Máy Đếm Hạt Trong Hóa Chất PMS Chem 20
Đếm hạt 20 nm trong hóa chất quy trình bán dẫn — giám sát chất lượng hóa chất ướt
Chem 20 là máy đếm hạt trong chất lỏng cho hóa chất quy trình, phát hiện hạt từ 20 nm (PSL) với 4 kênh (20/50/70/100 nm), lưu lượng 35 ml/phút. Vật liệu tiếp xúc chịu hóa chất — giám sát chất lượng hóa chất ướt (etch, CMP slurry, photoresist, axit/dung môi) theo thời gian thực.
Hình ảnh sản phẩm PRODUCT GALLERY
Thông số kỹ thuật SPECIFICATIONS
| Thông số | Giá trị |
|---|---|
| Dải đo kích thước hạt | ≥ 20 nm (PSL) |
| Số kênh đo | 4 kênh (20, 50, 70, 100 nm) |
| Lưu lượng hút | 35 ml/phút |
| Nồng độ tối đa | Chế độ phân giải cao: 2500 hạt/ml ≥ 20 nm; 1000 hạt/ml ≥ 100 nm |
| Loại mẫu | Hóa chất quy trình ướt |
| Vật liệu tiếp xúc dung dịch | Vật liệu trơ chịu hóa chất |
| Ứng dụng | Etch, CMP slurry, photoresist, axit/dung môi |
| Phần mềm | FacilityNet — giám sát thời gian thực |
ROI Calculator — Tính giá trị đầu tư Chem 20
Một sự cố nhiễm hạt trong hóa chất quy trình không được phát hiện có thể phá hủy cả lô wafer. Giám sát hóa chất thời gian thực giúp phát hiện sớm và bảo vệ năng suất.
→ Với chi phí ~$50-150K, ROI ước tính 3-6 tháng
⚠️ Ước tính tham khảo. Liên hệ Techmaster để có phân tích ROI chi tiết.
Ngành & Ứng dụng 5 USE CASES
5 ứng dụng Chem 20 giám sát hạt trong hóa chất quy trình tại nhà máy bán dẫn Việt Nam.
Hóa chất ăn mòn & làm sạch
Chem 20 giám sát hạt trong hóa chất etch/clean tiếp xúc trực tiếp wafer.
Giám sát slurry CMP
Chem 20 theo dõi phân bố hạt trong slurry CMP để kiểm soát chất lượng đánh bóng.
Hóa chất lithography
Chem 20 giám sát hạt trong photoresist và developer cho lithography.
Hệ cấp axit / dung môi
Chem 20 kiểm soát chất lượng axit và dung môi tại điểm cấp.
Pha trộn hóa chất & kiểm tra
Chem 20 kiểm tra chất lượng hóa chất sau pha trộn / trước khi phân phối.
Giám sát hóa chất online vs Lấy mẫu thủ công TẠI SAO ĐO INLINE
| Tiêu chí | Lấy mẫu thủ công | Chem 20 (online) |
|---|---|---|
| Phát hiện | Trễ, sau sự việc | Thời gian thực |
| Độ nhạy | Hạn chế | 20 nm (PSL) |
| Rủi ro nhiễm mẫu | Cao khi lấy mẫu | Đo trực tiếp inline |
| Phản ứng sự cố | Chậm | Tức thì, cảnh báo |
| Tự động hóa | Thủ công | FacilityNet |
Chem 20 (hóa chất) vs Ultra DI (nước UPW) CHỌN ĐÚNG MÁY
| Tiêu chí | Chem 20 | Ultra DI |
|---|---|---|
| Loại mẫu | Hóa chất quy trình | Nước siêu tinh khiết |
| Vật liệu tiếp xúc | Chịu hóa chất ăn mòn | Tương thích UPW |
| Độ nhạy | 20 nm | 20–50 nm |
| Ứng dụng | Etch/CMP/PR/axit | Hệ nước UPW |
| Tích hợp | FacilityNet | FacilityNet |
📌 Dữ liệu từ datasheet công khai. Verify với từng vendor để có info chính xác nhất.
Lợi ích chính 4 KEY BENEFITS
20 nm trong hóa chất
Phát hiện hạt từ 20 nm (PSL) trong hóa chất quy trình với 4 kênh đo, lưu lượng 35 ml/phút.
Giám sát thời gian thực
Đo trực tiếp inline, phản ứng tức thì với nhiễm hạt; tích hợp FacilityNet.
Vật liệu chịu hóa chất
Bề mặt tiếp xúc dung dịch trơ, chịu hóa chất ăn mòn — phù hợp etch, slurry, dung môi.
Service tại VN
Hiệu chuẩn & bảo trì bởi kỹ sư PMS-certified, lab ISO/IEC 17025 ngay tại Việt Nam.
Tại sao chọn Techmaster DISTRIBUTOR USP
★ AUTHORIZED
Nhà phân phối ủy quyền PMS
Hàng chính hãng 100% từ trụ sở PMS Boulder, Colorado — kèm chứng nhận xuất xứ cho mỗi đơn hàng.
Lab ISO/IEC 17025 (ANAB)
Hiệu chuẩn ngay tại Việt Nam — tiết kiệm 4-8 tuần so với gửi đi nước ngoài, vẫn đảm bảo traceable.
Kỹ sư PMS-certified
Đội ngũ kỹ thuật được đào tạo trực tiếp tại trụ sở PMS — am hiểu chuyên sâu cho từng dòng máy.
2 chi nhánh tại Việt Nam
Văn phòng TP. HCM phục vụ miền Nam, Bắc Ninh phục vụ miền Bắc — giao hàng, lắp đặt cực nhanh.
On-site service & Rental
Phản ứng nhanh tại nhà máy — sửa chữa, hiệu chuẩn, cho thuê thiết bị backup khi máy chính bảo trì.
Technical Hotline
Hỗ trợ kỹ thuật trực tiếp qua điện thoại trong giờ làm việc — giải đáp ứng dụng, cấu hình, sự cố.
Câu hỏi thường gặp FAQ
Chem 20 đo gì?
Đếm hạt trong hóa chất quy trình bán dẫn, độ nhạy từ 20 nm (PSL).
Độ nhạy và số kênh?
20 nm; 4 kênh: 20, 50, 70, 100 nm.
Lưu lượng mẫu?
35 ml/phút.
Đo được những hóa chất nào?
Hóa chất ướt như etch, CMP slurry, photoresist/developer, axit và dung môi (vật liệu tiếp xúc chịu hóa chất).
Chem 20 khác Ultra DI thế nào?
Chem 20 dùng cho hóa chất với vật liệu chịu ăn mòn; Ultra DI dùng cho nước siêu tinh khiết (UPW).
Nồng độ đo tối đa?
Chế độ phân giải cao: 2500 hạt/ml ≥ 20 nm; 1000 hạt/ml ≥ 100 nm.
Có tích hợp phần mềm không?
Có — FacilityNet để giám sát thời gian thực.
Techmaster hỗ trợ gì tại VN?
Tư vấn, lắp đặt, hiệu chuẩn và bảo trì tại lab ISO/IEC 17025.
Sẵn sàng đầu tư Chem 20?
Đội ngũ Techmaster tư vấn cấu hình phù hợp, tính ROI cụ thể, và cung cấp dịch vụ hiệu chuẩn ISO/IEC 17025 ANAB ngay tại Việt Nam.
Sản phẩm PMS liên quan CROSS-SELL
📅 Cập nhật: Tháng 5/2026 · ✍️ Nội dung bởi đội ngũ kỹ sư Techmaster Electronics JSC