đến 120m2 không gian chế tạo/xử lý khi sử dụng tất cả 10 cổng đa dạng.
Tải bảng thông số kỹ thuật Yêu cầu báo giá

Tính năng

  • 10 điểm đa dạng
  • Lưu lượng mẫu: 0,1 CFM
  • Khoảng thời gian lấy mẫu: Tối thiểu 1 giây, Tối đa 3600 giây
  • Phạm vi lấy mẫu không gian fab/xử lý lên đến 120m2
  • Đèn LED cho biết (các) cổng lấy mẫu đang hoạt động
  • Nhiều (4) chế độ lấy mẫu » Đồng bộ: lấy mẫu đồng thời tất cả các cổng » Seeker: nhắm mục tiêu bất kỳ cổng nào được xác định trong quá trình vận hành đồng bộ » Đồng bộ hóa: giao tiếp với công cụ xử lý trong thời gian thực để giám sát quy trình fab (đường dẫn wafer) thông qua các công cụ xử lý và môi trường thu nhỏ » Do người dùng xác định
  • Kích thước nhỏ: 8,2 x 5,4 x 4,7 inch (21x14x12 cm)
  • Địa chỉ IP của thiết bị và các vị trí ở lại với trạm cơ sở cho phép nó trao đổi với thời gian ngừng hoạt động tối thiểu (< 5 phút)
  • Chuyển tiếp Dry Contact (x4)
  • Đầu vào tương tự 4-20mA (x4) và đầu ra (x2) cho các cảm biến bổ sung (ví dụ: nhiệt độ, RH, DAP)
  • Cổng USB
  • Cổng Ethernet (2): Giao thức Ethernet & MODBUS qua TCP/IP

Lợi ích

  • Cung cấp phạm vi lấy mẫu không gian fab/xử lý rộng 120m2
  • Chỉ ống góp hạt aerosol trên thị trường được thiết kế và chế tạo có mục đích sử dụng với các hạt nano mẫu (<100nm).
  • Loại bỏ nhiễu xuyên âm và các vấn đề xử lý vận chuyển hạt nano phổ biến khác
  • Khả năng giám sát nhiều vị trí mẫu theo trình tự liên tục hoặc được lập trình
  • Nhiều giao diện truyền thông đầu vào/đầu ra cho phép truyền dữ liệu SCADA liền mạch giúp giảm thời gian ngừng hoạt động của công cụ xử lý
  • Các cổng nguồn DC (x2) cho phép ParticleSeeker chia sẻ nguồn điện với NanoAir

Ứng dụng

ParticleSeeker + NanoAir 10 (máy đếm hạt tiểu phân aerosol):

  • Giám sát môi trường thu nhỏ của công cụ quy trình bên trong Mô-đun giao diện người dùng thiết bị (EFEM)
  • Lý tưởng cho các ứng dụng yêu cầu giám sát điểm mẫu được lập trình theo đường dẫn của wafer hoặc bề mặt quan trọng khác
  • Giám sát ô nhiễm rộng khi sử dụng nhiều cổng đa tạp

Vật liệu hỗ trợ

Phụ kiện có sẵn

Facility Net

Facility Net Software cung cấp giải pháp giám sát môi trường toàn diện, bao gồm hiển thị dữ liệu lịch sử và thời gian thực. Tương thích với máy đếm hạt tiểu phân và máy giám sát ô nhiễm phân tử của Particle Measuring Systems, cũng như các sản phẩm khác nhau của bên thứ ba.

Sản phẩm liên quan

Độ nhạy của CPC với đặc tính dễ sử dụng và chức năng của máy đếm hạt phòng sạch truyền thống. Mục đích xây dựng để giám sát liên tục trong năm.

Hiển thị dữ liệu lịch sử và thời gian thực cho tất cả các máy đếm hạt tiểu phân của Particle Measuring Systems, máy giám sát ô nhiễm phân tử và các sản phẩm đa dạng của bên thứ ba.

Máy đếm hạt tiểu phân trong hóa chất 20 nm đầu tiên trên thế giới, phát hiện nồng độ hạt lớn hơn với số liệu thống kê tốt hơn so với các sản phẩm cạnh tranh.

Máy đếm hạt tiểu phân true .1 micron duy nhất, cung cấp phép đo thời gian thực các hạt ảnh hưởng đến năng suất với ba cấu hình.

Máy đếm hạt tiểu phân true .1 micron duy nhất, cung cấp phép đo thời gian thực các hạt ảnh hưởng đến năng suất với ba cấu hình.

Dòng máy quang phổ di động ion AirSentry II giám sát AMC về ô nhiễm phân tử trong không khí (AMC) từ Particle Measuring Systems phát hiện và cảnh báo người dùng về nồng độ nhỏ hoặc những thay đổi về mức độ trong không khí của clorua, axit, amin và các chất có chứa amoniac.

Bộ cảm biến hạt tiểu phân 4 kênh Airnet II đáp ứng các thông số kỹ thuật của ISO 21501-4 và EU GMP Annex 1 để đo kích thước và số lượng hạt lơ lửng trong không khí để giám sát thời gian thực các hạt gây ra khiếm khuyết.

Được thiết kế dành riêng cho hệ thống nước siêu tinh khiết, máy đếm hạt tiểu phân trong dung dịch này này có lượng mẫu thấp, thể tích mẫu lớn và hiệu quả đếm cao giúp phát hiện tạp chất ở độ nhạy 20 nm.