Là một căn phòng mà trong đó rất sạch sẽ và rất kín để bụi bẩn không thể xâm nhập vào được. Theo định nghĩa về phòng sạch theo tiêu chuẩn ISO 14644 – 1 thì phòng sạch “là một phòng mà bên trong đó các hạt lơ lửng bên trong không khí được kiểm soát, được xây dựng và sử dụng trong một kết cấu sao cho sự có mặt, sự phát sinh và duy trì các hạt trong phòng được giảm đến tối thiểu và các yếu tố khác trong phòng như nhiệt độ, độ ẩm, áp suất đều có thể được kiểm soát và điều chỉnh khi cần thiết”.
Có rất nhiều chỉ tiêu kiểm tra phòng sạch/buồng sạch khác nhau được quy định trong các tiêu chuẩn khác nhau. Hiện Techmaster chúng tôi có thể thực hiện các chỉ tiêu như sau: