Máy đếm hạt tiểu phân 0.1 Micron: Lasair® III 110

PARTICLE MEASURING SYSTEMS

Máy đếm hạt 0.1 Micron Lasair® III 110

Kiểm soát ô nhiễm không nhân nhượng cho fab bán dẫn

Máy đếm hạt tiểu phân 0.1 µm thực kết hợp throughput 1.0 CFM — giúp khách hàng bán dẫn tại Việt Nam đáp ứng ISO 14644-1 Class 1 & 2, biến dữ liệu critical thành quyết định tin cậy.

Yêu cầu báo giá
Hotline: 0908 173 345

0.1 µmĐộ nhạy
1.0 CFMLưu lượng
8 KÊNHKích thước
ISO 1-3Cleanroom class

Thông số kỹ thuật SPECIFICATIONS

Thông số Giá trị
Dải đo độ nhạy 0.1 – 5.0 µm
Lưu lượng mẫu 1.0 CFM (28.3 LPM)
Số kênh đo 8 kênh programmable
Nguồn sáng Laser diode tuổi thọ cao
Cấu hình Di động (mobile) hoặc cố định (inline)
Tuân thủ ISO 14644-1:2015, ISO 21501-4, EU GMP Annex 1, 21 CFR Part 11
Giao tiếp Ethernet, USB, MODBUS TCP
Phù hợp cho ISO Class 1, 2, 3

ROI Calculator — Tính giá trị đầu tư Lasair III 110

Một sự cố hạt 0.1 µm không phát hiện sớm có thể phá hủy hàng chục wafer. Nhập dữ liệu fab của bạn:

Tiết kiệm $480,000 / năm
→ Với chi phí ~$50-150K, ROI ước tính 3-6 tháng

⚠️ Ước tính tham khảo. Liên hệ Techmaster để có phân tích ROI chi tiết.

So sánh xong?Yêu cầu báo giá cấu hình cụ thể cho fab của bạn.

Liên hệ Techmaster →

Ngành & Ứng dụng 5 USE CASES

5 kịch bản triển khai Lasair III 110 cho khách hàng tại Việt Nam — với pain point cụ thể và giải pháp tương ứng.

01
Sản xuất bán dẫn

Fab tiên tiến 5nm / 7nm / 14nm

Wafer $5K-50KISO Class 1-2Front-end

Lasair III 110 là máy đếm hạt 0.1 micron thực được thiết kế chuyên cho fab tiên tiến — chứng nhận môi trường ISO Class 1 mà các máy 0.3 µm thông thường không đáp ứng được.

Vấn đề:Hạt 0.1µm gây defect critical → phá hủy hàng chục wafer trị giá hàng trăm nghìn USD
Giải pháp:Monitor real-time tại lithography bay, wafer transport, front-end tools

Xem chi tiết FAQ

02
Vi điện tử & MEMS

MEMS & Optoelectronic devices

MEMS deviceISO Class 2Sub-micron

Sản xuất MEMS, cảm biến vi mô và linh kiện optoelectronic đòi hỏi giám sát hạt sub-micron liên tục — Lasair III 110 cung cấp dữ liệu thời gian thực để bảo vệ yield.

Vấn đề:MEMS micro-scale rất nhạy với hạt sub-micron — yield drop nếu monitoring không đủ tốt
Giải pháp:Real-time data với độ chính xác đếm tuyệt đối cho ISO Class 2

So sánh với máy khác

03
Cleanroom Certification

Chứng nhận & Tái chứng nhận

ISO 14644-1Annex 1Audit-ready

Đáp ứng đầy đủ ISO 14644-1:2015 và ISO 21501-4 — chuẩn bắt buộc cho audit ngành bán dẫn tại Việt Nam. Báo cáo tự động tiết kiệm hàng giờ QA mỗi đợt.

Vấn đề:Audit Intel, Amkor, Samsung yêu cầu thiết bị ISO 21501-4 cert + báo cáo chuẩn
Giải pháp:Reference instrument cho audit định kỳ, hiệu chuẩn ngay tại VN

Hiệu chuẩn tại VN

04
Advanced Packaging

Đóng gói tiên tiến & 3D-IC

3D-ICFMS integration24/7 monitoring

Khu vực bonding, dicing, underfill trong đóng gói tiên tiến yêu cầu kiểm soát hạt 0.1 µm để tránh defect. Lasair III 110 inline kết nối native với FacilityPro.

Vấn đề:Bonding, dicing, underfill cần monitoring 24/7 không gián đoạn
Giải pháp:Phiên bản inline tích hợp trực tiếp vào FacilityPro FMS

Xem FacilityPro FMS

05
Photonics & Optics

Quang tử & Quang học

Laser diodeSợi quangISO Class 2-3

Sản xuất laser diode, sợi quang đơn mode đòi hỏi môi trường ISO Class 2-3 với false count rate cực thấp — Lasair III 110 đáp ứng tốt yêu cầu khắt khe.

Vấn đề:Optoelectronic rất nhạy với hạt — false count cao = quyết định sai cleanliness
Giải pháp:False count rate cực thấp đảm bảo dữ liệu đáng tin cậy

Ngành quang tử

So sánh trong PMS Portfolio CHỌN MÁY PHÙ HỢP

Đặc điểm Lasair III 110 Lasair III 350L Lasair Pro NanoAir 10
Độ nhạy 0.1 µm 0.3 µm 0.3 µm 10 nm (CPC)
Lưu lượng 1.0 CFM 1.0 CFM 1.0 CFM 0.1 CFM
Cleanroom class ISO 1-3 ISO 3-5 ISO 3-8 In-tool
Mobile/Inline ✓ Cả hai ✓ Cả hai ✓ Cả hai Inline only
Ứng dụng Fab tiên tiến GMP, OSAT Multi-purpose In-tool
Chi phí $$$$ $$$ $$$ $$$$

So sánh vs Competitors OBJECTIVE

Đặc điểm PMS Lasair III 110 TSI 3340A Lighthouse Apex Z3 Beckman MET ONE 3400
0.1 µm thực Limited
Lưu lượng 1.0 CFM 0.1 CFM 0.1 CFM
ISO 21501-4
21 CFR Part 11 ✓ Full Partial
FMS native ✓ FacilityPro 3rd-party ✓ LMS 3rd-party
Mobile + Inline
Service tại VN ✓ Techmaster Limited Limited Limited
Hỗ trợ kỹ thuật VN ✓ HCM + Bắc Ninh SG/HK SG HK

📌 Dữ liệu từ datasheet công khai. Verify với từng vendor để có info chính xác nhất.

Lợi ích chính 4 KEY BENEFITS

🎯

0.1 µm + 1.0 CFM

Combo hiếm trong ngành, đáp ứng fab tiên tiến nhất

🔗

FacilityPro native

Plug-and-play tích hợp FMS, không cần middleware

📋

Audit-ready

ISO 14644-1, Annex 1, 21 CFR Part 11 full

🏆

Service tại VN

Hiệu chuẩn ngay tại HCM/Bắc Ninh, tiết kiệm 4-8 tuần

So sánh xong?Yêu cầu báo giá cấu hình cụ thể cho fab của bạn.

Liên hệ Techmaster →

Tại sao chọn Techmaster DISTRIBUTOR USP

★ AUTHORIZED

Nhà phân phối ủy quyền PMS

Hàng chính hãng 100% từ trụ sở PMS Boulder, Colorado — kèm chứng nhận xuất xứ cho mỗi đơn hàng.

100% CHÍNH HÃNG

Lab ISO/IEC 17025 (ANAB)

Hiệu chuẩn ngay tại Việt Nam — tiết kiệm 4-8 tuần so với gửi đi nước ngoài, vẫn đảm bảo traceable.

ANAB ACCREDITED

Kỹ sư PMS-certified

Đội ngũ kỹ thuật được đào tạo trực tiếp tại trụ sở PMS — am hiểu chuyên sâu cho từng dòng máy.

FACTORY TRAINED

2 chi nhánh tại Việt Nam

Văn phòng TP. HCM phục vụ miền Nam, Bắc Ninh phục vụ miền Bắc — giao hàng, lắp đặt cực nhanh.

HCM + BẮC NINH

On-site service & Rental

Phản ứng nhanh tại nhà máy — sửa chữa, hiệu chuẩn, cho thuê thiết bị backup khi máy chính bảo trì.

24-48H RESPONSE

Technical Hotline

Hỗ trợ kỹ thuật trực tiếp qua điện thoại trong giờ làm việc — giải đáp ứng dụng, cấu hình, sự cố.

0908 173 345

Câu hỏi thường gặp FAQ

1. Lasair III 110 khác gì máy 0.3 µm thông thường?

Phát hiện 0.1 µm — nhỏ hơn 3 lần. Bắt buộc cho ISO Class 1/2 trong fab bán dẫn tiên tiến.

2. Có ISO 21501-4 không?

Có. Techmaster có thể hiệu chuẩn lại tại lab ISO/IEC 17025 (ANAB) ngay tại Việt Nam.

3. Mobile hay inline — nên chọn loại nào?

Mobile cho chứng nhận định kỳ. Inline cho FMS continuous monitoring 24/7. Nhiều fab dùng cả hai song song.

4. Giá Lasair III 110 tại Việt Nam?

Phụ thuộc cấu hình. Liên hệ Techmaster 0908 173 345 để báo giá chính xác.

5. So sánh với TSI/Lighthouse/Beckman?

Điểm mạnh: throughput 1.0 CFM ở 0.1 µm, tích hợp FacilityPro native, service ANAB tại Việt Nam.

6. ROI khi đầu tư?

Dùng ROI Calculator. Fab xử lý wafer giá trị cao thường ROI 3-6 tháng.

7. Đo trong khí công nghệ (N₂, Ar, CDA)?

Có, kết hợp HPD III. Đối với H₂/O₂ áp cao dùng HPGP 101-C.

8. Thời gian giao hàng và hỗ trợ tại VN?

Techmaster có dịch vụ tại HCM và Bắc Ninh. Liên hệ 0908 173 345.

Sẵn sàng đầu tư Lasair III 110?

Đội ngũ Techmaster tư vấn cấu hình mobile/inline, tính ROI cụ thể, và cung cấp dịch vụ hiệu chuẩn ISO/IEC 17025 ANAB ngay tại Việt Nam.

Sản phẩm PMS liên quan CROSS-SELL

📅 Cập nhật: Tháng 5/2026 · ✍️ Nội dung bởi đội ngũ kỹ sư Techmaster Electronics JSC